【オプション】 ■対物 ELWD20,50,100(2) ■TSV 微小径深さ測定アダプタ ■厚み段差測定機、0.1μm フォカスエイド+変位計(2)カウンタ ■赤外顕微鏡ユニット Si透過画像と可視カメラ画像の比較計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【性能】 ■通常モード：5倍、分解能2.8μm、検査面/幅 3mm×80mm/sec+α ■高速モード：10倍、分解能1.4μm、検査面/幅 1.5mm×40mm/sec+α ■その他、マーキング機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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