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レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ

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最終更新日:2025年06月16日

マール・ジャパン株式会社
マール・ジャパン株式会社
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レンズを高速かつ高精度に解析出来る共焦点顕微鏡■車載用マイクロレンズ■マイクロレンズアレイ■ウエハーレベルレンズなど実績多数

【OPIE’23にて製品紹介予定! @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】 <光学産業のアプリケーション例> ■マイクロレンズアレイの幾何形状 ■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定  → 測定時間:1レンズに付き4秒  →測定物設置後は全自動測定&全自動評価 ■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度(PV、RMS) <特長> ◆粗さ(ISO 4287、13565、25178)、トポグラフィー、  輪郭/形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応

    光学顕微鏡
CM

レンズ測定:光学式3D形状粗さ測定機MarSurf CMシリーズ

CM mobile lens--800x600--300dpi.jpg
CM mobile lens--800x600--300dpi.jpg
  • OPIE'23出展情報
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/mahr/product/

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基本情報

<多彩なラインナップ> 卓上タイプ、カスタマイズ可能なタイプ、ポータブルタイプ※など、お客様のニーズに合わせて選定頂けます。 ※ポータブル型の特長 ◆大型・移動できない測定物を直接測定(カットサンプル不要) ◆セッティングの手間・時間を削減 <高速測定> 従来比約7倍の測定スピード! コンフォ―カルマルチピンホール技術(CMP)の採用により、 従来の共焦点顕微鏡の約7倍の速さで画像測定が可能となります。 <多用途> 粗さ、輪郭、形状、体積、平面度の計測が可能です。 測定室でのnメーター精度や、自動検出を使用した製造ラインでの欠陥検出など 様々な用途に使用頂けます。 <接触式測定法と99%の相関性> アメリカ国立標準技術研究所(NIST)規格SRM2460による測定結果より、接触式と当機種の測定結果は99%という最も高い相関性を示しました。

価格帯

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用途/実績例

<光学産業のアプリケーション例> ■マイクロレンズアレイの幾何形状 ■ウエハーレベルレンズの寸法・体積測定  → 測定時間:1レンズに付き4秒  →測定物設置後は全自動測定&全自動評価 ■車載用 LiDAR のマイクロレンズの面精度(PV、RMS) <特長> ◆粗さ(ISO 4287、13565、25178)、トポグラフィー、  輪郭/形状、細孔、粒子分析、欠陥検出 ◆ナノ単位の3Dデータ取得が最短7秒 ◆鏡面仕上げのワークや全数検査も高速測定 ◆振動に強く、白色干渉計では測定が難しい環境にも対応

カタログ(2)

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【製品カタログ】非接触式 表面粗さ・3D形状測定機(コンフォーカル(共焦点)顕微鏡)『MarSurf CM シリーズ』

【製品カタログ】非接触式 表面粗さ・3D形状測定機(コンフォーカル(共焦点)顕微鏡)『MarSurf CM シリーズ』

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【測定事例集】レンズ(光学部品)編 2023:光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』

【測定事例集】レンズ(光学部品)編 2023:光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』

技術資料・事例集
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この製品に関するニュース(1)

マイクロレンズなど光学部品関連の最新測定事例を掲載!

【New!! 2023年春版 最新測定事例集をリリース】光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL・CM』:世界の光学産業で採用された測定事例をご覧頂けます。

  • カタログニュース

【『MarSurf CP/CL・CMシリーズ』最新測定事例集進呈中!】 <掲載測定事例/光学部品編 2023春編> ■ウエハーレベルレンズ/オプティクス(寸法・体積測定) ■マイクロレンズアレイ(幾何形状) ■車載用 LiDAR のマイクロレンズ(面精度(PV、RMS)) ■マイクロレンズ(設計図に対する形状検査) ■非球面マイクロレンズ(マスターとレプリカの比較)  他 CLは高速ラインセンサを搭載。 Z方向0.02μmの高分解能で100×100mmサイズを約1分で測定。 CPは Z方向6nmの高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応。 CMはポータブル型を含む共焦点顕微鏡。 2nmの高分解能をもち、大型・動かせないワークにも好適。 評価項目例 3D/2D: ・表面粗さ(R)・断面粗さ(S)・輪郭・真直度 ・断面積・層厚・反り/平坦度・形状・体積/摩耗

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ノギスから光学式3D表面形状測定機、カスタマイズド全自動測定ステーションまで。 Mahrは160年の歴史を持つ、製造業向け精密測定機器の総合メーカーです。 自動車・航空宇宙・産業機械・半導体・光学部品などをはじめとした製造業では、 開発・生産・品証においてますます高い精度が要求されています。 製造業向け精密測定機器業界の世界的なアプリケーションスペシャリストとして、 Mahrはお客様の測定タスクに対応する最新のソリューションをご提案いたします。 多様化する素材や複雑な形状、工場自動化/省人化など、 測定に関する問題を解決し、お客様個別の測定事例に対応します。 【主な事業所】 ドイツ :Göttingen・Esslingen・Jena チェコ :Probostov アメリカ:Providence 中国  :Suzhou

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