【異物検査機の種類】 ■検査ステージ上に置かれた基板を複数台のエリアセンサーで検査 　・エリアタイプ ■検査ステージ上に置かれた基板を異物検査機を移動スキャンさせて検査 　・スキャンタイプ ■コンベアーで搬送中の基板の表面の異物を検査 　・コンベアータイプ 　・裏面異物検査タイプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高精度なXYステージ上に吸着された液晶基盤上に付着した微細異物を検出する装置です。 【特徴】独自照明を考案し、不感帯を無くしノイズを極力除去しました。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。