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SiC Silicon carbide
SiC(炭化ケイ素,シリコンカーバイド)は、シリコンに比べてバンドギャップが約3倍(3.26eV)広く、熱伝導率も3倍以上(4.9W/cm・k)、絶縁破壊電圧にいたりましては約10倍(2.8MV/cm)という特性を持ち、Siと同じ10mΩ・cm2までオン抵抗を下げた時、耐圧は1200Vに達します。 SiCパワー半導体素子の特徴は、 1.小さなオン抵抗 2.短いスイッチング時間 3.高温動作 であり、パワーMOSFET,IGBT,ショットキー・バリア・ダイオード(SBD)等に適しております。 また、これら半導体の他、発光ダイオード(LED)の基板としても使用されております。