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『LTP-250』は、ワックス貼付時、真空脱泡することが可能な製品です。 ワックス膜厚の均一化や薄膜化が可能。 ワックスに含まれる泡や、反りの有るウェーハの貼付時に混入した空気等を 真空状態で貼付ける事により、脱泡させることが可能となります。 【貼付加工による効果】 ■ワークの平行度向上 ■研磨面平坦化向上 ■ワックス膜厚の均一化 ■薄膜化 ■膜の歪み改善 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LJ-24-STD』は、超精密な精度を維持し安定した加工が行える据え置き型の ラッピングマシーンです。 加工物に十分な重量が不足している場合、ラップ代を能率良く加工出来る様に エアーシリンダーによってラップ圧を附加する事が可能。 滴下式研磨材タンクはタンクの底から研磨液を滴下しますので、沈殿凝固を防げます。 また、修正リング強制ドライブ駆動はワークの安定した自転を補助します。 【特長】 ■エアーシリンダーによってラップ圧を附加する事が可能 ■ラッププレートを効率良く冷却 ■沈間欠タイマー式研磨材滴下タンクで殿凝固を防げる ■修正リング強制ドライブ駆動でワークの安定した自転を補助 ■研磨加工中の熱温度による研磨プレート表面歪みを防止 ■常時研磨プレートの平坦を維持 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LGP-612』は、φ4"～φ8"ウェーハ対応の2ポリッシングヘッドを備えた 高精度技術の開発を支援する製品です。 ポリッシングプレートには超平坦アルミナセラミックスを採用。 ポリッシングヘッドはワンタッチで交換可能な機構となっており、 低摩擦シリンダーを採用したことにより、加圧の追従性を高めました。 【特長】 ■偏荷重にも耐えうる剛性を高めた設計のスピンドルにより高精度研磨を実現 ■ポリッシングプレートには超平坦アルミナセラミックスを採用 ■高精度、高剛性LMガイドを採用し、加工中の不確定要素となる振動の低減を実現 ■両軸(ヘッド)に対し「加圧力」「回転数」を単体入力可能 ■複雑な研磨レシピに対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LJ-24-PD3』は、超平坦化及び、高面粗度化加工を目的とし、ラッピングプレートの 材質を換える事により、荒仕上げ～中仕上げ～超鏡面仕上げが行える製品です。 回転可変用ボリューム摘みにてラップ加工中でもそれぞれの回転数を可変することが可能。 被加工物への荷重にはデッドウェイトを自動昇降させる昇降ユニットが 備えられており、オペレーターへの負荷を軽減させています。 制御にはPLCシーケンサーを使用して、お客様毎のカスタマイズに対応しております。 【特長】 ■オペレーターへの負荷を軽減 ■手の挟み防止安全対策を行っている ■加工中でもミリ単位で位置を調整可能 ■ワークの自転公転速度を自由に調整可能 ■I/O32 bitによって装置を収めた後でも、拡張機能が追加可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LGP-712』はφ8"～φ12"ウェーハに対応し高精度技術の開発を支援する製品です。 2ポリッシングヘッドを備えデバイスの平坦化CMPに対応。 パッドやスラリーのご研究開発用の実験機としても適しております。 当社では、Cu-CMPなどのメタルCMPにも対応しお客様のご要望に お応えできるように多くのオプションを用意しております。 【特長】 ■超精密ポリッシングが可能 ■2ポリッシングヘッドを備えデバイスの平坦化CMPに対応 ■Cu-CMPなどのメタルCMPにも対応 ■ご研究開発用の実験機としても適している ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LJ-15-D2型』は、汎用性に優れた卓上型ラッピングマシーンです。 加工量を問わず、高度な平坦度・表面粗度仕上がりが得られます。 また、修正リングには、強制ドライブモーター駆動を備えており、 安定した自転を実現します。 さらに、ラッピングプレートはインバーター制御により、 加工中でも自由に回転可変が可能です。 【主な仕様】 ■ラッピングプレート径：Φ380mm ■修正リング径：外径Φ178mm×内径Φ138mm ■修正リングドライブ機構：2軸 ■制御方式：リレーシーケンス回路 ■ラッピングプレート回転制御：回転可変式インバーター など ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LJ-36型』は、高剛性で設計された高加圧型シリンダーを3軸備えた 精密片面ラッピング装置です。 加工物自体に十分な重量があり、その自重がラップ圧に足りる場合、 及び限られた少量のラップ圧を必要とする場合に適した「オープンタイプ」と、 比較的小型の部品等を一度に多数個・多量のラップ代を能率良く加工できる様に ラップ圧を附加する場合に適した「ニューマティックリフトタイプ」の 2つのタイプをご用意しています。 【ラインアップ】 ■オープンタイプ『LJ-36-O』 ■ニューマティックリフトタイプ『LJ-36-P』 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『LJ-48-OD3』は、安定した高精度を保持するために随所に独特な機構を 盛り込んだ実用汎用ラッピングマシーンです。 大きな部品、小さな部品、加工量の大小問わず、半自動又は全自動にて ミクロンオーダーの研磨面仕上がりを実現します。 【特長】 ■高精度・高剛性軸受け ■ラッピングプレート ■PLCシーケンサー制御 ■強制ドライブ駆動 ■オシレーション駆動（揺動） ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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