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内製ロボットを活用した半導体製造装置の一括モーション制御事例
【背景】 従来の半導体製造設備では各装置ごとに専用コントローラを設置し、上位PLCで制御していました。 最近はロボット（垂直多関節・スカラー・デルタ型）も導入されていますが、市販ロボットは高コストで機能改良が困難でした。 フィルム貼り合わせでは巻き取り・送り出しローラの力制御や多軸同期制御など、高度な制御が必要です。 【解決策】 ■PLCモーションコントローラで装置全体とロボットを一括制御。 ■PLCはセンサー・スイッチ、モーション制御はモーションコントローラが担当 ■PLCとモーションコントローラ間でデータ共有 ■MECHATROLINKで複数ステーション（16軸/マルチタスク）を統合管理し同期を実現 ■必要に応じ多軸拡張も可能 【成果・メリット】 ■導入コスト1/2 ■タクトタイム・生産性2倍 ■力制御・完全同期制御・ロボット演算を簡単に実現 ■同一言語で各装置を制御、運転プログラム作成も簡易化 ■海外メーカーに負けない技術蓄積と最先端生産技術を達成
