NAS技研の製品・サービス一覧

『SC-9000』は、親水状態のウェーハからも汚染を回収できる 簡易型微量汚染物質回収装置です。 シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で 表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能できます。 【特長】 ■ウェーハの状態やサンプリング用薬液の種類に対する制限が緩和され、 　重金属以外のイオン等の回収も可能 ■従来の疎水面サンプリングも可能 ■サンプリング用薬液の供給や保持具の移動を装置側が自動で実施　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• その他環境機器

『SC-3000』は、疎水性ウェーハ表面の微量汚染物質を回収できる 簡易型微量汚染物質回収装置です。 パソコンと接続して多彩な回収パターンを作成し、シリコンウェーハの 表面や側面（ベベル部）から微量金属汚染を回収（サンプリング）します。 また、外部資源をあまり必要とせず、また場所もとらないため、 装置の導入が容易です。ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ウェーハサイズ：100mm～300mmに対応 ■疎水性ウェーハのベベル部の回収が可能 ■半径r1、r2で設定された中心部、ドーナツ部、外周部、全面の回収が可能 ■回収液の供給、サンプリング後の回収液の吸上げが自動 ■回収液を吸上げて汚染されたチップは自動洗浄　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• その他環境機器

『BEM-301』は、オゾンと気化したフッサンを使用してエッチングする装置です。 エッチング量をモニターしながらエッチングを行いますので、 高精度のエッチングが可能。 また、1枚目からでも正確なエッチングを行うことが可能です。 【仕様】 ■エッチングレート：2μm/H以上 ■平坦度：10%以内 ■エッチング量（深さ）の精度：±5%以内 ■ユーティリティ：O2、N2、HF、DIW、冷却水、AC-100V、AC-200V、酸排気、酸排水 ■外形寸法：1,000W×1,300D×2,000H（mm） ■重量：約300Kg ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• エッチング装置

『NAC-304』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 自動微量金属汚染物質回収装置です。 カセットでセットした25枚のウェーハを自動で回収。 バルクエッチング後の回収も自動設定で行えます。 【特長】 ■バルクエッチングは200mmと300mmの2種類が可能で、設定は**.*μmと設定 ■バルクエッチングの平坦度は10%以内、エッチング深さの精度は±10%以内 　（但し0.3μm以上時）200mmウェーハでは±20%以内 ■1枚のウェーハを何層に分けてのバルクエッチングも可能　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• その他環境機器

『NAC-316』は、Siウェーハのバルクエッチング機能を持った 完全自動微量金属汚染物質回収装置です。 ICP-MSに対して未経験者でも、分析結果を取得可能。 また、ロードポートを2台持っているため、作業効率は非常に良くなり、 インライン接続（OHT）も可能です。 【特長】 ■親水性ウェーハ・親水性ウェーハ何れも回収が可能 ■ロードポートにセットされたウェーハを自動でバルクエッチング・回収・分析を行う ■バルクエッチングは200mmと300mmの2種類が可能 ■1枚のウェーハを何層にも分けてのバルクエッチングも可能　など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。

• その他環境機器