大阪真空機器製作所の製品ラインアップ

【特徴】 ○10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップ ○作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプ ○機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命 ○分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が容易に行える ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

封液の蒸気圧付近の到達圧力を得る事ができ、 封液に水を使用する場合が多く水封式真空ポンプとも呼ばれています。 【特徴】 ○水をはじめ様々な封液を選択でき、用途に応じた最適な封液を選択する事により、 　 水蒸気や有機溶剤を含む気体（凝縮性気体）の排気にも対応 ○封液をクローズド（閉サイクル）システムで循環することにより、 　 発生する廃液を最小に抑えることも可能 ○他のポンプなどと組合せることにより、様々なプロセスに対応 ・ルーツポンプと組合せることにより、少ないエネルギーで大排気、高真空を実現（PRLシリーズ） ・アトモスタ（空気エジェクタ）と組合せることにより、到達圧力を有利にし、 　キャビテーション防止することができる（1段アトモスタ：WAシリーズ、2段アトモスタWBシリーズ） ●詳細については、お問い合わせ下さい。

【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 　 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 　 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 　 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間 　 ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。

詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

まゆ形ロータを回転する事により圧縮・排気を行う真空ポンプ 【特徴】 ○油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる 　 機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれる ○ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプ、液封式真空ポンプなどの 　 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組合せて使用する ○コンパクト設計なので、システムとしてまとめる事が容易 ○ベルト駆動型の大型ルーツ真空ポンプ（Rシリーズ）もラインアップ 　 （宇宙試験用大型チャンバーなど大排気を必要とする用途にも対応） ○インバータ制御により、大気圧から駆動したり、吸入圧力が低い状態で 　 圧力コントロールをしたりする事ができる ●その他機能や詳細については、お問い合わせ下さい。

コンパクトドライ真空ポンプは小型、軽量、外乱に強いポータブルタイプの真空ポンプです。運搬に便利なコンパクト設計でスペースを取らないため自由な設置が可能です。軸受寿命は20000時間以上の長寿命です。SEM、医療機器、分析機器、加速器など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ○排気速度230L/minと500L/minをラインナップ ○到達圧力0.5Pa ○コンパクト設計で移動も簡単（15～20kg） ○潤滑油を仕様せず完全オイルフリー ○TMPの補助ポンプとして利用 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

空冷式ドライ真空ポンプは空冷仕様で大気圧により連続運転が可能です。水蒸気吸入が可能なほか、到達付近まで一定の排気速度を維持します。ロードロック室・搬送室排気、高真空ポンプの補助ポンプ、分析・測定機器の排気、加速器の排気など幅広い用途で採用いただいております。 【製品の特長】 ■開放運転時排気速度　800L/min ■水蒸気処理量　500g/hr ■排気速度　1000L/min ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。

【製品の特長】 ○吸入比が極めて大きくとれます。 ○吸入比=吸入蒸気量/駆動蒸気量 ○故障がほとんどない簡単な構造 　 構造上は蒸気エジェクタとまったく同じです。また、大吸入量のものが安価で製作できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

マルチジェットコンデンサは、凝縮も兼ね備えた水エジェクタです。 【製品の特長】 ○排気ポンプとコンデンサの両方の役目を兼ねているので、凝縮性気体の排気に、水エジェクタよりもさらに効果的です。 ○吸入側に逆止弁がついているので、大気脚が不要で停電や断水時の逆流が防止できます ○水エジェクタの特長も全て備えています ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

水エジェクタは、水を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。駆動水の蒸気圧程度の吸入口圧力が得られ、凝縮性・腐食性ガス、ダストを含む気体の排気に有効です。また、多段蒸気エジェクタシステムの最終段としても利用できます。

エジェクタは機械的駆動部が無いシンプルな構造の為、故障の発生がほとんどありません。

蒸気エジェクタは、気体を駆動源とし、気体を吸引・排気するエジェクタです。構造が簡単で故障が少なく、扱いやすいのが特徴です。 また、エジェクタを直列に数段配置することで、より高真空の領域まで到達することができます。

標準組合せで簡単にお使い頂ける他、ご仕様にあわせて最適な組合せを提案いたします。

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

株式会社大阪真空機器製作所では、ターボ分子ポンプだけでなく 真空機器全般のシステム及び制御盤・制御シーケンスを含めた 設計・製作を担っています。 当社の約65年に渡る真空機器の実績と経験が評価され、粒子線治療に使用する 加速器の真空排気系に信頼性の高いターボ分子ポンプ「TG-Fシリーズ」を 搭載した排気システムが採用されています。 また、医療用加速器向けの排気ユニットと同様設計の標準排気ユニット、 STシリーズもご好評を頂いています。 【特長(TG-Fシリーズ)】 ■外乱に強い ■小型で軽量 ■グリース潤滑玉軸受が長寿命 ■医療の現場で信頼性を高く評価されている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VRDシリーズ』は、一般産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m3/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ(二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VRDシリーズ』は、冷凍機器産業、医療機器・医薬品産業などに適した 二段式の直結型油回転真空ポンプです。 排気速度4～65m³/hの幅広い製品ラインアップとオプション品を取り揃え、 高品質な製品を魅力的な価格で提供いたします。 装備した二段階調節のガスバラストバルブは、排気する凝縮性ガスの 量によって調節可能。(VRD-4とVRD-8は1段階) さらに当社ではプラズマ滅菌対応の「VRD-Mシリーズ」もご用意しております。 【特長】 ■ガスバラストバルブ (二段階調節) ■吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

『VSVシリーズ』は、1段式の回転翼型(ベーン型)油回転真空ポンプです。 シンプルで堅牢な設計で、大気から真空への繰り返し排気に好適。 揺動ピストン形(キニータイプ)、カム形(センコタイプ)と比べて、 軽量・コンパクト・低振動構造です。 また、全機種空冷タイプ、冷却水不要で省エネ、低コストとなっており、 配管工事不要で手間が省けます。 【特長】 ■全機種空冷タイプ ■軽量・コンパクト・低振動 ■オイルフィルター標準搭載 ■ガスバラストバルブ(二/三段階調節) ■油煙トラップエレメント内蔵標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、 排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。 カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の マニュアル操作を行うことが出来ます。 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、 カートを移動させながら定格運転を維持することが出来ます。 シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

今回は製造能力をアップした設備の新設に際して、大型化した反応缶を 真空に引くために、より排気速度の大きい大型の真空排気システムが必要で あったため、当社で真空排気システムを製作し納入させていただきました。 接着剤製造工程で使われることから、接着剤材料が固着してポンプが止まる 可能性を考慮して、1系統が固着のために止まっても真空排気を継続できるように、 並列された2系統の排気システムで構成されています。 主排気系の「PRD25-60」はルーツ真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ） 「RD2500」とスクリュー型ドライ真空ポンプの組み合わせ。接ガス部は オイルフリーですので、吸入気体による油汚染とそれに伴う頻繁な油交換は不要。 副排気系の「PRM25-45」は、ルーツ真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ） 「RD2500」と補助ポンプとして経済的で接着材材料の固着にも比較的強い 油回転真空ポンプ「P450」の組み合わせです。 また、設置場所が危険物製造所であるため、モータは耐圧防爆仕様としています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当カタログでは、低真空や超高真空までの幅広い真空製品を掲載しています。 ベルト駆動型油回転真空ポンプ「Pシリーズ」をはじめ、磁気軸受形複合分子 ポンプ「TG-Mシリーズ」やコンパクトドライ真空ポンプ「DSPシリーズ」など 多数製品を用途別に分けてご紹介。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品(抜粋)】 ■ターボ分子ポンプ ■ターボ分子ポンプ真空システム ■油拡散真空ポンプ ■メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ) ■メカニカルブースタ排気システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高機能フィルムの製造プラントにおいて有機溶剤を回収する真空蒸留工程に 「封液循環型(閉サイクル)液封式真空ポンプ」を納入した事例をご紹介いたします。 有機溶剤の温度を上げると変質の恐れがありますが、真空蒸留では、減圧することで 温度を上げずに有機溶剤を蒸発させ、回収することが可能になります。 また、今回のポンプと閉サイクル封液循環供給システムは、回収する有機溶剤の汚染を 防ぐため、接液部はステンレス素材、シール素材はフッ素ゴムまたはPTFEとしています。 【事例概要】 ■納入先：ポリオレフィン高機能フィルム製造プラント ■納入製品：封液循環型(閉サイクル)の液封式真空ポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

当資料では「メカニカルブースタ排気システム」について ご紹介しております。 大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組み合わせて使用することや、様々な 補助ポンプと組み合わせることで、適切な真空環境が提供されることなど を解説。 また、製品は特長や対応業界、系統図も掲載しております。写真付きで 関連製品もご紹介しておりますので、ぜひ、ご覧ください。 【掲載製品】 ■PRM/SRシリーズ ■PRLシリーズ ■PRDシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

アメリカ・ニューヨーク州に拠点を持つ、Vergason Technology社の イオンプレーティング装置「CatArc 3036」に、当社ターボ分子ポンプが 搭載された実績を紹介いたします。 この装置は自動車、装飾、医療、機械および切削工具、スポーツ用品、および 多くの特殊用途を含むコーティング用途に好適な装置で、当社の高流量仕様・ 軽量・倒立取り付けが可能である「TGkine3800M-B」が採用されました。 当社では、高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの 単品販売だけでなく、それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能です。 【事例概要】 ■採用先：Vergason Technology社イオンプレーティング装置「CatArc 3036」 ■採用製品：ターボ分子ポンプ「TGkine3800M-B」 ■製品特長：高流量仕様・軽量・倒立取り付けが可能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

『UD Series』は、ポンプ停止時の真空システムへの油逆流を防止する 直結型油回転真空ポンプです。 廃棄する凝縮性ガス(水蒸気など)の量によって調整可能。 機械部品を最小限に抑えることで容易且つ的確にメンテナンスと 修理を実現できます。 【特長】 ■ガスバラストバルブ ■吸気口・排気口それぞれに逆止弁を搭載 ■ロータ、ステータ部特殊熱処理 ■ピン接合による完全一体型シリンダー構造 ■強制油循環システム ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

『VM70F』は、70m3/hで200V単相を実現する直結型油回転真空ポンプです。 ポンプ本体起動スイッチまたはD-SUBによる起動可能。凝縮性ガスに 強い製品です。 冷却水工事不要で導入できます。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【特長】 ■大排気速度で単相電源 ■リモート/ローカル起動対応 ■ガスバラスト常時間 ■空冷仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

当カタログでは、当社で取り扱っている「真空バルブ・真空部品」について ご紹介しております。 圧縮空気によって開閉する自動バルブ「LCAVシリーズ」、全てSUS製を 採用している「LVシリーズ」など多種多様な製品を掲載。 それぞれの製品仕様や外形寸法図などを掲載しておりますので、 ぜひご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■MAH/PAHシリーズ(手動・空圧作動/SUS304L/KF・CF・ISO-R フランジ) ■LCVシリーズ(手動/SUS304/KF フランジ) ■LCAVシリーズ(空圧作動/SUS304/KF フランジ) ■LVシリーズ(手動/SUS304/VF フランジ) ■LAVシリーズ(空圧作動/SUS304/VF フランジ) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

大型含浸装置において含浸タンク内を大気圧から真空状態に繰り返し排気 するために使用される、大型ルーツ真空ポンプを主ポンプとした「真空排気 システム」を導入した事例をご紹介いたします。 本事例では、大型電動機用真空含浸装置において、13m3の容積を持つ 含浸タンク内を、7分以内に大気圧から10Pa以下まで排気することが 求められました。 設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 ルーツ真空ポンプが起動。吸気口と排気口の間には弁体の自重によって 開閉する逃し弁を備えており、高圧側からのポンプ起動を可能にしています。 【特長】 ■設定した真空度に到達すると、吸気口側に設けた真空スイッチにより、 　ルーツ真空ポンプが起動 ■吸気口と排気口の間には弁体の自重によって開閉する逃し弁を備えており、 　高圧側からのポンプ起動が可能 ■電動機・真空スイッチ・電磁弁はすべて防爆仕様 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【複合分子ポンプの特長】 ○広領域排気 　低～超高真空まで広領域の排気に対応しています。 ○大流量排気 　大量のガスを流せます。 ○優れた耐久性 　不意の大気導入に強い構造になっています。 ○長期間使用可能 　適切なオーバーホールをすることにより、長期間使用できます。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

取付自在型　長期寿命(3万時間)　軽量及びコンパクト　大気突入対応

グリス潤滑軸受型ターボ分子ポンプ　TG60Fはコントローラ一体型のコンパクトサイズ。取付姿勢が自在なので装置設計の自由度が拡大します。電子銃排気や分析装置、研究開発用などの用途に最適です。 【特長】 ■急速ベント停止が可能。 ■大気突入に強い構造。 ■安全規格適合　NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。