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自動搬送式現像装置「ACT-300A2S」は、最大6インチの基板を回転させながらスプレー現像を行う装置です。 現像液2系統、リンス１系統とエアーナイフを装備しタッチパネルよりレシピ設定操作を行い、最大25枚の自動現像処理が可能です。 ※自動処理無しの枚葉式タイプもございます。 【主な仕様】 ○処理能力：最大6インチ丸基板を25枚連続処理が可能 ○プロセス：現像液：2系統、リンス：1系統、エアーナイフ：1系統　 ○使用薬液類：アルカリ系現像液　脱イオン洗浄水 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

「VD-400」は減圧チャンバーで、レジスト塗布後のガラス基板を 減圧乾燥する装置です。 【特長】 ・タッチパネル制御による操作の簡易化 ・レシピ操作有り（操作手順の再現化が可能） ・２段階排気により風紋や発泡を抑えた乾燥の実施 ・バタフライバルブの採用で真空排気能力の設定が可能 【主な仕様】 ○チャンバー ：外寸法　400mm x 400mm　高さ103mm（蓋閉時） 　　　　　　　 内寸法 350mm x 350mm 高さ　30mm ○真空：到達真空度　約1Pa以下（無負荷時） ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。