【特徴】 ■Ar, N2 ガス置換によるフロー昇温、冷却が可能 ■プログラムコントローラーによる脱脂工程、焼成工程のパターン運転が可能 　ガス置換タイミングは、プログラムコントローラーのイベント信号によりおこなう ■炉内過昇温アラーム、水冷ジャケット冷却水出口温度モニターにより 　過負荷を防ぎ装置を保護 ■真空排気系の水冷トラップ及び炉内インナーボックスにつながる 　ガストラップを装備することで、アウトガスによるヒーター汚染、炉内汚染を 　低減し、メンテナンスを容易にする ■ラインナップ 　・横型：VHF-H 　・竪型：VHF-V □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

【特徴】 ■大学などの各研究機関の実験装置をはじめ 　小ロットの生産装置として最も汎用性の高い装置として設計 ■コンパクトな外観と優れた内部機構、コントロール系を有し 　排気系は、手動式及び全自動操作が可能 ■誘電体膜( 光学系) から、アルミ、クロムなどの 　金属膜を容易に形成しその応用は広範囲 ■他に電子ビーム蒸着及び膜厚モニターによる 　自動蒸着制御タイプ、生産用大型蒸着も製作可能 □その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

■加熱機構 各棚板下に取り付けたシースマイクロヒーターを加熱源とする内部加熱方式。 ワークにより、槽内各壁面にヒーターを設置する方式も可能。外部加熱方式に比べ、設定温度ま での昇温時間が短縮され、槽内温度分布も向上。 ■加熱制御 各ヒーターごとに温調計を設け個別にPID 制御しますので、温度制御が正確、確実。また、プロコンにより昇温パターンを設定可能。 ■操作性 スタートボタンON で、シーケンサプログラムにより真空排気、昇温、バルブ開閉など各機能を自動運転。グラフィックパネル上に機器系統、作動機器のON/OFFが表示され、 運転状況も容易に確認。個別運転時でも各インターロック機能により操作ミスを防止。 ■安全性 自動運転時に装置異常を検出した場合、異常内容( 冷却水量低下、エア圧力低下、過昇温etc.) により、運転全停止または一部機能停止。異常内容をグラフィックパネル上でランプ表示。停電時には主弁を閉じ真空加熱槽の圧力をキープするとともに、ポンプリーク弁を開けポンプオイル逆流を防止する保護機能を組込み。 ■強制冷却機能( オプション) により処理時間を大幅に短縮可能。

■加熱機構 真空中で高温を得るために、各棚板下に取り付けたシースマイクロヒーターを加熱源とする内部加熱方式。ワークにより、槽内各壁面にヒーターを設置する方式も可能。外部加熱方式に比べ、設定温度までの昇温時間が短縮され、槽内温度分布も向上。 ■加熱制御 槽内に設置された各ヒーターごとに温調計を設け個別にPID制御し、温度制御が正確、確実。また、プログラム温調計により昇温パターンを設定することも可能。 ■操作性 スタートボタンON で、シーケンサプログラムにより真空排気、昇温、バルブ開閉など各機能を自動運転。グラフィックパネル上に機器系統、作動機器のON/OFFが表示され、運転状況も容易に確認。個別運転時でも各インターロック機能により操作ミスを防止。 ■安全性 自動運転時に装置異常を検出した場合、異常内容( 冷却水量低下、エア圧力低下、過昇温etc.)により、運転全停止または一部機能停止して、異常内容をグラフィックパネル上でランプ表示。停電時には主弁を閉じ真空加熱槽の圧力をキープする(大気リークによるワークの酸化防止)とともに、ポンプリーク弁を開けポンプオイル逆流を防止する保護機能を組込み。