流量の変化や外乱影響に強い、ＡＰＣバタフライバルブの資料進呈
株式会社キッツエスシーティー半導体製造ラインでは、高精度な圧力制御とともに、流量の変化や外乱への迅速な対応が必要とされます。 キッツエスシーティーの『ＰＣＶＡシリーズ』は、学習流量以外の条件でも高精度な圧力制御が可能なＡｕｔｏＰＩＤ搭載のバタフライバルブです。稼働中に目標圧力や流量が変化した場合にも自動制御でき、真空排気ラインなどへの活用でプロセスの安定化に貢献します。現在、カタログを進呈中です。
半導体製造特集
小型・薄型かつ高性能な半導体の製造プロセスをサポートする製品・技術を大公開！
掲載開始:
無償テスト実施中。レジスト開発現場の声に応える機能を備えた研究開発向けコータ
株式会社康井精機塗工機を検討する際、「オーダーメイド装置は高価で購入できないが、既製品では仕様不足」ということはよくあります。 康井精機の『Ｍｉｎｉ－Ｌａｂｏ（ＴＭ） ＤＸ』は、仕様をカスタマイズできる高精度テストコータです。研究開発の現場では、コロナ処理装置やＵＶ装置を追加できる仕様の柔軟性が評価されています。同製品は、最短６カ月で出荷可能。現在、無償テストを実施しています。
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クーラント精密濾過装置※特許技術でコスト減！高濾過精度で品質維持
濾過精度1μmを実現！石英ガラスやセラミックスなどの脆性材を逆洗浄システムという特許技術を使って濾過！技術資料も進呈中！
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サーボ駆動式ペール缶材料圧送ポンプ『PAL-SERVO』
ギャップフィラーや放熱性グリスなど半固形状の高粘度材料を送液可能！ペール缶から直接ポンピング。サーボ駆動で高精度の安定吐出を実現
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