FIB-SEM装置Helios5 DualBeamを導入しました

最新型集束イオンビーム走査電子顕微鏡(FIB-SEM)サーモフィッシャーサイエンティフィック製Thermo Scientiffic DualBeam装置Helios 5 CXを導入しました。
走査型電子顕微鏡の高分解能イメージングおよび集束イオンビームのミリング機能を兼ね備えており、高品質な表面下解析と3D解析が可能です。
元素分析装置(EDS)も付属しているため検出元素の3D解析も行えます。
本装置について詳しく知りたいとき、分析および加工の依頼やご相談などがあればお気軽にお問い合わせください。
●メール:sfc-tr1@seiko-sfc.co.jp
●電話番号:047-391-2298

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