■長ストロークのパラレルキネマティック 技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400mm)。Z: <205mm, θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。 ■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。 ■高性能モーター/光学エンコーダー採用 欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。 ■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。 400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

■3枚板の薄型高剛性デザイン 中板の両面に高精度クロスローラーを直交させることにより、薄型デザインで高精度、高剛性を実現。ストロークは問わず、±30nmの繰り返し精度を次世代規格6D Point Precisionで実現。 ■Ultra/Nanoオプションで標準アップグレード 多数のアップグレードオプションを用意。レーザーマッピングや構造部材の精度向上により精度向上。 ■高性能モーター/光学エンコーダー採用 欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。 ■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。 400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

■45°を超える画角を高精度に再現可能。 直交した2軸の回転ステージとMonolithic XYステージを組み合わせることにより、任意に規定した回転中心で制御が可能です。2軸の回転ステージを使用しているので、大きな角度の制御が高速に行うことが可能です。 ■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド 2軸の回転とXYステージの同期演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。動作軸の同期だけではなく、レーザーのOn/Off、Powerコントロールの高速同期制御によりハイスピード、高精度のレーザー加工機の制御を実現します。 ■高性能モーター/光学エンコーダー採用 欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。 ■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。 400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。