【New!! 2023年春版 最新測定事例集をリリース】光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』:世界の光学産業で採用された測定事例をご覧頂けます。

【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中!】
<掲載測定事例/光学部品編 2023春編>
■ウエハーレベルレンズ/オプティクス(寸法・体積測定)
■マイクロレンズアレイ(幾何形状)
■車載用 LiDAR のマイクロレンズ(面精度(PV、RMS))
■マイクロレンズ(設計図に対する形状検査)
■非球面マイクロレンズ(マスターとレプリカの比較) 他
CLは高速ラインセンサを搭載。
Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。
CPは Z方向6nmの高分解能。
ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。
CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。
2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。
評価項目例 3D/2D:
・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度
・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積/摩耗

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