●電源：ＡＣ１００V（アース線付き単相１００V１５A） ●装置サイズ：幅５３４ｍｍ、奥行き６７５ｍｍ、高さ１１３４．５ｍｍ （装置重量８０ｋｇ）、２輪ストッパー付キャスター装備 ●真空排気系：TMP(67L/sec)＋ロータリポンプ(50L/min) ●到達真空度：5×10-4Pa 以下 ●真空度測定：フルレンジ真空計 ●真空槽：内径 200mm×高さ 248mm、ICF70 サービスポート１口標準搭載 ●試料ステージ：直径 58mm 水平試料台(標準装着) ●加熱用電極柱：2 対 4 本、スイッチ切り換えにより選択使用。柱は着脱自由。 ●絞り焼きボート支持電極 1 対標準付属。 タングステンバスケットによる金属蒸着が可能。 ●ヒータ電源：最大電流 80A(標準ボート使用時) ●蒸着可能面積：柱利用、上からの蒸着時＝直径 90mm 以内。下からの蒸着時＝直径 180mm 程度まで ●安全対策：停電時/全電磁バルブ閉、PR にエアリーク。 ●停電回復時/真空系統は停止状態を保持。初期の状態で復帰。

• その他理化学機器

1.　ヒーター電極　：1対（2対タイプはオプション。） 2.　蒸着対象金属 ：金・アルミ・クロム・銀・カーボン　その他 3.　試料ステージ　：直径72mm 4.　蒸着源－試料間隔 ： 0mm～140mm 5.　チャンバーサイズ　：内径160mmｘ深さ235mm 6.　電極間電圧／電流　： AC15Ｖ、 0～30A タッチパネル表示 7.　排気系：TMP67 ℓ／sec ＋RP 50ℓ／min 8.　真空度測定：タッチパネル表示　フルレンジ真空計 9.　到達真空度：5×10-4 Pa 以下 10. 安全対策　：系統別サーキットプロテクタ、過剰負荷を自動でブロック 11. 装置サイズ：W428× D430 × H550 (mm)　 38Kg 12. 電源　：単層AC 100 V, 15A アース線付３芯プラグ使用

• その他理化学機器

 試料室サイズ＝内径120mm×深さ140mm。硬質ガラス製。  試料台サイズ＝直径100mm、蒸発源に対し30mm上下可能。  蒸発源と試料台の間隔＝45mm～75mm間に任意調節可能。  蒸着電源＝OUTGAS、EVAPOの２段階、最適電圧にプリセット。  ロータリポンプ＝50 ℓ/min。 RP単体到達真空度１．０Pa。  装置到達真空度＝2Pa(1.5×10-2Torr)以下。  真空度監視＝ピラニゲージにて0.1Pa(7.5×10-4Torr)まで指示。  装置サイズ＝幅255mm×奥行き375mm×高さ430mm。  ロータリポンプ床置き型。（ＳＵＳ製フレキシブルホース１ｍ付属）  電源＝単層AC100V,15A アース線付３芯プラグ使用。  安全対策：電極通電を真空排気中のみに制限、系統別サーキットプロテクタ。

• 分析機器・装置
• 分光分析装置
• その他理化学機器

【主な特徴】 ○多目的、実験用成膜装置 ○電極分離型試料台で試料損傷回避 ○高速排気・簡易操作で能率的成膜 ○イオンボンバードで親水性処理機能 ○小形卓上型・小スペース ○強磁場による多種金属成膜可能 ○TMP+ダイヤフラムポンプで清浄高真空 ○低価格・コストパフォーマンスの良い機能 【その他の特徴】 ○スパッタし易い貴金属の他､Mo,W,等の重金属からTi､Al等軽金属をターゲットとし､強磁場マグネトロン方式の電極により成膜が出来ます。 ○マグネトロン電極は､ターゲット金属表面に沿って外周から中心方向に磁場を作りターゲット全面を有効に利用できます。 ○スパッタ雰囲気ガスArは､ターゲット電極とシールド電極の間隙よりターゲット表面に噴出させ､スパッタ効率を向上させています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他FA機器

ＴＥＭホルダーについて ＴＥＭホルダーポートを４本搭載。お手持ちのホルダーに合わせたポートを作成します。ＴＥＭメーカー各社の特殊ホルダーに対応可能です。 独立排気系によりホルダー交換時、他の保管ホルダーは大気に晒されません。各ホルダー試料部が見られるガラス窓付き（ＮＷ４０フランジ） 操作性 タッチパネル搭載で操作も簡単。プログラム制御による自動排気シーケンスやインターロック制御を搭載。 ポンプのメンテナンス時期を画面に表示してお知らせいたします。

• 真空機器

特　徴 ★ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法（特許）を採用、試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ★ホローカソード円筒内全体にオスミウムプラズマイオンが発生しますので試料の大きさ、高さの影響を受けません。 ★プラズマ放電に最適な真空度に達してから、コーティング中のみオスミウムガスを注入するので結晶オスミウムの消費を節約できます。（1ｇ使用時100回程度） ★ コーティング操作はフルオートです。SEMのスタブに取り付けた試料をホローカソード内に置き、スタートスイッチを押すだけです。 ★危険な未反応オスミウムガスは排出オスミウムトラップ（活性炭）で取り除き大気汚染は在りません。活性炭の交換時期は、操作パネルで確認可能です。 ★膜厚コントロールは時間・温度・電流により微調整を可能にしています。

• その他理化学機器
• プラズマ表面処理装置
• プラズマ発生装置

【主な特徴】 ○メタルブロックで圧着凍結、液化プロパンで浸漬凍結、両方が可能。 ○凍結した試料は大気中を通さずに周囲のカップに保管できます。 ○周囲のカップに固定液を入れて置けば凍結置換固定装置になります。 ○付属のメタルブロックをセットすればSEM試料の凍結割断装置になります。 ○ポータブルですから任意の場所で試料採集ができます。 【その他の特徴】 ○試料急速凍結装置として。 ○SEM試料のための凍結割断装置。 ○凍結置換固定装置として。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他理化学機器
• ステンレス器具・容器
• ステンレス容器

【主な特徴】 ○シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。 ○疎水性試料を簡単親水処理。 ○標準ターゲット金属は金パラジウム。 ○排気系は床置きRP。 ○イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。 →排気開始からコーティング終了まで自動で行なえます。 ○機能切替はボタン一つで楽々。 【その他の特徴】 ○この装置は、2 つの試料処理チャンバーを持つ多目的簡易操作型カーボン蒸着、マグネトロンスパッタ成膜、親水処理機能を有する装置です。 ○床置きロータリーポンプ（1ｍホース付）による排気で、オートリーク機能搭載。 ○ 1 台で当社製VC-100S・MSP-1S・PIB-10 3 機種の機能を有します。 ○小形省スペース・多機能・簡易操作を製品コンセプトに、初心者でも安心です。 ○カーボン蒸着はシャープペンシルの替え芯を使用。固定電圧を3 段切替。 ○マグネトロンスパッタ成膜、親水処理はフルオート処理。操作はタイマー調整のみ。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他理化学機器
• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置

【主な特徴】 ○好評な弊社製PIB-10形親水処理装置の多機能モデル。 ○TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、 　 ＰＤＭＳの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置。 ○フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでＯＫ！ ○RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で！ 【その他の特徴】 ○大型フラット試料台を採用して、大きな試料もそのまま処理が可能です。 ○ガス導入＆調整機能を搭載して、お好きな雰囲気ガスを接続できます。 ○ハイドロカーボンの付着を防ぐバイパス排気管自動切換えシステム搭載。 ○調整操作もラクラク！黄色ＳＷを右から順に押していくだけです。 ○繰り返し処理を行う時は緑ＳＷを押すだけで全自動処理します。 ○試料チャンバーは真空保持が可能。真空保管装置としてもご利用いただけます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他理化学機器
• プラズマ表面処理装置

【主な特徴】 ○試料に優しい交流イオンボンバードです。 ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。 ○小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。 ○交流放電によるプラズマイオンを試料表面に軽く打ち込みます。 ○試料表面の＋イオンは水のＯＨイオンと手を結ぶので親水性になります。 ○透過電子顕微鏡（TEM）のグリッドメッシュやコロジオン支持膜、カーボン支持膜、 　 その他ダイアモンドナイフ等の親水化処理に使用します。 【その他の特徴】 ○支持膜などのデリケートな試料にはソフトイオンボンバード、金属やダイアモンドナイフなど、 　 堅牢な試料にはハードイオンボンバードの選択ができます。 ○ソフトとハードの切り替えができます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• プラズマ表面処理装置

【主な特徴】 ○試料ステージは電子温度制御です。試料の凍結・加温が真空排気中に行なえます。 ○降温40oCから5oCまで10分、昇温5oCから40oCまで10分。 ○加温してt-ブタノールへの置換促進、冷却して凍結、乾燥します。 ○RPに特殊オイルを使用し、t-ブタノールを排出側で活性炭に捕収します。 【その他の特徴】 ○VFD-21S形の試料台は電子温度調節により5oCから50oCまで温度制御が可能です。 ○WARM-COOLのスイッチングで加温によるt-ブタノールの置換促進から冷却による凍結乾燥まで能率よく試料作成ができます。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他理化学機器

【主な特徴】 ○マグネトロンターゲット電極で、8インチウェーハに対応する大面積試料ステージを搭載。 ○コーティング厚さのムラは10%以内、ステージ全域を有効に使えます。 ○コーティング電圧500V以下で、イオン衝撃によるダメージを軽減。 ○標準ターゲット金属は白金(Pt)。 ○イオンシャワー電極(オプション)で機能の追加。 【その他の特徴】 ○シリコン基板の大型化にお応えする200mm径の大面積試料ステージをマグネトロンターゲット電極で実現。 ○試料ステージの大型化で、8インチウェーハや多数のSEM用試料を同時にコーティングすることが可能で、検査作業を効率化。 ○マグネトロン型電極は、ターゲット金属の表面に沿って平行な磁場を形成し、プラズマ放電によって 　 発生する電子をこの磁場に閉じこめ、雰囲気ガスのプラズマ化を促進します。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他FA機器

【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。 ○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。 ○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。 ○空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。 ○雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○ターゲットは空冷式マグネトロン方式で、貴金属以外の金属コーティングを可能にし、イオンダメージ、熱ダメージを最小限に抑えています。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• プラズマ表面処理装置
• その他表面処理装置
• その他理化学機器

【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他FA機器

【主な特徴】 ○低電圧でコーティングするとともに試料台がフローティング式なので試料損傷がありません。 ○試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです。 ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません。 ○小型で場所をとりません。机の片隅で活躍します。 【その他の特徴】 ○プレーナーマグネトロン型ターゲットです。 ○試料台はアノード電極と絶縁したフローティングタイプです。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他FA機器

【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○オプションの傾斜機構付き回転試料ステージで、回り込み性能良好。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。 ○押し間違えても作動しない誤動作防止機能付きで、複数人の使用でも安心してお使いいただけます。 ○調整・条件出し完了後は、中央のオートコントロール スイッチを押すだけ。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

• その他FA機器

【特徴】 ○試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません ○全ての贅肉を排除して、低価格・高性能を実現 ●その他機能や詳細については、お問い合わせください。

• その他工作機械