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【その他の特長】 ■高画質 ・2500万画素カメラ搭載 ・画素分解能6μm/pix ■高速スループット ・広視野撮像によってタクトを短縮 ・大幅な高速化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【仕様】 ■結像レンズ：f=200mm ■イメージサークル：Max対角33mm ■照明方式：同軸落射 ■カメラマウント：Fマウント ■重量：1640g ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【標準構成品（抜粋）】 ■超耐熱ファイバーライトガイド ■バンドパスフィルタ1100nm ■NIRハロゲン光源 ■ステージ ■8インチウェハホルダ ■ビューワーソフト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
近赤外線専用対物レンズPEIRシリーズ 1x、2.5x、10x、20x、50x、100x 2000nmまで高透過率を持つPEIR2000HRシリーズ 20x2000HR、50x2000HR
Sony Pregius S IMX530, Gpixel GMAX0505, TELEDYNE e2v Emerald16Mなど、 1ピクセル3μm未満の最新高解像度センサーに対応した解像力をもつテレセントリックレンズシリーズです. 全機種同軸落車照明タイプをラインナップ 各倍率専用設計で均一性の高い照明が得られます (ご使用の光源によって条件は変わります)
仕様 ウエハ：12inch 6～8inch 4～6inch 2～4inch 角型等 各種サイズに対応可能 ワーク搬送 ：マニュアル アライメント：マニュアルアライメント、オートアライメント 選択 Gap ： オート、マニュアル 選択
仕様 ウエハ： 12inch 6～8inch 4～6inch ２～4inch 及び 角型etc 各種サイズに対応可能 ワーク搬送： CtoC, Foup オートアライメント： Top side，Back side＊オプション アライメント精度 ： Top side ±0.8μm以下 / Back side ±1μm以下
【ラインアップ】 ■PE lR 20X 2000 HR ■PE lR 50X 2000 HR ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■UV Plan APO 20X ■UV Plan APO 50X ■DUV Plan 20X ■DUV Plan 50X ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■MlF-2.5X-FD10.2 ■MlF-5X-WD26 ■MlF-5X-ULWD ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ】 ■PE lR Plan1X ■PE lR Plan2.5X ■PE lR Plan20X ■PE lR Plan50X ■PE lR Plan100X ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【特長】 ●ハロゲン光源150Ｗクラスの明るさ ●照度 600.000K ●ラインセンサーの照明に最適 ●結束径Φ11mmまで対応可能 ◎「カタログをダウンロード」から仕様等の詳細がご覧いただけます。 ご興味のある方はカタログをダウンロードしてご覧下さい。
1500×1100mm対応/レビュー/画像ファイリング/省スペース、省コスト
8世代、9世代サイズに対応。移動型多眼カメラによる高速検査を実現し、繰り返しズレ検査制度3σ0.5μ以下
8世代、9世代サイズに対応。 シール剤検査専用レンズの採用により、高精細な検査が可能（断線検出、線幅計測）
SPEシリーズ/300x400~1250x1100mm対応ローカル前面検査可能/リジェクト可能（オプション）
550X650～5G,6G,7.5G,8Gまで対応いたします。
ガラス、ITO越しのパターン修正/クラス１対応 マニュアルタイプからインラインタイプをラインナップしております。 低価格で対応いたします
レーザー1064.532.355nm 繰り返し周波数1~50Hz パワー0.6~2m/単板、セルの安全修正及びアドレス通信による全自動リペアにも対応 ※縦型もございます。
<構成> 1.XY軸エアースライド 2.リニアモータ 3.リニアゲージ 4.Z軸エアースライダ 5.平行出し機構 6.マイクロディスペンサ 7.オートフォーカスポート 8.基板ホルダ 9.金型ホルダ 10.UV照射ユニット 11.空調システム
ワークサイズ ： φ2.4インチ（6インチ対応もラインナップ） 露光方式 ： バキュームコンタクト、ハードコンタクト、 プロキシミティ ランプハウス ：500W 照度 ：17mW/cm2（3.5KW） 照度分布 ：±3％以内 アライメント精度：±1μｍ以下 タクト ：130-150枚/H
ワークサイズ ：φ200、300mm 露光方式 ：バキュームコンタクト、 ハードコンタクト、プロキシミティに対応 ランプハウス ：3,5KW又は5KW 照度 ：20mW/cm2（3.5KW） 照度分布 ：±5％以内 タクト ：80-100枚/H ※デモ装置有り
2、6、8インチ又は角基板も対応アライメントは自動、平行だし、Gap制御も自動で、ワークの搬入、搬出のみ人手にて行います。 片面、両面アライメントに対応します。 アライメント精度＝±1μｍ以下。 除振機能は標準仕様、両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です。 露光方式は、バキュームコンタクト、ハードコンタクト、プロキシミティに対応します。
2-6インチに対応し（角基板も対応）アライメントは手動、Z軸制御は自動にし、Gap精度を上げ、使いやすい装置にしています。 片面、両面アライメントに対応します。 テーブルトップから、除振台付属等、豊富なラインナップを持っています。 両面アライメントは、両側光学系、IR光学系選択可能です
フィルムは、短冊からロールに対応し、フィルムはEPC制御し蛇行を抑え、光学アライメントを行い、高精度パターニングを実現します。 露光方式は、密着、プロキシミティーに対応します。
<仕様> 適用サイズ ：370＊470、400＊500、550＊650、620＊750mm 方式 ：マスク水平 ランプハウス ：KW, 8KWのランプを採用し、高照度、±3％以内の照射分布、光の平行度も最適設計いたします。
＜仕様＞ 適用サイズ ：920＊730～1500＊1850mm 方式 ：マスク縦型 ランプハウス ：16KW, 25KWのランプを採用し、高照度、±3％以内の照射分布、光の平行度も最適設計いたします。
<仕様> 適用サイズ ：150インチ対応Xステップ露光 ：50インチ12面Xステップ ：42インチ8面1括 方式 ：マスク縦型 ランプハウス ：16KW,25KW最大35KWのランプを採用し、高照度、±5％以内の照射分布、光の平行度も最適設計いたします
対物 2.5X（WD : 31mm),5X(WD: 31mm),10X(WD:10mm),20X(WD:10mm), 10X(WD:10mm) 、同軸落射対応
高解像力、長作動距離の明視野用プランアポクロマートレンズシリーズです。PS-888やMS-200SHORTシリーズと組み合わせてご使用いただけます。観察や検査などの用途に最適です。
YAG第１～３高調波（355,532,1064nm）似て補正しております。また、明視野による高精細な観察が可能です。 またPEIRPlanAPO対物と組み合わせることで、近赤外顕微鏡としてもご使用できます。カメラは１．１インチまで対応しております。装置組み込み用として最適です。
2.5Xは広視野を確保しつつ近赤外域の透過率が高いため、赤外域の解析などにお使いいただけます。２０X,５０Xは弊社の顕微鏡PS-888に取り付けてYAGレーザ（波長1064nm）と併用することで、レーザリペアなどにもご使用ただけます。※LCDガラス補正・シリコン補正に対応いたします。ご相談ください。
明視野観察用の長作動距離対物レンズです。可視域から近紫外（355nm）まで使用する波長において、ピントが焦点深度内で合うように補正されている対物レンズです。近紫外域の分光透過率を高く設計しており、顕微鏡に取り付けてYAGレーザー（355nm）を併用することで、半導体回路やLCDリペアなどの薄膜加工に最適です。標準品は2０X,50Xからお選びいただけます。LCDタイプもございます。
ガラス基板の目視検査用などにご利用いただけます。ズームレンズよりお手頃な価格が魅力的です。
【特徴】 静か、長寿命、低消費電力、環境にやさしい。 【仕様】 ○入力電圧 AC100-240V±10% ○周波数 50/60Hz ○消費電力 20ｗ ○環境条件１ 周温：０～４０℃ ○環境条件2 湿度２０％～８０％RH（結露無き事） ○平均照度 6000000Lx ○外部調光を標準装備。 ○LED色 高輝度白色LED ○色温度 5600ｋ ○口金(ライトガイド挿入部)にカラーフィルターをつけること でお好みの色等に変えられます(オプション)。 プラファイ バー、他成分ガラスファイバー等使用可能です。 各社ライ トガイドアダプターを用意(オプション)。
顕微鏡用５穴電動レボルバです。 繰返し位置決め精度は±３μｍ。 ノンクリック構造で磨耗がなく長寿命。 マイクロステッピングモータ駆動。 Ｍ．ＰｌａｎＡＰＯ対物レンズや、アダプタをつけてＲＭＳマウントレンズを取付可能。
355nmレーザ対応 高N.A.、長作動距離、NUV20X、50X対物レンズ
「2光束干渉対物レンズ」「リニク式干渉対物レンズ」など
ディスプレイ基板の修正、検査を目的として最大1250mmX950mmのワークに対応したロボット駆動型のテーブル検査装置です。 パターンニング基板用観察マイクロスコープを搭載し、さらにXYZの大型ロボットテーブル上でワークをセット、不良位置にポイント移動することが出来るなどの特長があります。
高解像度、長作動距離、テレセントリック、 新型Cマウントボンダーレンズ FVLシリーズ ＊0.5倍から6倍まで8種類をラインナップ。 ＊120mmの長作動距離で統一。
1台のカメラで上下同時に観察することができます。カメラが移動すると、前後左右方向に動いて観察できる為、マニュアルアライメントも容易に行えます。又、上下の照明を切換えることにより、上下それぞれの映像の取込みも可能です。
＜PDP−ITO膜パターン修正レーザー装置＞ ■概要 PDPセルリペア装置は、点灯検査後のセルパネル欠陥に対し、ガラス越しにITOパターンをカットし、輝点を原点にし、パネルの修正を全自動にて行います。 下地の誘電体等々の材料、またパターンに影響はありません。 ■特長 １．本装置は、大型ステージに明視野顕微鏡を搭載したレーザーリペア＆レビュー装置です。 ２．ITO膜の欠陥箇所の確認や、画像ファイリングなどが可能です。 ３．明視野顕微鏡、対物レンズ、レーザースリットはパターンに合わせたθ（シータ）回転用スリット内蔵、ガントリー型XYリニアステージ（MAX：１３８０×２３００対応）、モニターシステム、大型ステージ、PCシステムなどです。
シンプルかつコンパクトなユニットでマイクロスコーププローブを検体にあてるだけで拡大画像をTVモニター上に鮮明に写し出します。 プローブ部にズーム可変リングを装着、カンタン操作でズーミングが可能です。
高解像 5メガピクセルカメラ対応 物体側テレセントリック鏡筒 【特徴】 ○5メガピクセルカメラ対応 ○2/3インチCCDカメラ対応 ○高解像 ○対応ピクセルサイズ：3.45μm ○イメージサークル：φ11mm ○カメラマウント：Cマウント ○設計波長：486-656nm ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
コンパクトズーム鏡筒シリーズ 0.7〜4.5X ズーム鏡筒 0.37〜2.23 低倍ズーム鏡筒 【特徴】 ○ズーム全域において均一な同軸観察が可能 ○倍率設定はクリック式を採用 ○インナーフォーカス付きもご用意しています。 ○カメラマウント:Cマウント ○WD：低倍ズーム195mm ズーム92mm ○対応CCDサイズ：1/2 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
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