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大型基板の内部を非破壊で詳細に観察したい。 そんなお悩みを、XVA-160□520が解決します。 ✓ 大型ガラス/プリント基板の非破壊解析がしたい ✓ 従来のX線装置では対応できなかった大型ワークのCT観察 ✓ 大型ワーク内部の微細構造を観察したい 特長1: 業界最大クラスの観察エリア 最大視野: 520mm × 520mm 最大搭載サイズ: 630mm × 630mm 従来では対応が難しかった大型ワークの非破壊解析が可能になります。 特長2: 超高分解能を実現するナノフォーカスX線発生器搭載 最小フォーカスサイズ: 250nm 最大幾何学倍率: 2,000倍 特長3: 広範囲×高倍率の斜めCT技術 独自技術のユーセントリック機構により、ディテクタ傾斜時・ステージ回転時も着目ポイントを中央に捉え続け、 ステージ上どこでも斜めCT撮影が可能です。 そのためXVA-160□520では、斜めCT撮影を広範囲（520mm × 520mm）で行うことができます。 また高解像度を生み出す再構成アルゴリズムにより、広範囲×高倍率の斜めCT撮影を実現します。