■対象基材：ガラス板、金属板などの平板 【仕様(一部)】 ・対象膜：ITO、アルミナ、化合物、各種金属膜 ・成膜方法：デポダウン、インライン成膜 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■　対象基材：ガラス板、金属板などの平板 【仕様(一部)】 ・対象膜：DLC、SiN、SiOなど ・成膜方法：デポダウン、静止成膜(インライン成膜も対応可能) ・温調：ステージ温調＜500℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■　対象基材：樹脂フィルム（PET、PEN）、金属箔 【仕様(一部)】 ・対象膜：DLC、SiN、SiOなど ・成膜方法：デポダウン、静止成膜(インライン成膜も対応可能) ・温調：ステージ温調＜500℃ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。