試験・分析・測定

アローズエンジニアリング株式会社

設立1986年12月1日 (昭和61年)
資本金2000万
従業員数24名
住所千葉県千葉市若葉区都賀1-4-2
電話043-234-5511
最終更新日：
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瞬時電圧低下保護装置 瞬時電圧低下保護装置
ウエハエッジ外観自動検査機 ウエハエッジ外観自動検査機
真空チャック 真空チャック
各種修理改善サービス 各種修理改善サービス
アイティ・テック社製品 アイティ・テック社製品
ウエハエッジ外観自動検査機

ウエハエッジ外観自動検査機

傷・異物・チップ・クラックの欠陥自動検査機です。 搬送時間を含め１枚30秒の高速検査が可能なうえ、コンパクト・省電力設計で経済的です。

検査装置　「ウエハエッジ外観検査機」

傷・異物・クラックなどの欠陥の検査に。エッジの精細画像検査を実現

【特長】 ○１台のカメラでエッジ３面の検査が同時にできる ○ウエハ厚み０．２ｍｍ～１．５ｍｍまで調整可能 ○トリプル光学系とインテグレイト照明で黒抜けしない最適な無影照明を実現 ○オリフラ部を含めた外観検査が可能 ○画像計測分解能１０μｍ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。

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