数グラムで把持・μmの位置決めが可能。 ●精密対象動作を保証（特許出願中） ★詳しくは、資料・カタログを上記ボタンよりご請求ください。 ＝＝＝＝＝　特　長　＝＝＝＝＝ ◆研究及び小ロット精密組立作業用に最適。 　各種モジュールの取り付けが可能。 ◆独自開発の小型XYZステージにより顕微鏡周辺での作業性が格段にアップします。占有容積が、従来の１／８以下を実現。（ガイドレール同スパン品と比較） ◆独自開発のモノコック式高剛性軽量の顕微鏡ベースにより軽量・卓上型サイズで移設が簡単。 ◆豊富なオプションを準備しております。

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• その他半導体製造装置
• 分析機器・装置

コート治具への移載とコート治具からの移載が行える移載装置

• その他搬送機械
• その他半導体製造装置

小部品を、数グラムで把持・マイクロメートルの位置決めが可能。 研究及び小ロット精密組み立て作業に最適です。

• その他塗装機械
• その他半導体製造装置
• その他実験器具・容器

バー状ワークを1チップ毎に電気測定を行う検査装置

• 半導体検査/試験装置
• 画像処理機器

小型スピンナーでは突出した高出力ACサーボモーターを主軸回転に採用することにより抜群の回転安定性を誇る。 プログラムは最大99ステップを9パターン保存可能。 〜φ6インチと〜8インチ用をご用意しています。

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6インチウエハ対応の小型スピン現像装置。スイング式ノズルによるスプレー現像の他、パドル現像も行なえます。 プログラム入力により現像→リンス→振り切りの一連動作を連続して行なうセミオート方式デベロッパーです。

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現像→リンス→振り切り等を任意設定のプログラムにより連続処理が行なえるスピンデベロッパー。 プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 スプレーとパドルが1台で行なえる。

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スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。

• レジスト装置
• エッチング装置
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小物、微細加工用精密ブラスト加工機。 定量送り機構を搭載している為、安定した加工が可能。

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対象基板を回転させながらエッチング液をスプレー塗布するスピンエッチャーです。

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