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株式会社システムロード

住所京都府京都市中京区西ノ京中御門西町22
電話075-811-1031
  • 公式サイト
最終更新日:2022/11/14
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顕微鏡膜測定や非透過サンプル膜厚測定も可能!非接触膜厚計

お持ちの顕微鏡とドッキングも可能!顕微鏡膜測定と2D分光放射オプションとの組み合わせで詳細な面内の膜厚分布の測定も可能です。

『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT(フ-リエ変換膜厚計)や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 オプションでは、顕微鏡膜測定や非透過サンプル膜厚測定も可能です。 顕微鏡膜測定では、カラーフィルターのRGBパターンや基板上の配線パターン等、 マクロでは測定が困難な微細領域の膜厚測定を行えるように、 顕微鏡を使用して測定スポットサイズを小さくし測定できるようにします。 非透過サンプル測定では、空気層の厚みを測定することで 非透過サンプルの厚みを測定、演算します。 通常、光の干渉を用いる測定方式では、 非透過サンプルの膜厚測定はできませんが、 本測定方式を用いることで測定が可能となります。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器

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1ライン3CH設置や、工程前後に測定が可能!多ポイント膜厚測定

多CHでの前後の測定が可能な、多ポイント膜厚測定。複数の受光ヘッドを使用し、複数ポイントの膜厚値を一括測定します。

『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT(フ-リエ変換膜厚計)や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触多ポイント膜厚測定が可能です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 オプションにて膜の厚みの差やムラ等の測定・解析を 効率的に行えるように、自動XYステージを使用して 自動マッピング測定が可能です。(マッピング膜測定) 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器

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水中での膜厚測定されたい方必見!水中膜厚計『FF8』

空気中と水中でSi基板上のSiO2膜(シリコン酸化膜)を測定!薄膜解析オプションによりカーブフィット法による測定が可能です。

『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT(フ-リエ変換膜厚計)や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触水中膜厚計です。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 空気中と水中でSi基板上のSiO2膜(シリコン酸化膜)を測定でき、 薄膜解析オプションによりカーブフィット法による測定が可能です。 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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RGBの膜厚が1回で可能!2次元膜厚計ソフト『SR10-FF』

面内の膜厚のばらつきが3D表示で可視化可能!

『SR10-FF』は「SR-5000」による測定データを読み込み、 膜厚演算や解析などを行う2次元膜厚計ソフトトウェアです。 2次元測定の為、通常複数回の測定が必要なRGBの膜厚 『SR10-FF』ですと1回で膜厚測定が可能です。 標準仕様では、0.5μm~15μm(0.001μm)、 標準+薄膜解析では0.01μm~15μm(0.001μm、0.1nm)の範囲を測定可能。 【測定範囲】 ■標準仕様:0.5μm~15μm(0.001μm) ■標準+薄膜解析:0.01μm~15μm(0.001μm、0.1nm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • ソフトウェア(ミドル・ドライバ・セキュリティ等)

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非接触膜厚計『FF8』※カスタム仕様等の対応可能!

測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能な非接触膜厚測定システム!

『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、 膜厚演算方法の中のFFT(フ-リエ変換膜厚計)や、 カーブフィット膜厚計等によって 膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 【標準測定】 測定範囲(分解能) 対応仕様例 0.0010~100μm  薄膜+薄膜解析仕様 0.0100~100μm  標準+薄膜解析仕様 0.5000~500μm  標準仕様 1.000 ~500μm  圧膜1仕様 4.000 ~2000μm  圧膜2仕様 ※その他、各種測定範囲にオプションで対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器

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高精度な吸光度計・OD計で8、9、10、11、12まで測定可能!

チョッパー方式を採用しており、ノイズキャンセルができる為高精度な吸光度測定が可能になります。

『DD8-N』は、高精度な吸光度計・OD計で 8、9、10、11、12まで測定可能です。 チョッパー方式とは、光源のON/OFFによる差を取ることで 外光を常にキャンセルした測定ができます。 高周波チョッピングによるノイズ耐性がある為 リアルタイム測定が可能になります。 高分解能A-Dコンバーターを採用しており、 一般的な分光器のA-Dコンバーターより高精度な測定が可能です。 アンプにより増幅を行い、多段階CHでの高精度化を実現できます。 【特長】 ■超微弱光の8OD-12ODまで暗室不要で測定 ■外光・ノイズをキャンセルできる ■リファレンスに対するサンプルの透過率から光学濃度を計算 ■任意間隔で連続測定が可能 ■各種オプションやカスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置

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吸光度計・OD計のインライン測定に好適な測定器!※多CH対応

CH1~CH12、多CH対応した測定器です。カスタム仕様としてインライン測定で使用するような3CH同時測定等も対応可能です。

『DD8-N』は、吸光度計・OD計のインライン測定に好適な測定器で、 CH1~CH12、多CH対応しおり、カスタム仕様として インライン測定で使用するような3CH同時測定等も対応可能です。 紫外域、近赤外域に対応が可能で、 各種波長への対応により様々な規格へ対応可能です。 その他、カスタム仕様に対応しております。 【特長】 ■超微弱光の8OD-12ODまで暗室不要で測定 ■外光・ノイズをキャンセルできる ■リファレンスに対するサンプルの透過率から光学濃度を計算 ■任意間隔で連続測定が可能 ■各種オプションやカスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置

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吸光度計・OD計の透過率・反射率同時測定が可能な測定器

カスタム仕様として、透過率・反射率の同時測定装置等も対応可能です。

リアルタイム表示できる『DD8-N』は、 吸光度計・OD計の透過率・反射率同時測定が可能な測定器です。 インライン測定対応が可能なので、工場などのラインに好適です。 お客様に応じてラインに合わせた細かなカスタム対応が可能です。 【特長】 ■超微弱光の8OD-12ODまで暗室不要で測定 ■外光・ノイズをキャンセルできる ■リファレンスに対するサンプルの透過率から光学濃度を計算 ■任意間隔で連続測定が可能 ■各種オプションやカスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 分析機器・装置

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吸光度(OD)、透過率、反射率を暗室不要で評価可能!

吸光度計、吸光度計測定に適した測定器(OD計)です。OD測定可能範囲は、 0~8(OD)でオプションで~12まで可能!

『DD8-N』は、吸光度(OD)、透過率を暗室不用で評価することができ、 リアルタイム表示も可能な吸光度測定システム(OD計)です。 チョッパー方式による外光、ノイズをキャンセルする安定した測定で、 高精度測定による極微小透過測定が可能です。 複数ポイント測定をはじめ、偏光プリズムとの偏光度測定や 反射率測定など、各種オプションやカスタム仕様に対応可能です。 【特長】 ■超微弱光の8OD-12ODまで暗室不要で測定 ■外光・ノイズをキャンセルできる ■リファレンスに対するサンプルの透過率から光学濃度を計算 ■任意間隔で連続測定が可能 ■各種オプションやカスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【カスタム仕様等の対応可能】非接触膜厚計『FF8』

測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能な非接触膜厚測定システム!

『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、FFT(高速フーリエ 変換)等によって膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、 インライン膜厚測定としてもご使用頂けます。 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【カスタム仕様等の対応可能】非接触膜厚測定システム『FF8』

測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能な非接触膜厚測定システム!

『FF8』は、サンプルの反射率(干渉波形)を測定し、FFT(高速フーリエ 変換)等によって膜厚値の解析を行う非接触膜厚測定システムです。 膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行うことができ、 オプションにより、多層膜・カーブフィット法・顕微鏡・マッピング測定・ 色測定・成分濃度解析も可能です。 連続測定機能やトラバース機構、データ通信機能の製作も可能ですので、 インライン膜厚測定としてもご使用頂けます。 【特長】 ■サンプルの反射率を測定し、FFT等によって膜厚値の解析を行う ■膜厚測定の他にフィルム、硝子の厚さ、屈折率の測定も行える ■測定データはファイル保存ができ、あとから再解析も可能 ■インライン膜厚測定としてもご使用頂ける ■カスタム仕様等の対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 光学測定器

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多波長画像測定システム『OD4-8』

ドライ検査チップ評価用!セル内の反応分布を測定することが可能です

『OD4-8』は、不均一反応下での解析方法、混入した気泡やゴミの影響を 除去するアルゴリズムの開発などに必要な基礎データを取得することが 可能な測定システムです。 ソフトウェアは、5波長の画像情報から各波長の吸光度経時変化を 求めることが可能。また、データは全て画像として保存されますので 測定後、測定使用範囲を変更し自由に解析することができます。 【特長】 ■ドライ検査チップ評価用 ■セル内の反応分布を測定することが可能 ■チョッパー方式のため、外光・ノイズをキャンセルできる ■リファレンスに対するサンプルの透過率から光学濃度を計算可能 ■任意間隔で連続測定ができる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他計測・記録・測定器

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温度特性測定システム『LL8-HC』

温度制御に恒温槽を使用!-60℃~+150℃と広い範囲の温度特性を測定することが可能

『LL8-HC』は、分光器・電源・恒温槽を自動制御することにより、1台で 光学特性・温度特性・電気特性の測定を行うことが出来る 温度特性測定システムです。 電流、電圧、温度を自動で変更しながらその状態での光学特性や電気特性を リアルタイムで測定可能。また、一定時間間隔で行う時間変化測定や、 任意回数の測定を行う繰り返し測定も可能です。 【特長】 ■電流や電圧はDC駆動とパルス駆動が可能 ■逆バイアス測定を行うことも可能 ■測定結果を保存し、解析処理機能を使い様々な解析を行うことができる ■解析した結果は、印刷、CSV保存、クリップボードコピーなどが行える ■ソフトウェアは全て日本語による分かりやすい表示 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他計測・記録・測定器

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LED-2 広帯域 LED光源

超小型軽量でコンパクト!UV領域においても可視領域同様の光量を提供します

当製品は、安定した幅広いスペクトルを実現した広帯域LED光源です。 従来の白色LEDでは足りなかった380-800(nm)の広帯域をカバーする光を サポート。また、ハロゲンでは低くなるUV領域においても可視領域同様の 光量を提供します。 尚、相関色色温度は約5500K。平均演色性評価数は、Ra98の自然な光と なっております。 【特長】 ■超小型軽量 ■コンパクト ■置き場所も自由自在 ■安定した幅広いスペクトルを実現 ■相関色色温度 約5500K、平均演色性評価数 Ra98の自然な光 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他照明機器

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積分球量子効率測定システム『LL8-UV-VIS-NIR』

量子効率測定、LED光学特性評価等の高精度光測定を実現!各種オプションやカスタム仕様にも対応

『LL8-UV-VIS-NIR』は、励起光源を使用し、外部量子効率、内部量子効率、 励起波長依存性、励起スペクトル、発光スペクトルを測定できる 積分球量子効率測定システムです。 LED開発や評価が効率良く行えるよう、積分球/分光器/電源等を自動で制御。 LEDの光学特性、電気特性、温度特性を測定します。 尚、標準校正光源は米国NIST準拠のものを使用し、演算については JIS規格に準拠しています。 【特長】 ■量子効率測定、LED光学特性評価等の高精度光測定を実現 ■LED開発や評価が効率良く行えるよう、積分球/分光器/電源等を自動で制御 ■LEDの光学特性、電気特性、温度特性を測定 ■お客様の標準光源で校正も可能 ■充実したソフトウェアにてLEDデバイスの開発、評価をサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

  • その他計測・記録・測定器

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2D分光放射計対応膜厚ソフト『SR10-FF』

SiO2薄膜の厚み測定や、ITO薄膜の厚み測定などに!膜厚演算や解析などを行います

『SR10-FF』は「SR-5000」による測定データを読み込み、膜厚演算や 解析などを行うソフトウェアです。 標準仕様では、0.5μm~15μm(0.001μm)、標準+薄膜解析では 0.01μm~15μm(0.001μm、0.1nm)の範囲を測定可能。 その他製品に関する詳細は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【測定範囲】 ■標準仕様:0.5μm~15μm(0.001μm) ■標準+薄膜解析:0.01μm~15μm(0.001μm、0.1nm) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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積分球測定システム『LL8-UV-VIS-NIR』

LED光学特性評価のための高精度光測定を実現!お客様の標準光源で校正も可能です

『LL8-UV-VIS-NIR』は、LED開発や評価が効率良く行えるよう、積分球/ 分光器/電源等を自動で制御し、 LEDの光学特性、電気特性、温度特性を 測定するシステムです。 標準校正光源は米国NIST準拠のものを使用し、演算についてはJIS規格に準拠。 お客様の標準光源で校正も可能です。 また、グラフの重ね書きや統計処理機能など充実したソフトウェアにて LEDデバイスの開発、評価をサポートします。 【特長】 ■LED光学特性評価のための高精度光測定を実現 ■LED開発や評価が効率良く行えるよう、積分球/分光器/電源等を自動で制御 ■LEDの光学特性、電気特性、温度特性を測定可能 ■充実したソフトウェアにてLEDデバイスの開発、評価をサポート ■各種オプションまたカスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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暗室不要で超微弱光を自動測定!吸光度測定システム『DD8-N』

外光・ノイズをキャンセルでき、暗室不要なためインラインで測定可能。透過率だけでなく暗い反射率も測定。【無料デモ測定可能】

『DD8-N』は、吸光度(OD)、透過率を暗室不用で評価することができ、 リアルタイム表示も可能な吸光度測定システムです。 リファレンスに対するサンプルの透過率から光学濃度を計算します。 複数ポイント測定をはじめ、偏光プリズムとの偏光度測定や 反射率測定など、各種オプションやカスタム仕様に対応可能です。 【特長】 ■超微弱光の8OD-12ODまで暗室不要で測定 ■外光・ノイズをキャンセルできる ■リファレンスに対するサンプルの透過率から光学濃度を計算 ■任意間隔で連続測定が可能 ■各種オプションやカスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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配光測定システム『RR8-LED-2000/12000』

お客様の標準光源を使用した校正も可能!JIS C8105-5 配光測定方法に準拠した測定システム

『RR8-LED-2000/12000』は、LED照明、各光源、平面発光、スポットライト などの配光特性、全光束、色度特性、電気特性を自動で評価できます。 トプコン社製分光放射計は、JCSS校正が行われており、演算については JIS規格に準拠しています。 また、照度アダプタを取り外すことで、ワイドダイナミックレンジ (0.0005~5,000,000cd/m2)の輝度測定が可能です。 【特長】 ■リアルタイム表示が可能 ■お客様の標準光源を使用した校正も可能 ■JIS C8105-5 配光測定方法に準拠 ■照明設計ソフト対応のIES配光データを出力可能 ■各種オプション・カスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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LED点灯・個数測定システム『SR10-LT』

各品種の形状等を登録可能!インライン上での自動測定が可能なLED点灯・個数測定システム

『SR10-LT』は、基板のLEDの点灯個数および光量を評価することができ、 リアルタイム表示も可能なLED点灯・個数測定システムです。 基板のLEDの個数を点灯せずに計測可能なほか、インライン上での 自動測定ができます。 画像認識によるLED位置検出や形状検出、コネクタなどのパーツの有無の 判別など、各種オプションやカスタム仕様に対応いたします。 【特長】 ■リアルタイム表示が可能 ■基板のLEDの個数を点灯せずに計測できる ■インライン上での自動測定が可能 ■ティーチングにより各品種の形状等を登録可能 ■各種オプション・カスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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偏光特性測定システム『PP8』

偏光スペクトルなどを自動で評価!リアルタイム表示が可能な偏光特性測定システム

『PP8』は、偏光フィルム、偏光レンズなどの偏光度、偏光スペクトル、 透過率、色度特性などを自動で評価でき、リアルタイム表示も可能な 偏光特性測定システムです。 サンプルに合わせた治具対応やUV対応によるUV-A,UV-B測定など、 各種オプションやカスタム仕様に対応可能。 充実したソフトウェアにて、LEDモジュール、デバイスなどの開発・評価を サポートします。 【特長】 ■偏光スペクトルや色度特性などを自動で評価 ■リアルタイム表示が可能 ■各種オプションやカスタム仕様に対応可能 ■LEDモジュール、デバイスなどの開発・評価をサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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LED光ファイバー式テスタ『LL8-LED(-500)』

サンプルに合わせた治具対応!積分球と高い相関測定が可能なLED光ファイバー式テスタ

『LL8-LED(-500)』は、半球上に複数の光ファイバを設置することで、 積分球と高い相関測定が可能です。 LED発光面と測定ユニットまでの距離があるため、高い作業性が得られ、 また自動搬送システムヘの取り付けも容易。 OK、NG判定機能もあり、工程で使えます。測定データ保存・読出し機能もあり、 充実したソフトウェアにてLEDの開発、評価をサポートします。 【特長】 ■積分球と高い相関測定が可能 ■自動搬送システムヘの取り付けも容易 ■充実したソフトウェアにてLEDの開発、評価をサポート ■半球サイズは、0.1m~数mと小型~大型対応が可能 ■全点灯画像評価などの対応も可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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積分球LED測定システム『LL8』

数日の作業が数時間で自動測定できる!LEDデバイスの開発・評価をサポートします

『LL8』は、光学特性、温度特性、電気特性を自動で評価することができ、 リアルタイム表示も可能なLED積分球測定システムです。 米国NIST準拠の標準校正光源を使用し、演算についてはJIS規格に 準拠しています。 グラフの重ね書きや統計処理機能など充実したソフトウェアにて、 LEDデバイスの開発、評価をサポートします。 【特長】 ■光学特性・温度特性・電気特性を自動で評価 ■リアルタイム表示も可能 ■米国NIST準拠の標準校正光源を使用 ■演算についてはJIS規格に準拠 ■各種オプションまたカスタム仕様に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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