【仕様】 [基材の種類] ○ガラス基板 →合成石英(Qz)：透過率 90% / 200nm 以上 →ソーダライム(SL)：透過率 83% / 380nm 以上 ○フィルム基板 →PET：透過率 90% / 200nm 以上 [クロム膜] ○ガラス基板上のクロム薄膜は2層構造 →1層目がピュアクロム、2層目が酸化クロム ○クロム膜の種類と構造 →クロムマスク：低反射二層クロム膜 　光学濃度3.0OD, 反射率は約10％/436nm →ハードコート付きクロムマスク 　透明樹脂がクロムの膜面上に2～3umほどの厚みで塗布 →ペリクル付きクロムマスク：クロムマスクの表面にペリクルを装着 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

【仕様】 [高精度フォトマスク] ○最大フォトマスク：9X9inch ○最大描画範囲：200X200mm ○最小線幅：1μ ○マスク基板：石英、ソーダライム [大サイズフォトマスク] ○最大フォトマスク：711X813mm ○最大描画範囲：700X800mm ○最小線幅：5μ ○マスク基板：石英、ソーダライム [フィルムマスク] ○最大フォトマスク：2450X1612mm ○最大描画範囲：2350X1512mm ○最小線幅：20μ ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。