基板を回転させながらエッチング液をスプレーするスピンエッチャー
プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 用途に応じ他機種のご用意やカスタマイズもご相談の上行なっています。
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ハードウェアー及びソフトウェアーの開発設計から製造、販売まで一貫した生産工程を持ち、特に画像処理技術とモーションコントロール技術を融合した 各種生産設備の開発力は最大の特徴です。
AEP-3000D
プログラムは最大99ステップ×50パターン保存可能。 用途に応じ他機種のご用意やカスタマイズもご相談の上行なっています。
対象基板を回転させながらエッチング液をスプレー塗布するスピンエッチャーです。
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半導体、電子部品業界、薬品メーカー等で研究開発や生産にご使用頂いています。
ハードウェアー及びソフトウェアーの開発設計から製造、販売まで一貫した生産工程を持ち、特に画像処理技術とモーションコントロール技術を融合した 各種生産設備の開発力は最大の特徴です。