YouTubeに動画『FIBによるめっき不良のSlice&Viewおよび3D構築』をアップしました。

集束イオンビーム(Focused Ion Beam:FIB)装置は、集束したイオンビームを試料に照射し、加工や観察を行う装置です。
また、FIB-SEMは高解像度のFE-SEM(電界放出形電子顕微鏡)を搭載しており、高分解能での観察と加工が同時に行えるのが特長です。
本動画はFIB-SEM(サーモフィッシャーサイエンティフィック社製:Helios5 CX)でSlice & Viewおよび3D構築の機能を使い『めっき不良の状況』を観察したものです。
Slice & Viewにより不良の起点から広がる様子、3D構築により不良の形状が確認できています。

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集束イオンビーム(FIB)装置は、集束したイオンビームを試料に照射し加工や観察を行う装置です。
また、FIB-SEM(Helios5)は高解像度のFE-SEM(電界放出形電子顕微鏡)を搭載しており高分解能での観察と加工が同時に行えるのが特長です。
本動画はFIB-SEMで『めっき不良の状態』Slice & Viewにより不良の起点から広がる様子、3D構築により不良の形状が確認できています。