【特長】 ■真空環境内へ設置可能 ■複数設置で圧分布測定が可能 ■広領域で測定（0.005Pa～大気圧） ■高速応答100msec ■最大32チャンネルまでシステム構築 ■耐振動・耐環境性 真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。 例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置 例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置 例３：真空成形装置の金型近傍へ設置 例４：真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

●広領域測定可能です。0.05Pa～大気圧 ●センサフィラメントのマイクロ化により耐振動、耐衝撃に優れています。 ●サーマルシンク構造により安定性に優れています。 ●フラッシング機能により耐環境性に優れています。 ●センサ形状が豊富です。5種類から選択いただけます。 ●各種出力を標準で装備しています。 ●専用バッテリパックとの接続で電池駆動になります。 ●移動平均機能を装備しています。 ●計測ソフトウェアも提供できます。

マイクロハクマク圧力センサは、新開発の薄膜感応部材料、熱容量の小さい耐熱性ポリイミドフィルム基板と、薄膜部の最適設計で超小型、堅牢で、広い圧力領域をカバーできる新開発センサです。 ●真空環境内へ設置可能です。 ●複数設置で圧分布測定が可能です。 ●広領域が測定可能です。0.005Pa～大気圧 ●高速応答です。100msec ●最大32チャンネルまでシステム構築可能です。 ●耐振動・耐環境性に優れています。 ●計測ソフトウェアも提供可能です。

【特徴】 ○木製パネル：U字型真空計 ○測定範囲：0.2～24, 40, 52, 66kPa（４機種） ○作動液 ：水銀 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○金属製パネル：U字型真空計 ○測定範囲：0.2～13, 26, 38, 52, 66kPa（５機種） ○作動液 ：水銀 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○ガスの種類に関係なく絶対圧力を測定できます。 ○低～中真空の範囲を正確に計測できます。 ○金属ケースに格納された、ゲージ管そのものを指先で左右に 　回転操作することで測定します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○センサ・電磁弁・バルブを一体化しているので、 別途外部に制御機器を準備する必要はありません。 ○調整用バルブを内蔵しているので、真空ポンプ・ 容器の大きさに応じた微調整ができます。 ○大容量の容器にも対応可能なセンサ分離型および 腐食性ガスに対応した耐腐食性型もあります。 ○センサには互換性があり、センサのみの交換ができます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○センサ・電磁弁・バルブを一体化しているので、 別途外部に制御機器を準備する必要はありません。 ○調整用バルブを内蔵しているので、真空ポンプ・ 容器の大きさに応じた微調整ができます。 ○大容量の容器にも対応可能なセンサ分離型および 腐食性ガスに対応した耐腐食性型もあります。 ○センサには互換性があり、センサのみの交換ができます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

【仕様(一部)】 ■測定範囲：2.0×10^-1～2.0×10^3Pa ■表示範囲：1.0×10^-1～1.0×10^4Pa ■表示方法：7segLED赤色（仮数部2桁、指数部1桁） ■表示周期：0.5sec ■センサ形状 ・3種類から選択：円筒φ15mm、φ18mm、NW16フランジ ■センサケーブル長 ・4種類から選択：2m、5m、10m、20m ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○透明カバーとニードル式のストップバルプが付いていて測定し易くなっています。 ○壁掛け式とスタンド付があります。 ○接手の種類はゴム管用、PT1/4用、R6金属管用があります。 ○金属製パネル　U字型真空計 ○測定範囲：0.2～13, 26, 38, 52, 66kPa（５機種） ○作動液 : 水銀 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○測定時には中央のメモリ板を上下に移動させ、左右の水銀柱の差を読み取ります。 ○木製パネル　U字型真空計 ○測定範囲：0.2～24, 40, 52, 66kPa（４機種） ○作動液 : 水銀 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○毛細管球部の残留気体を圧縮し、微小圧力を拡大して真空度を測定。 ○簡単な回転操作で気体の種類に関係なく直接測定できます。 ○測定範囲：1.3×10-2～1.3×103Pa ○作動液：水銀 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

※こちらの製品もデモ機貸し出し中！ 【マイクロコイル真空計 AMC型】 ■小型・軽量・安価 ■測定範囲：5.0×10^-2 ～ 1.0×10^5 Pa ■水銀フリー ■デモ機貸し出し中 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

■JASIS2023出展情報■ 会期：2023年2月1日（水）～2月3日（金） 会場：グランキューブ大阪（大阪府立国際会議場） 　　　〒530-0005　大阪府大阪市北区中之島5‐3‐51 ブース：E-08 ※お問い合わせください。