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株式会社ユー・エイチ・システム

住所神奈川県大和市下鶴間505-1
電話046-272-0111
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最終更新日:2025/12/02
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ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160□520 ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160□520
ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160αII ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160αII
ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160RA ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160RA
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マイクロフォーカス 3次元X線システム XVA-160RCE マイクロフォーカス 3次元X線システム XVA-160RCE
撮影事例 撮影事例
ナノフォーカス

ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160RA

ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160RAについて

3次元X線CTシステム『XVA-160RA』

ハイエンドのX線源を搭載し、高度な解析を実現 フォーカスサイズ切り替え対応(250nm/800nm)×最大倍率1,600倍

フォーカスサイズの使い分けで、幅広いサンプルに柔軟対応。 XVA-160RAが、あなたの解析ニーズに応えます。 ✓ 様々なサイズ・材質のサンプルに1台で対応したい ✓ サンプルに応じてフォーカスサイズを使い分けたい ✓ ナノレベルの微細構造まで観察したい 特長1: 超高分解能を実現するナノフォーカスX線発生器搭載 最小フォーカスサイズ: 250nm 最大幾何学倍率: 1,600倍 特長2: 世界トップクラスの斜めCT技術 独自技術のユーセントリック機構により、ディテクタ傾斜時・ステージ回転時も着目ポイントを中央に捉え続け、ステージ上どこでも斜めCT撮影が可能です。 さらに高解像度を生み出す再構成アルゴリズムにより、高倍率の斜めCT撮影を実現します。 特長3: 充実した基本機能 自動撮影が可能なティーチング機能や撮影箇所をわかりやすくサポートする可視光マッピング機能等、充実した基本機能を搭載しています。

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3次元X線CTシステム『XVA-160RA/160αII“Z”』

独自技術「ユーセントリック機構」で高倍率観察を簡単に実現。実装基板や 半導体デバイスの不具合の発見・解析を支援します。

当社は、独自技術「ユーセントリック機構」を採用し、簡単かつ効率的に 高倍率での観察が行える3次元X線CTシステムを提供しています。 斜めCTの撮影では、X線焦点に対象部位を近づけることで 高倍率の断層撮影が可能。細部まで観察でき、実装基板や 半導体デバイスの不具合の発見・解析を強力に支援します。 【特長】 ◎『XVA-160RA』 ■スタンダードモデルをベースに新たに生まれ変わった高精細発生器対応モデル ■ナノフォーカスX線発生器搭載(フォーカスサイズ 250/800nm) ■高倍率1,600倍で細部まで鮮明な観察が可能 ■可視光マッピング機能、フォーカス自動調整機能を搭載 ◎『XVA-160αII“Z”』 ■より高倍率に特化し、パッケージ内部の構造も解析可能なハイエンドモデル ■ナノフォーカスX線発生器搭載(フォーカスサイズ 200nm~) ■高倍率2,000倍で詳細構造まで精密に観察 ■高精細トップテーブル、光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能を搭載

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【X線測定技術】ユーセントリック機能

着目ポイントを逃さない!ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます

当社のテクノロジー『ユーセントリック機能』についてご紹介します。 着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。 独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時も サンプルを中央に捉え続けます。 【特長】 ■着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能 ■独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時も  サンプルを中央に捉え続ける ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【X線測定技術】3次元斜めCT

斜め方向からの撮影で大型基板も破壊することなく断層撮影!高い操作性も実現しました

当社のテクノロジー『3次元斜めCT』についてご紹介します。 斜めCTはユーセントリック機能を利用してディテクターを斜め方向に 傾斜した状態でCT撮影を行うため、大型基板でも360度方向同一条件での 撮影ができます。 また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大倍率での 断層撮影も可能。 特別な治具も不要で、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影が できるという高い操作性も実現しました。 【特長】 ■大型基板でも360度方向同一条件での撮影ができる ■X線焦点に着目部位を近づけることができる ■高拡大倍率での断層撮影も可能 ■特別な治具も不要 ■サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影ができる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【X線測定技術】コーンビームCT

アスペクト比の少ない小型部品単体の解析に好適!精密・鮮明な断層撮影ができます

当社のテクノロジー『コーンビームCT』についてご紹介します。 Presto/Prestoβ専用ユニットを装着することで、CTスキャナの撮影ができます。 再構成プログラムの最適化により、撮影前のキャリブレーションは不要。 操作性が格段にアップし、小型部品の精密・鮮明な断層撮影ができます。 【特長】 ■Presto/Prestoβ専用ユニットを装着することで、CTスキャナの撮影ができる ■再構成プログラムの最適化により、撮影前のキャリブレーションは不要 ■操作性が格段にアップし、小型部品の精密・鮮明な断層撮影ができる ■小型部品の精密断層解析に好適 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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