【主な特徴】 ○300mm角基板に対応しており、短時間で均一な成膜をするために、特別なスキャニングパターンを持つ三つのスプレーノズルを使用。 ○最大400mm×400mmの範囲に、複数ノズルでＸ、Ｙ軸方向に移動噴霧が可能。 ○下方向への強力排気と粉末分離システム。 ○反応室の内壁はセラミック成膜されており、取り外して洗浄可能。 ○爆発性ガス捕集システム。 ○内蔵タッチパネルで自動運転が可能。 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

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【SPD(Spray Pyrolsys Deposition)のメリット】 ■装置が簡単、操作も容易 ■大気中で製膜可能 ■原料の選択幅が広い ■成分・組成の調整容易 ■低温形成が可能 ■製膜速度が高い ■大面積化容易及び複雑形状物へのコーティング可能 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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