ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。

ALIO Industries社が世界中のハイエンドステージメーカーにインパクトを与えた3枚板による。XYステージシステム。 従来の1軸を組み合わせる方式ではなく、XY軸を一体型にすることにより、高精度と高剛性を同時に達成することに成功したALIO Industries社の代名詞的なステージ。

近年、レーザー加工で求められる>45°のレーザー入射角。ALIO Industries社からの提案が5D Laser Ginbalとなります。 高精度ジンバル駆動+高精度モノリシックXY+ Z軸のコンビネーションの一見、複雑な駆動系を多軸補間をコントローラーに埋め込むことにより、 ユーザーはシンプルなGUIで高速・高精度のステージとレーザー(On/off, Power等)の同期制御が可能となります。

BORA ヘキサポッドは、0.1 µm の分解能で精密要素の位置決めと調整を行うためのコンパクトな 6DOF 平行運動学システムです。 BORA ヘキサポッドは、解像度、精度、安定性、サイズの点で光学およびナノテクノロジーの最も厳しい基準を満たしています。 その寸法により、例えばシンクロトロンビームラインでのアプリケーション用のゴニオメーターの先端や、宇宙光学系の位置合わせと校正を行う光学地上支援装置など、狭い環境での統合が可能になります。 BORA ヘキサポッドは、垂直、水平、逆さなど、あらゆる向きで使用できます。

SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。

MAUKA は、最大 5 kg の耐荷重をサブマイクロメートルの分解能で位置決めするように設計されたコンパクトなヘキサポッドです。 直径は 107 mm、中間位置での高さは 198 mm です。直径を最小限に抑えるために、モーターが一列に取り付けられるヘキサグライド形状を使用しました。 MAUKA は、垂直、水平、またはその他の角度のあらゆる方向に動作します。 アブソリュートリニアエンコーダのおかげで、コントローラの電源を入れるたびにホーミング コマンドを実行する必要がありません。

HEGOAはサイズが小さく (42 cm)、耐荷重50kg、重量が軽いため、他のヘキサポッドと比較して、設置と使用が最も容易です。さらに、大型ヘキサポッドよりも手頃な価格です。 海軍分野、航空宇宙、自動車分野 (自動運転車用センサー、AdBlue タンク テスト)、または安定化テストなど、産業分野での動的アプリケーションに最適です。また、研究室や医療用途 (神経学、運動学) にも使用できます。

PUNA は、研究や産業における高精度位置決めアプリケーションを最適な予算で満たすシンプルなヘキサポッドです。 耐荷重 25 kg に対して、XYZで 0.5 μm、回転で 5 μrad (0.0003 °) の分解能を提供します。 設計を簡素化するために、モーターはインラインで取り付けられ、インクリメンタルロータリーエンコーダーが組み込まれています。

BREVA は、高い角度精度を提供するように特別に設計されています。 XYZ0.5 µm 、回転 2.5 µrad の分解能で、サンプル、プローブ、センサーなどの物体の角度位置決めが可能です。垂直、水平、逆さなど、オリエンテーションフリーで使用できます。

ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新しい高性能 6DOF システムです。 最大 400 kg のペイロードをわずか 0.1 µm の分解能で位置決めできるように設計された ZONDA ヘキサポッドは、XY で 400 mm、Z で 300 mm、および Rx、Ry、Rz の 3 つの回転で 40 ° の優れた移動距離を提供します。 熱膨張係数 を備えた統合されたインバーコンポーネント、アクチュエータに標準として統合されたリニア アブソリュートエンコーダ、および特に剛性の高いジョイントの設計により、比類のない精度と熱安定性特性を備えています。 縦、横、逆さまなど、どの向きでも使用できます。

Kuban は、高精度かつ 1.5 µrad の分解能で空間内に要素を配置するように設計された、非常に安定した 6DOF システムです。 高分解能アクチュエータと高精度球面ジョイントの構成と統合により、最大 500 kg の耐荷重で分解能と再現性の高いパフォーマンスを実現できます。

JORAN ヘキサポッドは、1500kg耐荷重で0.5 µrad の角度分解能で要素を位置決めおよび調整するように設計された高精度システムです。 特にアクチュエーター、球面ジョイント、天然花崗岩プラットフォームは、優れた安定性を保証し、長期にわたって位置決めの品質を保証します。 欧州シンクロトロン ESRF と共同で開発されたもので、シンクロトロン ビームライン上のミラーや真空チャンバーをサポートするのに最適です。 必要に応じて、花崗岩のプラットフォームを鋼製プラットフォームに置き換えることもできます。

SURES は、非常に高精度で剛性の高い位置決めシステムです。 最大 500 kg の搭載物を高分解能 で調整およびセットアップできます。宇宙、天文学、望遠鏡の分野に特に適しています。 たとえば、地上の望遠鏡のミラーを正しく再調整して、重力の変化や夜間の温度変化による構造の変形を補正することができます。地上望遠鏡のほとんどは標高の高い山の頂上に設置されているため、SURES の機構と電子部品は寒冷環境でも動作するように設計されています。

NOTUS は、コンパクトで構造的に堅牢なモーション ジェネレーターです。 Notus P の耐荷重は 200 kg です。 Notus V ヘキサポッドは、耐荷重が 100 kg に制限された高速バージョン です。 これらのヘキサポッドは、研究室や医療 、航空宇宙、自動運転車用センサーのアプリケーションに最適です。

MISTRALは、重要な直線移動および角度移動範囲 (直線移動で最大 ±460 mm、角度移動で ±40°) で最大 1 トンの荷重のモーション生成を可能にします。ボートの船体をテストするためにヒーブモーションを実現するために最初に設計されました。陸上、海軍、または航空の乗り物の軌道を再現することもできるため、その後搭載されるセンサー、電気光学システムなどの実験室テストが可能になります。

SIROCCOは最大2トンの荷重での動作の再現が可能です。 このヘキサポッドは、液体の動きを研究したり、運動モデルに設定したり、車両をシミュレートしたりするために使用できます。 このソリューションは、運動発生器から独立した 6 自由度の測定システムを統合することができ、可動テーブルの位置をリアルタイムで制御することが可能になります。

AQUILON は、ラインナップの中で最も耐荷重の大きいヘキサポッドです。 6トンの重さを動かせます。 必要に応じて、より高いペイロード容量を備えたバージョンを実現できます。 AQUILON は主にうねりシミュレーション、スロッシング、防御 (砲塔テスト) アプリケーションに使用されます。