PIジャパンの製品ラインアップ

NanoCube P-616.65S は、X・Y・Z の直線移動に加え、θX・θY・θZ の回転まで含む 6軸ナノポジショニングを実現する多自由度ピエゾステージです。 パラレルキネマティクスとフレクシャガイド構造により、従来ステージでは達成できない 高剛性・低クロストーク・高ダイナミクス動作を提供します。 ±250 µm の移動レンジと ±26.2 mrad の回転レンジを持ち、ナノメートル単位の微細位置決めが可能。フォトニクス、ファイバーアライメントなど、サブミクロン精度が求められる環境で威力を発揮します。

X-365は、高性能コアレスリニアモーターを搭載したモジュラー型のXYガントリーシステムです。 熱影響を低減する設計により安定した動作を実現し、ナノメートル分解能のアブソリュートエンコーダにより高い再現性を確保します。 カスタマイズ性の高い構成により、レーザー加工や検査工程など幅広い用途にも対応可能です。

F-836 3Dアライメントシステムは、L-836シリーズのリニアステージを積層構造で構成しています。 高分解能ステッピングモーター、高精度ボール循環ガイド、および高精度リニアエンコーダーを備えており、コンパクトなサイズながら、高分解能・高再現性・高速動作が求められるアプリケーションに最適です。 F-836 XYZシステムは、3Dアライメントのために3または6自由度の直線軸を提供します。さらに、将来的にゴニオメーターを統合することで、自由度の拡張が可能です。

本システムは高度なフォトニクス用途に理想的なソリューションです。 コンパクトかつ高性能な磁気リニアドライブにより、リニア軸は高速動作を実現。さらに、高分解能の光学式リニアエンコーダーによるダイレクト計測により、高精度な制御を実現しています。 アライメントシステムには、すべての軸を制御する事前設定済みACSコントローラーが含まれています。 高速エリアスキャンおよびグラディエントサーチ用のFMPAルーチンがコントローラー（ACSバッファ）に実装されていることにより、工程内のアライメント時間と、それに伴うコストを大幅に削減可能。さらに、F-572向けオプションとして、初光探索（First-Light Search）用の超高速PILightningアルゴリズムも利用可能です。