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半導体製造特集

小型・薄型かつ高性能な半導体の製造プロセスをサポートする製品・技術を大公開!


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半導体の基礎知識』プレゼント
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※関連カタログの対象企業にも連絡先を提供いたします。

流量の変化や外乱影響に強い、APCバタフライバルブの資料進呈

KITZ SCT Corporation

半導体製造ラインでは、高精度な圧力制御とともに、流量の変化や外乱への迅速な対応が必要とされます。 キッツエスシーティーの『PCVAシリーズ』は、学習流量以外の条件でも高精度な圧力制御が可能なAutoPID搭載のバタフライバルブです。稼働中に目標圧力や流量が変化した場合にも自動制御でき、真空排気ラインなどへの活用でプロセスの安定化に貢献します。現在、カタログを進呈中です。

  • バタフライバルブ

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