レンズを高速かつ高精度に解析出来る光学式3D形状粗さ測定機■マイクロレンズアレイ■非球面マイクロレンズなど実績多数
【OPIE’23にて製品紹介予定！ @パシフィコ横浜 2023年4月19日~21日】 ＜光学産業のアプリケーション例＞ ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較）他 ＜特長＞ 光学式 3D表面形状測定機『Marsurf CP/CL』は クロマチックセンサーを用いた非接触測定機です。 表面粗さ・輪郭・真直度・断面積・平坦度・体積などの測定に対応。 往復移動時の双方向スキャンによって高速な測定を実現。 高速！100mm×100mmの測定時間、約1分。 高分解能！Z方向0.02μｍ、X方向1μｍ。
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基本情報
『CP』は 6nm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能。 ワーキングディスタンス 70mmで、表面に高低差のあるワークにも対応します。 『CL』は高速ラインセンサを搭載。0.02μm(Z方向)・1μm(X方向)の高分解能で 100×100mmサイズを約1分という短時間で測定できます。 ■特長１ 高速測定■ 従来の接触式の測定機では時間のかかる、形状測定やキズ検出。 『Marsurf CP/CL』は測定時間を大幅に短縮し、全数検査を可能にします。 ■特長２ 高分解能■ Z方向分解能0.02μｍ、X方向分可能1μｍの高分解能を実現。 微小な傷の検出や極小部位の測定におすすめです。 ■特長３ 大型／重い測定物にも対応■ 用途に合わせて選択可能な、ロングストロークのXY電動テーブルを採用。 さまざまな形状・大きさの測定物の測定が可能です。 ■特長４ 全自動測定・解析■ 測定物のポジショニング・測定、レポートの作成を全自動で！ 測定者のスキルに依存しないスピーディーで正確な測定を実現します。
価格帯
納期
用途／実績例
＜光学産業のアプリケーション例＞ ■マイクロレンズアレイ（幾何形状） ■マイクロレンズ（設計図に対する形状検査） ■非球面マイクロレンズ（マスターとレプリカの比較）他
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企業情報
ノギスから光学式3D表面形状測定機、カスタマイズド全自動測定ステーションまで。 Mahrは160年の歴史を持つ、製造業向け精密測定機器の総合メーカーです。 自動車・航空宇宙・産業機械・半導体・光学部品などをはじめとした製造業では、 開発・生産・品証においてますます高い精度が要求されています。 製造業向け精密測定機器業界の世界的なアプリケーションスペシャリストとして、 Mahrはお客様の測定タスクに対応する最新のソリューションをご提案いたします。 多様化する素材や複雑な形状、工場自動化／省人化など、 測定に関する問題を解決し、お客様個別の測定事例に対応します。 【主な事業所】 ドイツ ：Göttingen・Esslingen・Jena チェコ ：Probostov アメリカ：Providence 中国 ：Suzhou