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株式会社ユー・エイチ・システム

住所神奈川県大和市下鶴間505-1
電話046-272-0111
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  • 公式サイト
最終更新日:2025/05/30
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ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160αII ナノフォーカス 3次元X線CTシステム XVA-160αII
マイクロフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160RZ マイクロフォーカス3次元X線CTシステム XVA-160RZ
マイクロフォーカス 3次元X線システム EVA-160 マイクロフォーカス 3次元X線システム EVA-160
マイクロフォーカス 3次元X線システム XVA-160RCE マイクロフォーカス 3次元X線システム XVA-160RCE
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【UHS_X線CTシステム撮影事例】TGV

ナノフォーカスX線CTシステムでTGVを透過・斜めCT撮影した事例です。

TGV(Through glass Via:ガラス貫通電極)を透過画像並びに斜めCT撮影した事例です。 ビアに充填されたCu内部のボイドが鮮明に観察できます。 撮影に使用した装置『XVA-160αII"Z"』は、超高分解能 ナノフォーカス3次元X線CTシステムです。 ナノオーダー解析を実現したウルトラハイエンドモデルで、世界トップクラスの斜めCT技術により、わずか3分半でCT撮影することが可能な為、解析の効率化アップにも貢献できる装置です。 【特長】 ■より高倍率に特化し、パッケージ内部の構造も解析可能なハイエンドモデル ■ナノフォーカスX線発生器搭載(フォーカスサイズ 200nm~) ■高倍率2,000倍で詳細構造まで精密に観察 ■高精細トップテーブル、光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能を搭載

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3次元X線CTシステム『XVA-160RA/160αII“Z”』

独自技術「ユーセントリック機構」で高倍率観察を簡単に実現。実装基板や 半導体デバイスの不具合の発見・解析を支援します。

当社は、独自技術「ユーセントリック機構」を採用し、簡単かつ効率的に 高倍率での観察が行える3次元X線CTシステムを提供しています。 斜めCTの撮影では、X線焦点に対象部位を近づけることで 高倍率の断層撮影が可能。細部まで観察でき、実装基板や 半導体デバイスの不具合の発見・解析を強力に支援します。 【特長】 ◎『XVA-160RA』 ■スタンダードモデルをベースに新たに生まれ変わった高精細発生器対応モデル ■ナノフォーカスX線発生器搭載(フォーカスサイズ 250/800nm) ■高倍率1,600倍で細部まで鮮明な観察が可能 ■可視光マッピング機能、フォーカス自動調整機能を搭載 ◎『XVA-160αII“Z”』 ■より高倍率に特化し、パッケージ内部の構造も解析可能なハイエンドモデル ■ナノフォーカスX線発生器搭載(フォーカスサイズ 200nm~) ■高倍率2,000倍で詳細構造まで精密に観察 ■高精細トップテーブル、光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能を搭載

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】スマートフォン内部基板

スマートフォンの内部基板をCT撮影した事例です。 内部の各内層のパターンや構造の確認が観察可能です

『XVA-160αII"Z"』は、ナノフォーカスX線CTシステムであり、非破壊検査や材料解析などのアプリケーションで使用されます。 このシステムは、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、超高分解能モデルです。 内部の各内層のパターンが鮮明に撮影出来ております。 フィレットの状態や実装状態もCT撮影ならではの見え方です。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】スマートフォン(2018年)

スマートフォン(2018年)を透過画像並びに斜めCT撮影した事例です。 内部の構造の確認や内部メモリの状態が観察可能です。

『XVA-160RZ』は、マイクロフォーカスX線CTシステムであり、非破壊検査や材料解析などのアプリケーションで使用されます。 このシステムは、高解像度で細かい内部構造を可視化することができます。 また、高分解能タイプと広視野タイプのいずれかを選択することができます。今回はマイクロフォーカスX線CTシステム『XVA-160RZ』の撮影事例をご紹介! 別ページにて、初代スマートフォンを掲載しております。 内部構造の変化が比較して観察可能です。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】初代スマートフォン

初代スマートフォンを透過画像並びに斜めCT撮影した事例です。 内部の構造の確認や内部メモリの状態が観察可能です。

『XVA-160RZ』は、マイクロフォーカスX線CTシステムであり、非破壊検査や材料解析などのアプリケーションで使用されます。 このシステムは、高解像度で細かい内部構造を可視化することができます。 また、高分解能タイプと広視野タイプのいずれかを選択することができます。今回はマイクロフォーカスX線CTシステム『XVA-160RZ』の撮影事例をご紹介!

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】加熱式たばこ

マイクロフォーカスX線CTシステムXVA-160RZにて加熱式たばこを透過撮影した事例です。

加熱式たばこを透過撮影した事例です。 内部の基板状態や構造把握する事が出来ます。 XVA-160RZは、ステージの交換はせずに専用のユニットを装着するだけで 簡単に直交CTの撮影を行う事が出来ます。 斜めCTと同様に直交CTも高倍率での撮影が可能です。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】電解コンデンサ

マイクロフォーカスX線CTシステムXVA-160RZにて電解コンデンサをCT撮影した事例です。

導電性高分子アルミ固体電解コンデンサを透過画像並びに斜めCT撮影した事例です。 内部の構造の確認やはんだ状態を観察可能です。 XVA-160RZは、スタンダードモデルとなっており、多種多様なワークの不具合箇所を幅広く観察することが出来ます。 また、わずか3分半でCT撮影することが可能な為、解析の効率化アップにも貢献できる装置です。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】スマホ搭載CPUのCT断層

スマホ搭載CPUのCT断層を撮影した事例です。

『XVA-160RZ』は、マイクロフォーカスX線CTシステムであり、非破壊検査や材料解析などのアプリケーションで使用されます。 このシステムは、高解像度で細かい内部構造を可視化することができます。 また、高分解能タイプと広視野タイプのいずれかを選択することができます。今回はマイクロフォーカスX線CTシステム『XVA-160RZ』の撮影事例をご紹介! スマホ搭載CPUのCT断層を撮影した事例です。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】QFP_ワイヤー

マイクロフォーカスX線CTシステムXVA-160RZにてQFP内部のワイヤーボンディング部分を拡大して直交CT撮影した事例です。

QFP(Quad Flat Package)を直交CTで撮影した事例です。 ワイヤーの2ndボンディングの打痕まで細かく観察する事が出来ます。 XVA-160RZはステージの交換はせずに専用のユニットを装着するだけで簡単に直交CTの撮影が行う事が出来ます。 斜めCTと同様に直交CTも高倍率での撮影が可能です。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】透過画像フィルター加工の効果

マイクロフォーカスX線CTシステムにてフィルター処理を行った事例です。

自社開発ソフトウェア”Jasper”は多彩な線源、カメラに対応できるマルチデバイス制御ソフトウェアです。 フィルター加工前では見えていなかったパターンやボイド、ワイヤーの打痕もフィルター処理をする事により、はっきりと見えるようになっています。 撮影画像の後処理だけではなく、ライブ観察時にも使用する事が可能なので工数削減にも貢献いたします。 #X線#斜めCT#透過#非破壊#直交CT#クラック#不具合#ボイド#異物#ワイヤー#ボンディング#基板#半導体

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】QFP観察事例

マイクロフォーカスX線CTシステムXVA-160RZにてQFPをCT撮影した事例です。

QFP(Quad Flat Package)を直交CTで撮影した事例です。 内部のチップパターンまで細かく観察する事が出来ます。 XVA-160RZはステージの交換はせずに専用のユニットを装着するだけで簡単に直交CTの撮影が行う事が出来ます。 斜めCTと同様に直交CTも高倍率での撮影が可能です。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】FET観察事例

マイクロフォーカスX線CTシステムXVA-160RZにてFETをCT撮影し、ボイドを検出した事例です。

FET(電界効果トランジスタ)を3次元斜めCTで撮影した事例です。 透視撮影では実装部のはんだとチップ下のはんだが重なり合って各層のボイドを見分ける事が困難です。 そこで、CT撮影をする事で添付資料のように断層を分けて観察する事が可能となります。 XVA-160RZはユーセントリック機能によって透視観察の段階で撮影部位を指定し、そのままサンプルを取り出すことなく、3次元斜めCTの撮影に移行することができるため、工数削減にも繋がります。

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【UHS_X線CTシステム撮影事例】はんだクラックのCT断層

マイクロフォーカスX線CTシステムXVA-160RZにてインターポーザー基板をCT撮影し、はんだクラックを検出した事例です。

XVA-160RZは半導体、電子部品、電子モジュールの品質保証・故障解析・検査用途でオールマイティーに使用できる3次元X線CTシステムです。 透視観察機能、3次元斜めCT機能、直交CT機能など用途に応じて使い分けをすることで、効率的に解析業務を進めるだけでなく、解析の成功率を劇的に向上させます。また、標準搭載されているプログラム運転機能を使うことで、製品選別や抜き取り検査用途で使用いただくことも可能です。 #X線#斜めCT#透過#非破壊#直交CT#クラック#不具合#ボイド#異物#ワイヤー#ボンディング#基板#半導体

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3次元X線CTシステム『3DCTシリーズ』

高出力から低出力まで広範囲のワークに対応可能!

『3DCTシリーズ』は、独自技術のユーセントリック(着目中心回転)機能により、 着目したポイントを“ミクロの眼”さらには“ナノの眼”で、360度方向からの 透視観察と高倍率CT撮影を行うことが出来る3次元X線CTシステムです。 超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーのフォーカスサイズ(250/800nm)を実現した 超高分解能モデル「XVA-160αII」をはじめ、スタンダードモデル「XVA-160R」、 ワイドレンジモデル「Si-230/300」などをラインアップ。 小型化・高密度化・多層化する高機能な電子部品を、高精度に非破壊解析する ために数多く採用されています。 【XVA-160αII”Z”特長】 超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を 実現した、超高分解能モデルです。 指紋センサーの透過像や断層像、エレクトロマイグレーションの断層像 などの撮影事例があり、ユーセントリック機能をはじめ、光軸・回転中心・ フォーカス自動調整機能など多数の機能を搭載しています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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3次元X線CTシステム『XVA-160αII"Z"』

超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を実現した、超高分解能モデル!

当社が取り扱う、3次元X線CTシステム『XVA-160αII"Z"』をご紹介します。 当製品は、超高倍率(2,000倍)、ナノオーダーサイズ(250/800nm)を 実現した、超高分解能モデルです。 指紋センサーの透過像や断層像、エレクトロマイグレーションの断層像 などの撮影事例があり、ユーセントリック機能をはじめ、光軸・回転中心・ フォーカス自動調整機能など多数の機能を搭載しています。 【標準仕様】 ■フラットパネルディテクタ ■ユーセントリック機能 ■高倍率(2,000倍) ■フォーカスサイズ切り替え機能(250/800nm) ■高精細トップテーブル ■光軸・回転中心・フォーカス自動調整機能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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3次元X線CTシステム『XVA-160RZ』

1,600倍の高倍率!高分解能タイプ、広視野タイプのどちらかを選択出来るスタンダードモデル

当社が取り扱う、3次元X線CTシステム『XVA-160RZ』をご紹介します。 当製品は、高分解能タイプ、広視野タイプのどちらかを選択出来る スタンダードモデルです。 フラットパネルディテクタをはじめ、ユーセントリック機能や フォーカス自動調整機能などを標準で搭載しており、ミリ波レーダーの 透過像や断層像、3D像の撮影事例があります。 【標準仕様】 ■フラットパネルディテクタ ■ユーセントリック機能 ■高倍率(1,600倍) ■可視光マッピング機能 ■フォーカス自動調整機能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【X線CTシステムの撮影事例】はんだクラックのCT断層

マイクロフォーカスX線CTシステムで撮影した半導体内部はんだクラックの断層撮影事例を紹介します!

マイクロフォーカスX線CTシステム『XVA-160RZ』は非破壊検査や材料解析などの アプリケーションで使用される高解像度細な内部構造を可視化することができるX線CTシステムです。 高分解能タイプ、広視野タイプのどちらかを選択することが出来ます。 今回はマイクロフォーカスX線CTシステム『XVA-160RZ』の撮影事例をご紹介! 半導体内部はんだクラックの断層を撮影した事例です。 【詳細】 ■導入いただいた企業様の業種 半導体、電子部品、電子機器製造メーカー ■どのような目的で導入いただいたのか   品質保証、故障解析 ■導入の効果  故障解析作業の成功率向上に伴う、生産性の向上  不具合原因特定の迅速化に伴う、歩留まり向上 ※詳しくはPDFダウンロードよりご確認ください。

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3次元X線CTシステム『EVA-160』

広視野でなめらか、大型基板にも対応!大型ステージ搭載の3次元X線CTシステム

当社が取り扱う、3次元X線CTシステム『EVA-160』をご紹介します。 当製品は、新型プラットフォームと新画像処理の組み合わせ、 広視野でなめらか、大型基板にも対応できるモデルです。 標準仕様では、フラットパネルディテクタをはじめ、可視光マッピング機能や フォーカス自動調整機能などを搭載しており、オプションにて、 3次元斜めCT機能、直交CTユニット:Prestoをご用意しております。 【標準仕様】 ■フラットパネルディテクタ ■ユーセントリック機能 ■大型ステージ搭載(500mmサイズ対応) ■可視光マッピング機能 ■フォーカス自動調整機能 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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3次元X線CTシステム『XVA-160RCE』

透過・CT両機能を兼ね備えたデスクレス仕様のオールインワンNEWモデル!

『XVA-160RCE』は、微小化の進む電子部品から 両面実装基板まで解析可能な3次元X線CTシステムです。 新たなデザインに加え、従来機よりも省設置スペースを実現します。 (従来比30%減) ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 【特長】 ■CE規格対応 ■どこでも斜めCT撮影 ■シグナルタワーUPS標準搭載 ■省スペース ■直交CTにも対応可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マイクロフォーカス X線CTシステム『Si-230/300』

高出力、ハイダイナミックレンジの検出器を搭載し、より高精細なCTを実現!

『Si-230/300』は、ハイダイナミックレンジカメラを採用し、 高解像度撮影を実現したマイクロフォーカス X線CTシステムです。 アルミダイキャストからパワーデバイスまで幅広い製品に対応。 高性能再構成アルゴリズム採用で、より詳細な情報が見られます。 【特長】 ■ハイダイナミックレンジカメラを採用し、高解像度撮影を実現 ■高性能再構成アルゴリズム採用で、より詳細な情報が見られる ■アルミダイキャストからパワーデバイスまで幅広い製品に対応 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マイクロフォーカス X線CTシステム『Si-150』

好適なCT画像を提供!フラットパネルでは高分解能と鮮明な透視像、CT像が得られます

『Si-150』は、ハイパワー150kvのマイクロフォーカスX線を搭載した 大型サンプル対応の高性能スキャナです。 マイクロフォーカスX線源は、サンプルに応じて焦点寸法を5μm、20μm、 50μmと3段階に切り替えられ、好適なCT画像を提供。 フラットパネルでは高分解能と鮮明な透視像、CT像が得られ、 X線センサーは新しいデジタルフラットパネルとイメージングインテンシ ファイアーの選択ができます。 【特長】 ■ハイパワー150kvのマイクロフォーカスX線を搭載 ■マイクロフォーカスX線源は焦点寸法を5μm、20μm、50μmと  3段階に切り替えられる ■X線センサーは新しいデジタルフラットパネルとイメージング  インテンシファイアーの選択ができる ■フラットパネルでは高分解能と鮮明な透視像、CT像が得られる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マイクロフォーカス X線CTシステム『Presto-90』

石定盤の高精度ステージを実現!3次元画像を構築し、切断も自由におこなえます

『Presto-90』は、従来の概念を変えるコンパクトな設計でありながら、 デジタルフラットパネルの高ダイナミックレンジセンサーと石定盤の 高精度ステージを実現したマイクロフォーカス X線CTシステムです。 CTスキャナは誰もが簡単に操作できるようになっており、3次元画像を構築し、 切断も自由におこなえます。 バイオメディカルや小動物、摘出臓器、骨などの医学分野におけるスキャンは むろんのこと、豆や種、果実、稲、米などの農林水産分野、昆虫や小動物、 地質・化石・隕石などの生物・地学分野、エレクトロニクス、マイクロデバイス、 高分子ポリマー、紙などの産業分野でも活用していただけます。 【特長】 ■簡単な操作性 ■超小型 ■高画質 ■低価格 ■多岐にわたる用途 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【X線測定技術】3次元斜めCT

斜め方向からの撮影で大型基板も破壊することなく断層撮影!高い操作性も実現しました

当社のテクノロジー『3次元斜めCT』についてご紹介します。 斜めCTはユーセントリック機能を利用してディテクターを斜め方向に 傾斜した状態でCT撮影を行うため、大型基板でも360度方向同一条件での 撮影ができます。 また、X線焦点に着目部位を近づけることができるため、高拡大倍率での 断層撮影も可能。 特別な治具も不要で、サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影が できるという高い操作性も実現しました。 【特長】 ■大型基板でも360度方向同一条件での撮影ができる ■X線焦点に着目部位を近づけることができる ■高拡大倍率での断層撮影も可能 ■特別な治具も不要 ■サンプルをステージ上に置くだけで断層撮影ができる ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【X線測定技術】コーンビームCT

アスペクト比の少ない小型部品単体の解析に好適!精密・鮮明な断層撮影ができます

当社のテクノロジー『コーンビームCT』についてご紹介します。 Presto/Prestoβ専用ユニットを装着することで、CTスキャナの撮影ができます。 再構成プログラムの最適化により、撮影前のキャリブレーションは不要。 操作性が格段にアップし、小型部品の精密・鮮明な断層撮影ができます。 【特長】 ■Presto/Prestoβ専用ユニットを装着することで、CTスキャナの撮影ができる ■再構成プログラムの最適化により、撮影前のキャリブレーションは不要 ■操作性が格段にアップし、小型部品の精密・鮮明な断層撮影ができる ■小型部品の精密断層解析に好適 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【X線測定技術】ユーセントリック機能

着目ポイントを逃さない!ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時もサンプルを中央に捉え続けます

当社のテクノロジー『ユーセントリック機能』についてご紹介します。 着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能。 独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時も サンプルを中央に捉え続けます。 【特長】 ■着目中心回転機能により検査部位を見逃すことなく容易に解析が可能 ■独自の技術により、ディテクタ傾斜時、拡大時、ステージ回転時も  サンプルを中央に捉え続ける ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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