簡単操作のCtoCロボット搬送付き現像/エッチング装置。用途によりデベロッパー、エッチャー共に製作可能
用途、ご予算に応じてカスタマイズできますのでお問合せ下さい。 又、搬送機構を持たない汎用機もございます。
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基本情報
スピン・スプレー方式現像/エッチング装置に搬送ロボットを搭載することにより、セットされた基板カセットから自動的にローダー・アンローダーを行い連続処理を行ないます。
価格情報
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納期
用途／実績例
半導体、電子部品業界等に於いてガラス、シリコン、セラミックス、化合物等多種の母材、各種膜材でご使用頂いております。
カタログ（1）
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企業情報
ハードウェアー及びソフトウェアーの開発設計から製造、販売まで一貫した生産工程を持ち、特に画像処理技術とモーションコントロール技術を融合した 各種生産設備の開発力は最大の特徴です。