バキュームプロダクツの製品・サービス一覧

『水晶・ペニング冷陰極真空計』は、大気圧から超高真空までを一つの ゲージヘッド・コントローラーで測定可能です。 水晶振動子の共振抵抗値が気体の摩擦による抗力が、圧力とともに 変化することを利用した水晶真空計と、磁場中の冷陰極放電電流が 圧力にほぼ比例することを利用したベニング真空計を一つのゲージヘッド、 一つのコントローラに組込んでいます。 高い圧力での電極の汚染が少なく、また放電の停止による制御出力の 誤動作をなくした、高信頼性でかつ安全な設計になっています。 【特長】 ■大気圧から超高真空までを一つのゲージヘッド・コントローラーで測定可能 ■ぺニング真空計部、高電圧は2.5x10^-2Torr以下で印加されるため、 　高い圧力での電極の汚染が少ない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

『クリスタルゲージ』は、1つのゲージヘッドで8桁の圧力測定が可能です。 表示部は液晶表現を採用、圧力はデジタル(仮数部3桁、指数部1桁)と アナログ(30セグメント棒グラフ)を同時表示。 また、温度補償、アナログ出力の選択、校正、気体単位の選択、 セットポイント、リークテスト及びセンサー温度表示等の機能は フロントパネルからアクセス可能です。 【特長】 ■1つのゲージヘッドで0.01x10^-1～1.33x10^5Paの8桁の圧力測定が可能 ■マイクロプロセッサにより校正曲線を算出、各種気体の圧力を直読可能 ■2つの不揮発性セットポイントを標準装備(オプションで6点まで可能) ■リークテスト機能により1x10^-5atm・cc/sec以上のリークを検出 ■ゲージヘッドは小型・軽量で取付位置の制限なし ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 真空機器

30KV対応でコンパクトな制御電源です。

• その他

本装置は、最大4元のスパッタガンを設置可能な成膜装置です。

• スパッタリング装置

70台以上の販売実績を誇る多目的ＰＬＤ装置です。豊富な実績に基づいた設計により安定した動作が可能で、他のスパッタ源や蒸着源を組み合わせることも可能です。

• その他加工機械