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数多くのシリーズ規格製品からのご紹介や特注製作対応を承ります。
高効率と耐久性を備え、用途に合わせ多種多様な形状・材質で提供可能。
スタンダードなディスク形状をはじめ、用途に合わせた特殊形状型ディスクの提供も可能。多種材質商品をラインナップ。
全てのスパージャー設備を取外すことなく、スパージャー部のみを予備のスパージャーへすばやく交換が可能です。
お客様のご要望仕様や形状に合わせカスタムメイド対応可能。
流量条件が比較的一定な環境下でニードルバルブ調整やオリフィスを使うことなく流量を制御します。接続継手の形状はご使用環境に合わせ多種ラインナップ。
流量条件が比較的一定に維持されるマスフローコントローラー、ニードルバル ブ、およびその他の流量制御装置の費用対効果の高い製品。 流量を調整するニードルバルブやオリフィスに比べ、ガスの乱流を起こすことなく流量を制御します。
半導体ガス供給システムのマスフローコントローラー、レギュレーター、バルブなどの重要なコンポーネントを保護。
ディフューザーフィルターは真空チャンバーの大気復帰時にかく乱させることなくすばやく大気復帰し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上させます。高い使⽤圧⼒にも耐え、300万サイクル以上の高寿命製品。
mott社の長年のフィルター技術・経験を活かし、大流量ながら高性能な製品を提供
mott社独自技術によるエレメントを採用したリキッドソース向けインラインフィルター。
不活性ガス向けの低価格フィルターであり、テフロンエレメント製フィルターからの置換にも最適。
1.125"、1.5"集積パネル規格向けのWシール、Cシール仕様を取り揃え。
大流量対応ながら、ろ過精度を低下させることなく、従来品の1/3の大きさを実現。
腐食性ガスをはじめ、様々なガス種へ対応可能な製品を多数ラインナップ。
ご使用のガス種・使用流量に合わせた製品を多数ラインナップ。
他社では取得ができない厳しいUL991、SEMI-S2を取得 マイクロコントローラーを使用せず、暴走や潜在的なバグによる誤動作をなくした構造 一体型でコンパクト 様々なご要求に対応いたします（耐食性タイプ等） 安全性、使いやすさの為の各種オプション設定が可能
VTシリーズはコンパクトな設計の３方向のエア作動バルブで高圧６８．９MPaまで（SUS316製のみ）対応可能なバルブです。バランスの良いポペット式設計で優れた耐久性を実現しました。
CCシリーズは最大圧力が６８．９MPaまでの精密なメタリングバルブになります。最大CV値は０．００００５と０．００１２５があり、閉止から全開までのハンドル回転数は２０回以上で高精度な流量制御が可能です。また。非回転式ステムにより、シート摩耗を防止します。 【特徴】 ・液体と気体の両方に使用できる設計 ・コンパクトで低圧から高圧までご使用いただけます ・優れた精度で流量を制御 ・負圧および正圧アプリケーションの両方に対応
武井製作所製の微圧（0.01MPa）用から超高圧（130MPa）用まで、極低温（－269℃）用から高温（500℃）用までの安全弁です。 経済産業大臣認定事業所ですので認定品の供給が出来ます。 使用後のメインテナンスも承ります。
■ 最新技術のOEMガスシステムのための製品 ■ 超高感度の圧力調整でマスフロー性能を強化 ■ 広範囲にわたるアプリケーションで優れた性能 ■ 卓越したDROOPと再現性 ■ 表面は10Raまたは5Ra
■ 高感度金属ダイヤフラム減圧弁
■ VCR接続 ■ ポジティブシール
■ ダイヤフラムはタイド式です ■ シート材質選択できます ■ VCR接続
最大入口圧力2.07MPa/出口圧力範囲2.07MPaまで！ ■大流量、調整圧力降下量が少ない。 ■5種類の出口圧力範囲
■高精度 ■非常に正確で、大流量と圧力低下の少ない設計で、 低圧用パージレギュレーターに最適
テスコム社ER５０００シリーズは、PIDコントローラーを内蔵した電子制御圧力調整器です。フィードバック制御により、プロセス流量が変化しても高精度で圧力を制御できます。 また、プログラム運転にも対応しており、お客様ご自身で様々なプログラムを設定できる機能も内蔵されております。 単体で減圧弁としての使用のほか、テスコム社の各種圧力調整器と組み合わせることで、液体や気体、真空域から１００MPa以上までの圧力制御が可能になり、様々なアプリケーションでお使いいただけます。 圧力の設定はアナログ信号（4～20mA、1 ～5V）もしくはUSB,RS485経由でPC/AT互換機やアナログ設定器などから行えます。 ＰＩＤパラメーター、プログラム運転の設定、SP値・PV値のモニタ用の専用ソフトが付属しております。（Windows10対応） 【特徴】 ・CSA,IECEx,ATEX等の防爆規格対応品もあり ・減圧弁、背圧弁との多彩な組み合わせが可能 ・PID設定次第でセンサー精度範囲内までの制御も可能 ・様々な試験、自動運転に最適です。
２６－１０００シリーズは６８．９MPa迄の圧力を最高６８．９MPa以下７段階の調整圧力範囲に減圧可能な超高圧用減圧弁です。 オプションで１０３．４MPa迄の圧力調整ができるタイプもございます。 この調整器は標準でベントバルブが内蔵されており、末端が閉じられた配管系の圧力を減圧弁を通して抜くことができます。 可燃性ガスや液体等にはノンベントまたは捕集用ポート付きのオプションもお選びいただけます。 【特徴】 ・ 高温対応品もあり（MAX２０４℃） ・ 内部部品の交換で出口側圧力レンジの変更が可能 ・ 大きなハンドノブで快適な操作 ・ 調整圧力138MPaまでのオプションもあり ・ 多彩な出入口ポートタイプ ・ エア駆動タイプにて電子圧力調整器との組み合わせ可能 ・ Ｏ−リング、樹脂材の選択可
２６－１１００シリーズはコンパクトサイズの大流量用ドーム型減圧弁です。 ダイヤフラム制御により、高感度の圧力調整を行います。バランス型メインバルブを採用しておりますので瞬時圧力降下が少なく、またシート部への負荷を軽減しております。 【特徴】 ・高感度ゴム製ダイヤフラム ・弁部のモジュール構造によりメンテナンスも簡単です ・バランス型メインバルブを採用 ・高精度の外部センサーの利用が可能
２６－１２００シリーズは大流量用のドーム型減圧弁です。 ダイヤフラム制御により、高感度の圧力調整を行います。バランス型メインバルブを採用しておりますので瞬時圧力降下が少なく、またシート部への負荷を低減させております。 本体材質はステンレス製で４１．３ＭＰａ迄の圧力制御が精密に行えます。 【特徴】 ・高感度ゴム製ダイヤフラム ・弁部のモジュール構造によりメンテナンスも簡単です ・バランス型メインバルブを採用 ・高精度の外部センサーの利用もオプションで選択できます
２６－１５００シリーズはコンパクトサイズのガス用減圧弁です。 直径の大きいゴムダイヤフラムを採用しておりますので高感度、高精度の圧力調整が可能です。 この減圧弁は入口側４１．３ＭＰａ迄の圧力を、出口側圧力０．０３ＭＰａから最大１．７２ＭＰａ迄調整することができます。 【特徴】 ・ノンベントタイプ ・コンパクトデザイン ・高感度なゴム製ダイヤフラム
２６－１６００シリーズは末端の閉じられた配管系でも圧力を抜く事のできるセルフベント機構の付いた減圧弁です。 直径の大きいゴムダイヤフラムを採用しておりますので高感度、高精度の圧力調整が可能になります。 この減圧弁は最高４１．３ＭＰａ迄の入口圧力を出口側圧力０．０１ＭＰａから調整することができます。 【特徴】 ・高感度ゴム製ダイヤフラム ・セルフベントタイプ
２６－２０００シリーズは高圧の液体用、または気体用に設計されており、１０３．４MPaまでの圧力を最高６８．９MPaまでの複数範囲に減圧可能な超高圧用減圧弁です。標準で捕集用のキャプチャーベント機構が内蔵されておりますので減圧弁の下流側の流体をベントポートより放出することができます。また、用途に合わせて手動のスプリングロード型とエア駆動のドームロード型、エアアクチュエーター型の選択が可能です。 【特徴】 ・補修用のキャプチャーベントが標準採用 ・３種類の駆動方法が選択できます ・多彩なOリング材質で流体に適した材質が選定可能 ・様々な接続規格、ポート形状からお選びいただけます
４４－１１００シリーズは６８．９MPa迄の圧力を最高４１．３MPa以下、６段階の調整圧力範囲に減圧弁が可能な高圧減圧弁です。 1台の本体で内部部品を交換して容易に調節範囲を変更することもできます。 この調整器は標準でベントバルブが内臓されており、末端が閉じられた配管系の圧力を減圧弁を通して抜く事ができます。可燃ガス、液体等にはノンベントのオプションも用意されています。 【特徴】 ・標準でセルフベント機能が内蔵 ・４０μの内部フィルターが標準装備 ・多彩なオプションで流体に合わせたＯリング材質をご用意
４４－１３００シリーズは３１．０MPa迄の圧力を大流量で安全に１０．３MPa以下に減圧することが出来る減圧弁です。 センサー下部に仕切り版が内蔵されておりハンチングが起きにくく、バランス型のメインバルブにより安定した二次圧力が得られます。 この調整器は末端が閉じられた配管系で圧力を抜く事ができるベントバルブが標準で内蔵されております。液圧系にはノンベントのオプションもございます。 【特徴】 ・ＣＶ値０．８と２．０が選択可能 ・バランス型バルブを採用 ・セルフベント機能が標準装備 （ノンベントのオプションもあり） ・ 高温対応や高圧仕様等の多彩なオプションあり
４４－１５００シリーズは大流量、低圧用の減圧弁になります。 バランス型バルブ設計により安定した出口圧力と大きなセンサーによって正確な圧力調整が可能になります。 標準で捕集用のキャプチャーベント機能が内蔵されておりますので液体での使用も可能です。 【特徴】 ・バランス型バルブ設計 ・キャプチャーベント機能が標準装備 ・低ドループ ・手動タイプのスプリングロード、ドームロードとエアロードが選択可能
４４－１８００シリーズはコンパクトで経済的な高圧用の減圧弁です。 ピストン式のセンサーによる圧力制御は41.3MPaの入口圧力を安全・確実に0.34〜17.2MPaに調圧します。 【特徴】 ・コンパクトなデザインで高圧に対応 ・オプションでセルフベント付も可能
４４－２２００シリーズは高純度流体用のコンパクトで低価格の減圧弁で、腐食性、非腐食性のガス又は液の調整に幅広くご使用いただけます。本体材質は３１６ステンレス、真鍮、ハステロイ、モネルの４種類があり、用途に合わせて選べます。同心円の波形をもった金属ダイヤフラムは高感度な圧力制御が可能になります。又、金属当たりのダイヤフラムシールの為にガスの吸着等の問題もありません。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムタイプ ・汎用減圧弁で様々なガス、液でお使いいただけます ・2次側調整圧力は３．４４MPaまで対応可能 ・数多くのオプション品がございます
■メタルダイヤフラムのため、高純度で使用可能 ■安定した制御圧力を実現
44-3200シリーズは高純度ガス系でパージラインの様な大流量を必要とする場合などに最適な減圧弁です。大型のメインバルブを使用しており、CV値は1.0あります。入口側圧力が高圧のタイプでは圧力変動を抑える為にバランス型メインバルブを使用し、低圧のタイプではバルブの閉止を確実とするためにに非バランス型メインバルブを採用しております。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムタイプ ・2次側調整圧力は１．３７MPaまで対応 ・コンパクトな設計
44-3400シリーズは、入口圧力の変動に対し安定した二次圧力が得られるように設計された二段式の減圧弁です。入口圧に対する二次圧の変動率は０．０４％。 本体材質が316ステンレス製の製品は接ガス部材質が316ステンレス、テフロン、Kel-fで構成され、腐食性流体にもご使用いただけます。また、ステンレス製品は異常時にガスを放出するための補修型ボンネットが標準になっております。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムタイプ ・高純度ガスや腐食性ガスにもお使いいただけます ・二次側圧力は１．７２MPaまで対応 ・二段式なので供給圧力の変化の影響を最小限に抑えます
最大入口圧力 41.38MPa / 出口圧力 0.34-10.34MPa！ ■バイアス圧力レンジ調節可 ■セルフベント(キャプチャー)
■真鍮製またはステンレス製から選択可能 ■ピストン式センサーとバランス型メインバルブを採用
44-4600シリーズは、陽圧の入口圧を真空から0.2MPaAの圧力に減圧可能な 絶対圧調整器で、大気圧付近の圧力調整が必要な用途に最適です。ダイヤフラムは同心円の波形をもち高感度な圧力制御を生み出します。この調整器は高純度ガス供給システム用に設計されており、接ガス部は316ステンレス、テフロン、エルジロイのみで構成されているため、腐食性のガスにもご使用いただけます。 【特徴】 ・高性能なメタルダイヤフラムシール ・高純度ガスや腐食性のガスにもご使用いただけます ・オプションで最大入口圧力は24.1MPaまで対応 ・オプションでドームロードまたはエアロードタイプも選択可能
コンパクトに設計された減圧弁
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