【製品仕様（一部）】 ■測定範囲：760～1×10^-8Torr ■真空度表示：アナログ　ANALOG ■外部出力：0～10V ■測定用ケーブル：3m/Max100m ■入力電力：AC 100V±10％ ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

【仕様(一部)】 ■使用可能温度：5～50℃ ■セットポイント：2接点出力 ■測定ガス：N2/O2/Ar/Air ■入力電源：100±10V(50/60Hz) ■質量：180g(sensor head)/1.7kg(control unit) ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

【特徴】 〇超高真空対応可能 〇簡単に差動排気型に変更可能 〇取付フランジにΦ34ICFを採用 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• その他

【特徴】 〇ソース源には低価格の1”スパッタガンや2”～4”スパッタガンの成膜レシピ（ＰＣ制御）システムを有する装置まで幅広い実績を誇ります。 〇多数のオプションも備えております。 〇基板ホルダー（オプション各種・回転、ＸＹ、加熱、冷却、シャッター機構の追加等） ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• スパッタリング装置

【特徴】 〇豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能です。 〇他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることが可能です。 〇最大φ2inchの基板サイズに対応します。 〇φ2inch対応ランプの採用により広範囲な圧力での実験が可能です。 〇豊富なオプション選択が可能です。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。

• その他加工機械