【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 　前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 　前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 / CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 / CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 / CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 / CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得　NRTL / SEMI-S2 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○クリーンプロセス向けの標準型と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインアップ ○世界最大級の複合分子ポンプ ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○300～3400L/Sまでラインナップ(ケミカル形あり) ○フルデジタルコントローラーの採用により、振動が大幅に低減 ○ポンプ接続時および電源投入時にセンサの自動調整を行います ○回転速度を変更でき、プロセスに応じた排気性能を実現可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○コントローラー一体型 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○コントローラー一体型 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合　（NTRL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○急速起動 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○大流量排気 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○オイルフリー ○安全規格適合　NRTL/SEMI－S2/CE ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○大流量排気 ○取付姿勢自在 ○急速起動・停止 ○チューニングフリー ○回転数コントロール ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○水素圧縮比60,000を達成 ○内部放出ガスを低減 ○単独で、超高真空領域に近い到達圧力が得られます

【製品の特長】 ■ ポンプ本体の振動値を１nm以下に抑えることに成功！ ※弊社測定方法による ■ 専用防振ダンパーを装着して、更に一桁振動値を低減！ ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上 ○ロータなど主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへの熱ダメージを低減 ○排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○放射線に対する耐久性を高めています ○放射線環境下での運転を可能にしました ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○簡単操作で高真空まで排気 ○キャスター付きで移動が簡単 ○外乱に強く、ポンプ運転中でもユニットの移動が可能 ○必要に応じてオプション機器の取り付けが可能 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【製品の特長】 ○高圧縮ターボ分子ポンプTG70Fを搭載 ○卓上サイズの省スペース設計 ○研究設備の簡易排気装置に最適 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

【特長】 ■取付姿勢自在 ■コンパクトサイズ ■省エネルギー ■急速起動 ■急速ベント停止が可能 ■大気突入に強い構造 ■高圧縮比 ■コントローラ一体型 ■安全規格適合　NRTL／SEMI-S2／CE(※TG60F-20のみ) 【標準セット】 ポンプ+コントローラ用コネクタ

【製品の特長】 ○グリス潤滑形で50～240OL/sまでラインナップ ○取付姿勢が全方位自在で、使用が簡単 ○メンテナンスフリー ○丈夫でコンパクトな設計で、かつ軽量 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。

○ケミカル対応： 全クラスでケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスの排気に適しています。 ○ダストに強い構造： ポンプ内部へのダスト混入によるポンプトラブルが少ない。 ○大気突入に強い構造： 不意の大気突入に強い堅牢設計です。

【その他の特長】 ■多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT ■国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。

【SEMICON Japan 2019 出展情報】 会 期 : 2019年12月11日 ～ 12月13日 会 場 : 東京ビッグサイト ブースNo.: 8219（前工程ゾーン ；南2ホール）

【その他の掲載製品】 ■ドライ真空ポンプ ■油回転真空ポンプ ■液封式真空ポンプ ■エジェクタ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。