ヤマトマテリアルの製品・サービス一覧

半導体ウエハや小型基板のフォトレジストのアッシング用途の他、等方性プラズマによる全方向からの処理を利用されたい場合に有効です。 量産用自動機は50枚一括処理のYSP650Wをご覧ください。

• ウエハー
• ガラス

当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドライクリーナー、エッチャー（エッチング）、アッシャー（アッシング）の処理目的に合った プラズマ装置を、標準品以外にもカスタムメイドで対応。 企画から提案まで一環してお引き受けしています。 【掲載内容】 ■市場・用途 ■プラズマモードの説明 ■デモ機ラインアップ ■プラズマ装置ラインアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置

当社では、飲料、化粧品、塗料等、幅色い分野の生産設備機械の提案、 開発、販売、設置、アフターサポートを行っております。 包装容器のノウハウを駆使して、充填機や洗びん機、ラベラーなどの ボトリングシステムをご提案。 最適な設備を工場レイアウトからトータルにサポート致します。 また、ご要望があれば、場合により、お客様の工場にデモ機を持ちこむ、 充填の状態を確認するために原液を送っていただき、機械を稼動させて 確認することも可能です。 独自のノウハウと情報力で生産効率向上に最適な機材の提案を行い、 製造コスト削減をサポート致します。 【事業内容】 ■飲料、化粧品、塗料等、幅色い分野の生産設備機械の提案、開発、販売、 設置、アフターサポート迄の一環したサービスを提供 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 殺菌器
• その他 包装機械
• クリーンルーム

当事業では、環境への配慮を視野に入れた最適な製品とコスト削減を 提案しております。 ガラスやプラスチックをはじめ、様々な素材による独創性あふれる包装容器の バリエーションをラインナップし、安全性、機能性を考慮した包装容器を 酒類、食品、化粧品、トイレタリー、サニタリーなどの幅広い業界へ 提供しております。 また、業界・分野に応じてデザインや機能性を追求し、環境配慮商品や 最新技術を取り入れたガラス、PETボトル、キャップの開発など お客様の要望するオリジナル商品の開発にも取り組んでいます。 【特長】 ■10,000点以上の豊富な商品バリエーション ■商品開発のサポート ■サプリメント、カー用品等 各種OEM ■容器の設備の一貫した提案 ■リターナブルによるコスト削減と環境対応 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• 食品用容器・パッケージ
• 医薬品用容器・パッケージ
• 化粧品用容器・パッケージ

ヤマトマテリアル株式会社は、主に「容器・包装」「生産システム」 「エレクトロニクス関連商品」の各事業分野をフィールドとする 専門商社です。 半導体・エレクトロ二クス分野の検査・梱包から生産設備までの企画販売 を行う新素材事業本部。 【事業内容】 ■新素材事業本部 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

• ウエハー

工場や屋外施設、看板照明に使われている水銀灯をLED化することが電力使用料（経費）の大幅削減に大きく貢献します。 ・オイルミスト対応（金属部品工場、機械工場、その他油煙環境） 　➣JIS　K２２４１規定の油剤6種にて試験を行い全て適合性を確認済 ・硫化水素対応（めっき工場、金属加工工場、ゴム・石油・薬品工場） 　➣ガス腐食試験を行い、耐久性確認済 ・高温環境対応（鋳物・鍛造・製鉄、熱処理施設、ボイラー・焼却炉） 　➣温度８５℃にて試験、推奨は＋８０℃まで ・クレーン設置対応耐震（ホイストクレーン、ガントリークレーン） 　➣独自設計の耐震ゴムにて、厳しい試験条件をクリア　※試験規格：JIS　C　６００６８-２-２７　規格参考

• LED照明
• 投光器
• その他照明器具

従来の減圧プラズマに加え、大気圧（常圧）プラズマを産学協同開発。熱非平衡の大気圧グロー放電プラズマのため、低温処理が可能です。

• その他洗浄機
• その他半導体製造装置
• その他半導体

非破壊内部検査の常識を覆す最高レベルの解像度、コントラストを提供します。断層画像収集から計測・解析まで１システムで完結。標準・高速・高精度のモード別スキャンで、データを最速１６０秒で収集。Ｘ線ＣＴ装置と広範で多様な機能を有する画像処理ソフトを整合した新世代システム。

• 画像処理機器
• マイクロスコープ
• X線検査装置

・スペースを取らず、研究・開発用途に最適 ・使いやすく簡単に処理ができる低コスト装置 ・推奨真空ポンプPD139 ・RIEモード専用

• エッチング装置
• アッシング装置
• 表面処理受託サービス

歪検出方式を採用した、気密防水性能試験器です。ワークの周囲を加圧した際に生じる、ワーク表面の歪を測定することにより気密防水性能試験を行います。空圧を利用した非水没方式の為、不良ワークを浸水により破損する心配はありません。半自動、自動タイプがございます。カプセル内に歪みセンサー２回路搭載し複室構造のワークを同時に気密性防水検査する事が出来ます。 最大測定圧力［0.０５MＰａ］。低圧下での圧力分解に優れ、防水携帯機器や複室構造部品などの気密性防水試験に最適。1kPa ステップで設定可能なため、圧力により変形しやすいワークでも、最適テスト圧で安定的に洩れ検出することが出来ます。

• その他計測・記録・測定器
• その他PC・OA機器
• その他

高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート：300Å以上、面内均一性：±20％以下、バッチ間均一性：±20％以下、処理能力：150枚/時間（RF0分で算出）。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。

• アッシング装置
• その他半導体製造装置

３軸フィーリング（荷重）精密測定機（ロードセル） 押す、引く、ねじる力（荷重）の定量測定。

• その他計測・記録・測定器

・卓上型、低コスト、高性能タイプ ・実験用から本格量産まで使用可能 ・RIEモード標準（DPモード切替器はオプション） ・アルゴン・酸素の2系統のマスフローメーターを搭載 ・標準油回転ポンプ付 標準機を基にお客様のご要求に合わせて、カスタマイズもいたします。弊社では小型バッチ式から中型、大型バッチ式さらに各種自動機まで幅広くラインナップしております。チャンバー構造は石英バレル、平行平板、ロードロックタイプと多種に対応しております。大気圧プラズマについても取り揃えております。

• エッチング装置
• アッシング装置
• その他半導体製造装置