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焼結金属形状：シート、ディスク、チューブ、カップ、ブッシング 他 製品グレード(目粗さ)：0.1μm～100μm 材質：316LSS、Nickel、Titanium、Hastelloy、Monel、Inconel 他
製品グレード(目粗さ)：0.5μm～100μm 材質：316LSS、Titanium、Hastelloy 他 接続形状：チューブ出し、コンプレッション 他
製品グレード(目粗さ)：0.1μm～20μm 材質：316LSS、Titanium、Hastelloy 他 形状：円盤型、二重円盤型、凹型円盤型 他
製品グレード(目粗さ)：0.5～10μm 材質：316LSS、Nickel、Hastelloy 他 接続形状：継手形状、チューブ出し 他
製品グレード(目粗さ)：0.1μm～100μm 材質：316LSS、Nickel、Hastelloy 他 接続形状：継手形状、チューブ出し 他
接続仕様：1/4" コンプレッション(食い込み)継手、オスコネクター継手 他 ＊使用ガス種、供給圧力からご要望流量にセッティング。
接続仕様：1/4"VCRユニオン継手、1/2"VCRユニオン継手、集積IGS用 ＊使用ガス種、供給圧力からご要望流量にセッティング。
仕様流量：1～50L/min向け 捕獲性能：0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 製品材質：ステンレス製およびニッケル製
製品形状：ディクス、チューブ型 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：NW25、NW40、NW50、NW100
仕様流量：4500～250000L/min 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999%(9LRV)
仕様流量：50L/min 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/2"VCR
仕様流量：75L/min 捕獲性能：0.003μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR
仕様流量：10～100L/min向け 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1.125" Wシール/Cシール および1.5" Wシール/Cシール
仕様流量：50～4000L/min向け 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 他
仕様流量：15～600L/min向け 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 他
仕様流量：8～300L/min向け 捕獲性能：0.0015μm 99.9999999% (9LRV) 接続仕様：1/4"VCR、1/2"VCR 他
主な仕様および機能 プロセスステータス状態表示および警報表示。 警報状態保持や警報出力タイムディレイ機能。 メンテナンスモード。 アナログ警報出力機能。 自己診断機能 その他オプション各種。 CE、SEMI-S2、UL508、UL991 取得。
本体材質：真鍮製、SUS316製 最高入口圧力：４１．４MPa（真鍮製）、６８．９MPa（SUS316製） CV値：０．７５
本体材質：SUS316製 最大操作圧力：６８．９ＭＰａ ＣＶ値：０．００００５と０．００１２５ （０．０１もあり） ■その他の機能や詳細についてはカタログをご覧いただくか別途、 お問い合わせください。
安全弁は、コンビナートをはじめとした様々な高圧ガスの製造事業所において、圧力容器や配管などの高圧ガスの製造設備に附属して設置されており、系内のガスが異常昇圧した際に、ガスを安全に放出し爆発を未然に防止するという重要な役割を担っている製品です。
■ P1=1.03MPa ■ P2=MAX0.69MPa（各レンジあり） ■ 真空用モデルあります
■ 金属製ダイヤフラム ■ VCR接続（H.P.I.C.インターナル接続あり） ■ シート材質選定できます ■ P1 MAX：24.1MPa(Cv=0.06)と4.1MPa(Cv=0.15)選択できます
■ 接ガス部は全てRa0.26μm以下に電解研磨されています ■ ダイヤフラムとメインバルブを結合させたポジティブシール方式はシート部に異物が付着して起こる二次圧の上昇を抑え、ダイヤフラムの寿命を長くします ■ シート標準材質：PCTFE
■ メインバルブステムとダイヤフラムを結合させたポジティブシール方式 ■ H.P.I.C.（インターナル）接続あります。 ■ メーカー認定品対応 ■ オプション品もあります
■□■特徴■□■ ■流容量：Cv=5.0 ■大流量、調整圧力降下量が少ない。 ■5種類の出口圧力範囲 ■調整圧力1.72MPaまで (ドームロード型は2.07MPaまで調整可能) ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
■□■特徴■□■ ■最大入口側圧力3.45MPa/最大出口側圧力範囲1.03MPaまで ■高精度 ■非常に正確で、大流量と圧力低下の少ない設計で、 低圧用パージレギュレーターに最適 ■大流量、 Cv = 1.8 ■メタルシールダイヤフラム ■ドームロードタイプ・ゲージポートタイプもご用意 ■ネガティブバイアススプリング内蔵 ■バランス式メインバルブが入口圧力変動の影響を最小にする ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
・直線性 ±0.05％ Full Scale Output (FSO) ・ヒステリシス ±0.05％ (FSO) ・再現性 ±0.05％ (FSO) ・分解能 ±0.03％ (FSO) ・精度 ±0.10％ (FSO) ・電磁弁寿命 150,000,000回 ・供給圧力 0～0.8MPa ・電源電圧 24VDC ・消費電力 最大340mA ・入力信号 4～20mA、1～5VDC、USB、RS-485、プログラム運転 ・使用温度範囲 -20～+75℃ ・重量 約1.4Kg
本体材質：真鍮またはSUS３１６ 調整圧力：MAX６８．９MPaまでの７種の調整レンジ 標準でベント機構を内蔵 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
本体材質：真鍮及びＳＵＳ３１６またはアルミニウム 最高入口圧力：６８．９ＭＰａ（ＳＵＳ製） ２種類のＣＶ値０．４６と１．３がお選びいただけます ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
本体材質：ＳＵＳ３１６製 最高入口圧力：４１．３ＭＰａ ＣＶ値：３．３（オプション品でＣＶ値６、１２、２０まであります） ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
・本体材質：真鍮、ＳＵＳ、アルミニウム製 ・最高入口圧力：：４１．ＭＰａ（ＳＵＳ製）、 ３４．４ＭＰａ（真鍮、アルミニウム製） ・出口側の圧力レンジは３種類からお選びいただけます： ０．０３～０．３４ＭＰａ ０．０３～１．０３ＭＰａ ０．０３～１．７２ＭＰａ ・ＣＶ値０．０８ ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
本体材質：真鍮、ＳＵＳ、アルミニウム製 最高入口圧力：４１．３ＭＰａ（ＳＵＳ製） ３４．４ＭＰａ（真鍮、アルミニウム製） ・出口側の圧力レンジは４種類からお選びいただけます： ０．０１～０．３４ＭＰａ ０．０１～１．０３ＭＰａ ０．０３～１．７２ＭＰａ ０．０３～３．４４ＭＰａ ＣＶ値０．０８ ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
本体材質：真鍮製、SUS316製 最高入口圧力：真鍮製は41.38MPa迄 SUS316製は68.9MPaと103.4MPa迄 出口側調整圧力： スプリングロード型 ０．０３～３．４MPaから１．３８～６８．９MPa（SUS製のみ）の７種類 ドームロード型は下記2種類 ０．３４～４１．３８MPaと１．３８～６８．９MPa（SUS製のみ） エアアクチュエーター型は下記4種類 ０．０７～１０．３４MPaから１．３８～６８．９MPa（SUS製のみ） CV値：０．０２、０．０６、０．１２から選択可能 （オプションで０．３もあり） ・標準品で40ミクロンフィルター内蔵（ソフトシートモデルのみ） ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
・本体材質：真鍮製、ＳＵＳ３１６製 ・ベント機能付き ・１次側最高圧力 ６８．９ＭＰａ（ＳＵＳ３１６製） ４１．３ＭＰａ（真鍮製） ・２次側調整圧力レンジ ０．０３～３．４４ＭＰａ ０．０３～５．５１ＭＰａ ０．０７～１０．３ＭＰａ ０．１０～１７．２ＭＰａ ０．１７～２７．５ＭＰａ ０．３４～４１．３ＭＰａ ・CV値：０．０６ ・オプション品で高温対応も可（ＭＡＸ２０４℃） ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
・本体材質：真鍮製、ＳＵＳ製 ・1次側最高圧力 ３１．０ＭＰａ（ＳＵＳ製）、２５．８ＭＰａ（真鍮製） ・２次側調整圧力レンジ ０～２．０６ＭＰａ ０～４．１３ＭＰａ ０～６．８９ＭＰａ ０～１０．３４ＭＰａ ・ＣＶ値：０．８または２．０ ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
・本体材質：真鍮製、ステンレス製 ・最高入口圧力：４１．３８MPa ・出口側調整圧力レンジ（手動タイプ） ０．０７～１．３８MPa ０．０７～２．７６MPa （ドームロード、エアロードは０．０７～４．１４MPa） ・CV値：０．３ ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか, もしくはお問い合わせ下さい。
・本体材質：真鍮製、ステンレス製 ・最高入口圧力：４１．３MPa ・出口側圧力調整レンジ：０．３４～１７．２MPa ・CV値：０．０６ ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
本体材質：SUS316製、真鍮製、ハステロイ製、モネル製 最高入口圧力：高圧用の２４．１MPaと低圧用の２．７５MPa ２次側調整圧力： ０．０１～０．１７MPa ０．０１～０．３４MPa ０．０１～０．６９MPa ０．０１～１．７２MPa ０．０１～３．４４MPa（＊入口高圧タイプのみ） CV値：高圧用の０．０６と低圧用の０．１５ ・高温仕様やエア駆動タイプのオプション品もあり ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
■□■特徴■□■ ■メタルダイヤフラムのため、高純度ガスで使用可能 ■標準品で1/4”NPTポート ■真鍮製またはステンレス316製 ■最大調整圧力は1.03MPa ■入口圧力24.1MPa仕様も可能 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
・本体材質：SUS316製、真鍮製 ・最高入口圧力：高圧用の２０．６MPaと低圧用の３．４MPa ・２次側調整圧力： ０．０３～０．１７MPa ０．０３～０．３４MPa ０．０３～０．６９MPa ０．０３～１．０３MPa ０．０３～１．３７MPa ・CV値１．０ ＊オプションで１．８（入口低圧タイプのみ）があり ・高温仕様やエア駆動タイプのオプション品もあり ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
本体材質：SUS316製、真鍮製 最高入口圧力：２４．１MPa 2次側調整圧力： ０．０１～０．１７MPa ０．０１～０．３４MPa ０．０１～０．６９MPa ０．０１～１．０３MPa ０．０１～１．７２MPa CV値：０．０５ ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
最大入口圧力 41.38MPa / 出口圧力 0.34-10.34MPa！ 大流量・ドームロード型 ハイフロー 44-4000 シリーズ ■□■特徴■□■ ■大流量：Cv=0.7またはCv=2.0(オプション) ■バイアス圧力レンジ調節可 ■セルフベント(キャプチャー) ■エアアクチュエーター仕様あり ■ER3000電気PIDコントローラーと共に使用が可能 ■標準：キャプチャーセルフベントタイプ ■ピストンセンサーで高い信頼性 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
最大入口側圧力41.38MPa/最大出口側圧力範囲34.49MPa！ 大流量減圧弁44-4200 シリーズ ■□■特徴■□■ ■真鍮製またはステンレス製から選択可能 ■ピストン式センサーとバランス型メインバルブを採用 ■ノンベントタイプ ■テスコム社ＥＲ３０００電子圧力調整器と組み合わせが可能 ■ドームロード型 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
本体材質：SUS316製 最高入口圧力：2.76MPaG （オプション品でMAX24.1MPaG対応品もあり） 2次側調整圧力：0.006～0.20MPaA CV値：0.24 ・様々なオプション品あり ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか、 もしくはお問い合わせ下さい。
陽圧の入口圧を真空から陽圧に減圧調整が可能！ コンパクトに設計された減圧弁 ■□■特徴■□■ ■同心円の波形を持った金属ダイヤフラムは高感度な圧力制御を 生み出す ■金属当たりのダイヤフラムシールの為のガス吸着等の問題がない ■入口圧力(最大)MPa：0.83/2.76/24.1 ■出口圧力レンジMPa ・710mmHgVac〜0.1 ・710mmHgVac〜0.17 ・710mmHgVac〜0.34 ・710mmHgVac〜0.69 ■その他機能や詳細については、カタログをご覧頂くか, もしくはお問い合わせ下さい。
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