【仕様（一部）】 ■質量範囲：100,200,300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）,150℃（EM） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の特長】 ■アノード、カソード及びリペラー電極を組み合わせたフィラメントキット ■コンパクトなセンサによる設置スペースの最少化 ■9桁のダイナミックレンジ ■MDPP（最小検出分圧）は＜2.7E-13Pa（100amu） ■S/N比の向上 ■センサと制御部（SCU）のマッチング不要 ■クリーンルーム環境における組立・検査、及び二重梱包による出荷 ■RoHSに適合 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■質量範囲： 100、 200、 300amu ■検出器タイプ： FC/EM ■イオン化エネルギー： 70eV ■フィラメント： Y203-Ir デュアルフィラメント(タングステン:オプション) ■感度： 4.5 x 10-6　A/Pa (MPH100: FC) ■最小検出分圧：2.7 x 10-13Pa (MPH100: EM) ■最小検出速度： 1.8msec（アナログスキャンまたは、選択ピークモード） ■動作温度： 200℃ (FC)、 150℃ (EM) ■ベーキング温度： 最大 300℃ センサー単体 ■通信： TCP/IP イーサネット ■ソフトウエア： FabGuard Explorer ( Windows XP、 7、 8.1、10対応) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■極・超?真空の?精度な質量分析 ■表?分析 ■半導体デバイスの劣化とガス放出 ■光刺激、電?刺激によって発?するガス分析 ■微量ガス分析（TDS/Out Gas） ■封?デバイス/MEMSのガス分析及び、E-15Pa・m3/sレベルのリーク試験 ■ガラスのHe透過試験及び、微?気泡ガス分析 ■?気圧分析（呼気、燃焼ガス、触媒反応） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【その他の多く使用される自動車エレクトロニクス】 ■ステアリングトルクセンサ ■O2センサ ■ホイール速度センサ ■赤外線カメラ ■エアバックセンサ ■ヨートレートセンサ＆加速度センサ ■車間制御センサ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様（一部）】 ■質量範囲：100、200、300amu ■検出器タイプ：FC／EM ■イオン化エネルギー：70eV ■フィラメントタイプ：Y2O3-Ir デュアルフィラメント ■感度：1.0 x 10-6 A／Pa以上（100amu FC Sensor） ■最小検出速度：1.8msec ■動作温度：200℃（FC）、150℃（EM） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【受託分析のフロー】 1.試験体を受領 2.試験体をチェックして試験方法、サンプルホルダー等のカウンセリング 3.装置にセッティング 4.試験体の破壊、放出ガスの分析 5.分析データの取得 6.分析結果の報告 ※サービスの詳細は資料をダウンロードしてご覧ください。

【受託分析のフロー】 1.試験体を受領 2.試験体をチェックして試験方法、サンプルホルダー等のカウンセリング 3.装置にセッティング 4.試験体の破壊、放出ガスの分析 5.分析データの取得 6.分析結果の報告 ※サービスの詳細は資料をダウンロードしてご覧ください。