MEMS技術加工により、シリコン基板から熱分離された薄膜と熱電対からなるマイクロサイズの熱電対真空計です。 構造を工夫することによって低圧側の測定幅を広げてあるのが特長です。 また、約0.8mm角のChipなので微小空間の圧力測定が可能です。

【仕様】 ■質量範囲： 100、 200、 300amu ■検出器タイプ： FC/EM ■イオン化エネルギー： 70eV ■フィラメント： Y203-Ir デュアルフィラメント(タングステン:オプション) ■感度： 4.5 x 10-6　A/Pa (MPH100: FC) ■最小検出分圧：2.7 x 10-13Pa (MPH100: EM) ■最小検出速度： 1.8msec（アナログスキャンまたは、選択ピークモード） ■動作温度： 200℃ (FC)、 150℃ (EM) ■ベーキング温度： 最大 300℃ センサー単体 ■通信： TCP/IP イーサネット ■ソフトウエア： FabGuard Explorer ( Windows XP、 7、 8.1、10対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■アノード、カソード及びリペラー電極を組み合わせたフィラメントキット ■コンパクトなセンサによる設置スペースの最少化 ■9桁のダイナミックレンジ ■MDPP（最小検出分圧）は＜2.7E-13Pa（100amu） ■S/N比の向上 ■センサと制御部（SCU）のマッチング不要 ■クリーンルーム環境における組立・検査、及び二重梱包による出荷 ■RoHSに適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。