プレテック　静岡製作所の製品ラインアップ

「精密洗浄装置」は、さまざまな精密部品・製品の洗浄工程で幅広く 導入されている信頼性の高いシステムです。 タッチパネルなどの採用により、操作性・安全性・メンテナンス性がさらに向上。 またシステムの随所にハイグレードなパーツを使用して完成度を高めています。 洗練された超音波洗浄ユニットにより、スーパークリーン洗浄を実現します。 【用途】 ■CD/LDマスターディスク ■プラスチックレンズ・光学レンズ ■メモリーディスク・アルミ/ガラス ■液晶TFT/CF ■ケース/カセット ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社では、メモリーディスク、液晶ガラスの洗浄に大きな効果を発揮する 「ディスク洗浄装置」を取り扱っております。 カセットレス方式の採用で洗浄能力の向上と省エネルギー化を実現。 バッチ洗浄部は当社のバリエーション豊富な超音波洗浄ユニットから 用途に合わせて選択でき、適切な周波数でダメージを与えずに パーティクルを除去できます。 【特長】 ■カセットレス方式の採用によりバッチ洗浄とブラシ洗浄が一つの装置で可能 ■ブラシ洗浄部はサンドスクラブ方式のため両面同時洗浄が可能 ■バッチ洗浄ユニットとブラシ洗浄ユニットの組み合わせは自在 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

「カセットレス洗浄装置」は、ロボット搬送がスムーズでチッピングが 生じない、大幅なランニングコストの低減が可能な製品です。 ファインソニック(高周波発振器/振動子)を使用。ダメージを 与えることなくパーティクルの除去が可能です。 数々のスーパークリーンテクノロジーを採用し、洗浄におけるカセットの 問題点をすべて解決します。 【特長】 ■カセット接触部の洗浄ムラも解消 ■少ない槽内薬液量で、よりいっそうクリーンに ■消費電力を大幅にカット ■槽間移動時の薬液量を少量化 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

ウェハー横置き、枚葉式ファインジェット方式の採用で高い洗浄能力を 実現する「スピンソニッククリーナー」をご紹介いたします。 サブミクロンのパーティクルまでも取り除くことができ、さらに工程数を カットし、薬液管理およびヒーターが不要に。 洗浄時間の短縮、ランニングコストの節約などを可能とするすぐれた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■薬液対応ファインジェット＆400kHzファインジェットにより高い洗浄能力を実現 ■非接触洗浄(ブラシレス洗浄)によりメンテナンスフリーとダメージレスを実現 ■1ステージで各洗浄・乾燥工程を可能に ■完全常温プロセスのためヒーターを必要とせず、消費電力を大幅にカット ■機能別のユニット構成により設置面積のコンパクト化と 　自由度の高いレイアウトを実現 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

本製品は、フォトマスク基板をはじめとする四角い形状の基板（角基板）を効率的に洗浄・乾燥するために設計されたスピン洗浄ユニットです。 ■角基板に特化した洗浄プロセス 一般的に回転処理が難しいとされる四角い基板に対し、安定したスピン洗浄を提供します。 主に152×152mmサイズのフォトマスク基板を想定していますが、様々なサイズの角基板へ対応可能な設計です。 ■洗浄から乾燥までワンユニットで完結 洗浄工程に続いて高速回転による乾燥処理を同一ユニット内で行います。 基板を移動させることなく一連の工程を完了できるため、タクトタイムの短縮に貢献するだけでなく、移動時の再汚染リスクを低減し、高い洗浄品質を維持します。 ※詳しくはカタログをダウンロードしてご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。