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Piezo System Jena社ではピエゾアクチェーター用に低ノイズコントローラーを開発・製造しております。 これらのコントローラーは同社のステージと組み合わさることにより、キャリブレーションフリーのシステムとなります。 【仕様】 [ピエゾ用低ノイズドライバー] ○可動軸　1～6軸 ○電流値　10-800mA ○対応センサー　ストレインゲージ（歪み）・キャパシティブ ○電圧ノイズ　＜0.3mV RMS.@500Hz ○キャリブレーションフリーシステム →クローズドループシステムであっても、 　インターチェンジャブルに使用できる 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

Piezo System Jena(ピエゾシステムイエナ)社のピエゾアクチュエーターは堅牢なつくりで高剛性・高精度位置決め精度を誇ります。コンパクトなXYZ３軸ステージ、ティルトミラー、スタックタイプ対物レンズ用、スリット用ファイバースイッチなど幅広い分野にお使いいただいています。ストレンゲージセンサー、インダクティブセンサー、キャパシティブセンサー等を使用しフィードバック制御をおこなったモデルもございます。光学系のアライメントや干渉計・精密加工・精密計測・半導体関連装置などの高い位置精度が求められる分野において多数お使いいただいています。専用ドライバーも高性能･低ノイズ（3mVP-P）のため高い分解能が実現できます。 特に低ノイズが要求されるアプリケーション用に、200NVという超低ノイズドライバーも御用意しています。 【ラインナップ】 ○対物レンズフォーカシングアクチュエーター ○高剛性オリエンテーションフリーステージ ○高剛性薄型高進直性ステージ（X,X-Yステージ） 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

『ピエゾアクチュエーター・ステージ』は、オーテックスが取り扱う PIEZO SYSTEM JENA社の製品です。 ピエゾシステムイエナで作り出される商品群は、高精度・高剛性を誇り 研究用途から半導体装置、バイオ関連用途、レーザー機器等に 数多く用いられています。 小型3軸ステージから多軸大型ステージまで、ピエゾ素子とメカニカルステージの 組み合わせの妙により作り出されるナノポジショニングテクノロジー製品です。 【特長】 ■高精度・高剛性 ■研究用途から半導体装置等に数多く用いられる ■小型3軸ステージから多軸大型ステージまで豊富な製品 ■高パワーの高電圧ピエゾも多数ご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。