アローズエンジニアリングの製品・サービス一覧

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライメントとリアルタイムで合成で 上下の重なりズレをダイレクトに写します。また、自動線幅測定で マークズレをサブミクロン測定します。 【基本構成（抜粋）】 ■MEMS 顕微鏡 本体 ■三眼鏡筒 ■接眼 10 倍 ■XY ステージ ■カラーカメラ2台 ■検査 PC/19型モニタ/MEMS 検査ソフト　他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の 『自動赤外顕微鏡』を取扱っています。 当製品は、8”貼り合わせウエハの表面に可視でAFフォーカスして 赤外顕微鏡でSi内部パターンのパターン寸法を画像測定します。 2カセット、エッジグリップチャック、エッジアライナを搭載しています。 【特長】 ■対象ウエハ 8” ■2カセット ■位置決め精度±1μm ■軸ズレ測定±0.5μm ■線幅測定 0.2μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の AR膜欠陥検査装置を取扱っています。 『EX2001S』は、ガラス基板の反射防止膜の欠陥検査機です。 透明基板の表面や裏面を倒立顕微鏡とラインカメラで 高速スキャン検査して欠陥検査をします。 【特長および機能】 ■対象基板は最大400mm、透明基板にオートフォーカスで検査 ■検出欠陥：AR膜基盤の白異物(抜け)や黒異物 ■最小検出分解能2.8μm(1.4μm) ■レビュー検査をリモート制御(カメラ/照明/対物変倍/ステージおよびフォーカス) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『MR-200A』は、メインローラーのV溝形状測定やワイヤー高さ測定が できる装置です。 ワイヤソーにセットしたローラーを洗浄して芯金に検査機を取り付け。 ローラー上を検査機がステージ移動して全溝を測定し、測定値を Excelファイルと画像ファイルにします。 【特長】 ■ローラーを機械から外さずにワイヤーがない状態で溝深さが他に比べ深くないか検査 ■ワイヤー巻き付け状態でワイヤー高さを測定して沈み込みを測定 ■検査結果から品質改善の手がかりとしてローラー交換の目安を判定 ■メインローラーの再加工後の受入検査ができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。