プレテック　静岡製作所の製品・サービス一覧

『ファインジェット』は、多彩な周波数を選択可能な洗浄ユニットです。 低出力から高出力までの安定した発振で枚葉洗浄の幅広いニーズに対応。 各種ウエハー基板洗浄や磁気ディスク、ウエハーのCMP後洗浄などの 用途に適しております。 また、耐薬品、メタルコンタミネーションフリーといった多彩なノズル バリエーションがございます。 【特長】 ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能(PT-010J50) ■多彩な周波数を選択可能(400kHz/1500kHz/3000kHz) ■多彩なノズルバリエーション：耐薬品、メタルコンタミネーションフリー ■検出機能強化：振動子劣化を検出可能(PT-010J50) ■通信機能強化：発振器状態の監視、外部設定(PT-010J50) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『ファインスコール』は、FPD用基板洗浄や各種ウエハー基板洗浄などに 適した洗浄ユニットです。 洗浄幅は160mmから2210mmまでラインアップ。 きめ細やかなサイズバリエーションをご用意しております。 また、最大出力アップで、洗浄エリアの拡大及びコストダウンに貢献します。 ご要望の際は、お気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■きめ細やかなサイズバリエーション ■洗浄幅は160mmから2210mmまでラインアップ ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能(PT-150MV) ■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大及びコストダウン ■通信機能：発振器状態の監視、外部設定 ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『ファインソニック』は、均一な音圧を実現できる洗浄ユニットです。 1W刻みの安定した出力調整が可能。各種ウエハー基板洗浄や 各種フォトマスク、磁気ディスクなどに適しております。 また、最大出力アップで洗浄エリアの拡大に貢献します。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■均一な音圧を実現 ■多彩な周波数を選択可能[750kHz/(1000kHz)/(1500kHz)/2000kHz] ■微細な出力調整：1W刻みの安定した出力調整可能 ■最大出力アップ：洗浄エリアの拡大 ■通信機能：発振器状態の監視、外部設定(PT-150MV) ■各種規格対応(FCC,CE,RoHS) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社では、750kHzを使用したバッチ式洗浄ユニットをはじめとする 「ファインシリーズ洗浄ユニット」を取り扱っております。 「ファインソニック(バッチ式洗浄ユニット)」は、特殊型振動素子により 効率よく音波を伝搬させワークにダメージを与えずにサブミクロンの パーティクルを除去。 その他、シリコンウェハー、フォトマスク等の洗浄に適した「ファインジェット (スプレー式洗浄ツール)」や、1.5MHzの音波をのせた超純水を噴射し洗浄する 「ファインスコール(シャワー式洗浄ツール)」をご用意しております。 【特長】 ＜ファインソニック＞ ■750kHzを使用したバッチ式洗浄ユニット ■特殊型振動素子により効率よく音波を伝搬させワークにダメージを 　与えずにサブミクロンのパーティクルを除去 ■シリコンウェハー、フォトマスク、磁気ディスクの洗浄に適している ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『近接型メガソニック PA10-Q60AE-S』は、ノズル先端より1.0MHzまたは 3.0MHzの音波を照射する洗浄ユニットです。 低出力領域からリニアリティーの高い発振が可能。基板直近での洗浄するため、 サブミクロンのパーティクルが除去できます。 空振り防止機能保有する液供給を可能とし、基板への振り切り動作も可能で 基板全体への再現性の高い洗浄を実現します。 【特長】 ■ノズル材質は石英のため低発塵で薬液に耐久性がある ■ノズル先端より1.0MHzまたは3.0MHzの音波を照射 ■低出力領域からリニアリティーの高い発振を可能としている ■基板直近での洗浄するため、サブミクロンのパーティクルが除去できる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当社では、先端の超音波テクノロジーで、さまざまな精密洗浄を サポートする「ウルトラソニック洗浄ユニット」を取り扱っております。 超音波発振器は高性能トランジスタを採用し、用途に合った出力と周波数を 選択可能な「ウルトラソニック」と、超音波による定在波の波長を連続的に 変化させ超音波エネルギーの強弱を完全にクリアーする「スイープソニック」 をラインアップ。 ご用命の際は当社までお問い合わせください。 【ウルトラソニック 特長】 ■超音波の液共振により発生するキャビテーションでパーティクルを除去 ■超音波発振器は高性能トランジスタを採用し、用途に合った出力と 　周波数を選択可能 ■シリコンウェハー、磁気ディスク、レンズ、カセット(キャリア)等 　1μ以上のパーティクル除去に効果的 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。