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  4. SEMICON Japan 2024へ出展いたします
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2024/08/24

SEMICON Japan 2024へ出展いたします

ウシオ電機株式会社 ウシオ電機株式会社
弊社では2024年12月11日 (水) 〜 13日 (金)にかけて東京ビッグサイトで開催される SEMICON Japan 2024へ出展いたします 昨年同様、各種光加熱製品を出展しますので、ご来場をお待ちしております。
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関連製品

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第三の光加熱源!LEDアニール装置

加熱効率向上で省エネルギー化!高速応答性でサーマルバジェット低減を実現

『LEDアニール装置』は、ハロゲンヒータ、フラッシュランプに次ぐ 第三の光加熱源です。 加熱効率向上で省エネルギー化、高速応答性でサーマルバジェット低減を実現。 放射温度計によるリアルタイム温度計測が可能です。 また、基板表面の加熱ができ、金属材料に優れた加熱効率を発揮します。 【特長】 ■加熱効率向上 ■高速応答性 ■高精度温度計測 ■高均一性 ■基板表面の加熱が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フラッシュランプアニール装置『SUS980シリーズ』

ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置!大面積で一括照射、高照射が可能!

『SUS980シリーズ』は、結晶化、剥離、酸化膜形成などの用途にお使いいただける フラッシュランプアニール装置です。 ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御することで、 ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec)。 ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し大面積で一括照射、 高照射が可能です。 【特長】 ■深さコントロール(バルス制御) ■ランプに流れる電流を半導体スイッチでON/OFF制御 ■ランプ電流パルス幅の調整が出来、加熱深度をコントロール(0.1~60msec) ■複数パルスの照射も可能 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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直接加熱が可能!直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT

フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適!気密性を高めた二重管ヒーターランプ

『直管形二重管ハロゲンヒータランプQIRT』は、二重管構造で密閉性を 高めたことにより、水や薬液、油などの液体につけて、直接加熱することが できるランプです。 また、二重管構造は、ランプ破損時の飛散を防ぐなど、安全性を高められることから、 フライヤなどの食品加熱用の熱源にも好適。 オーダーメイドシステムでは、任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて 設計できます。 【ラインアップ】 ■QIRT100V500W ■QIRT100V700W ■QIRT200V2000W ■QIRT200V2000WL ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮!ラインヒータユニット

加熱対象物の形状、照射範囲などから選択可能!ヒータユニットのご紹介

『ラインヒータユニット』は、ヒータランプとミラーを組み合わせ、 ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮する製品です。 寸法、特性を絞り込んで規格化したことで、コストパフォーマンスが高く、 試作検証や実験などに導入しやすくなっています。 また、必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■ヒータランプとミラーを組み合わせ、ライン状の加熱や大面積への加熱に威力を発揮 ■寸法、特性を絞り込んで規格化 ■コストパフォーマンスが高い ■試作検証や実験などに導入しやすい ■必要な特性に合わせたオーダーメイドにも対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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500℃を超える高温域!高出力ラインヒータユニット

ユーザが求める温度、出力、寸法など!特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定

『高出力ラインヒータユニット(オーダーメイド)』は、500℃を超える高温域での 光コントロールを可能にする高出力な製品です。 ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、 冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応。 ミラー形状は、フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、 パラボラタイプ N(コンパクト型・金メッキミラー仕様)をご用意しております。 【特長】 ■500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒータユニット ■特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメイドで対応 ■フォーカスタイプをはじめ、パラボラタイプ P、パラボラタイプ Nをご用意 ■パラボラタイプは広い面積を均一に照射可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光加熱 総合カタログ

高効率なエネルギー源!赤外線ハロゲンヒータなどの光加熱製品をご紹介

当カタログでは、赤外線ハロゲンヒータを中心に光加熱製品を 掲載しております。 広い範囲を平面加熱することができる直管形ハロゲンヒータランプ「QIR」、 シリコンウェハの高温加熱装置等に適したサークル形ハロゲンヒータランプ 「QIR Circle」などをラインアップ。 その他にも「フラッシュランプアニール装置 SUS980 シリーズ」と 「LED アニール装置」についてもご紹介しています。 【掲載内容(一部)】 ■光加熱とは ■赤外線ハロゲンヒータ ■赤外線ハロゲンヒータの用途 ■赤外線ハロゲンヒータの種類と特殊加工 ■直管形ハロゲンヒータランプ QIR ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

大面積で一括照射・高照度での照射が可能!複数パルスの照射もできる加熱装置

『フラッシュランプアニール装置』は、1秒以内で瞬時に対象物を アニールする光応用加熱装置です。 UVから可視・赤外域までの連続波長を有したクセノンフラッシュランプの 光により、0.1~60msecの範囲を任意に可変可能。 焼成、剥離、表面改質など幅広いスペクトルを利用した様々な用途に お使いいただけます。 【特長】 ■スペクトル ・紫外から可視・赤外領域まで幅広い波長特性 ■高出力・大面積一括処理(タクト短縮、高均一度) ・ワークサイズに応じて、フラッシュランプを複数本配置し、  大面積で一括照射、高照度(Max70J/cm2)での照射が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle

真空対応などの加工が可能!円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます!

『サークル形ハロゲンヒータランプQIR Circle』は、シリコンウェハの 高温加熱装置などに好適なサークル状のランプです。 円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できます。希望のサイズ、 特性に応じた設計ができ、真空対応などの加工も可能。 オーダーメイドシステムでは、最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、 設置条件、特性に合わせて設計できます。 【特長】 ■シリコンウェハの高温加熱装置などに好適なサークル状のランプ ■円形状または、円形範囲への加熱が必要な場合に活用できる ■希望のサイズ、特性に応じた設計でき、真空対応などの加工も可能 ■最大サークル径500mmまで任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例紹介】液体の保温・加熱

【事例紹介】液体の保温・加熱

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、液体の保温・過熱の事例紹介です 【特徴】 ○半導体製造ラインにおけるシリコンウェハの洗浄  液晶製造ラインにおけるガラス基板の洗浄などに使用される  純水や薬液を保温・加湿することが可能 ○高品質の石英ガラスで2重に覆われた  ハロゲンランプで構成されているため、不純物汚染が少なく  加熱効率95%以上と高効率に加熱することが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】成膜装置のプレヒート

【事例紹介】成膜装置のプレヒート

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源による、成膜装置のプレヒートの事例紹介です。 真空環境下においても非接触・高速昇温性を持った ハロゲンランプヒータを使用することにより 半導体・FPD・太陽電池などの成膜工程において タクトタイム短縮に貢献することができる ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

【事例紹介】RTP(ラピッドサーマルプロセス)

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源によるRTPの事例紹介です。 かつての半導体熱処理は、ファーネス(断熱)が一般的だったが ナノオーダーのデバイスの場合、薄い膜形成や浅い接合が必要となり アイソサーマルの代名詞ともなっているRTPがキーテクノロジーとなっています。 また、次世代半導体においては、熱流束技術として フラッシュランプアニールが主流となっています。 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

ウシオの光で出来ること 熱する『接合』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(接合)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○各種ヒートシンクの配管溶接にハロゲンヒータが採用 ○ハロゲンヒータの光は輻射熱として  照射されるため、温風タイプとは異なり  周囲環境に左右されにくく  短時間で所定温度まで昇温が可能 ○ガスバーナなどの加熱とは異なりCO2の環境負荷に適している ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

ウシオの光で出来ること『不純物拡散』

統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(不純物拡散)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:クセノンフラッシュランプ・ハロゲンヒータランプ ○半導体工程において、ソースドレインにインプラントを行い  その後、アニール工程によってドーピングした不純物を活性化 ○クセノンフラッシュランプの特性を活かし  ミリ秒単位という短時間で今までの活性層の深さに比較して  極めて浅い部分(nmオーダー)を高温アニールし  不純物の拡散を防ぐことが可能 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

ウシオの光で出来ること『加熱/成膜』

伝統と豊富な実績を持つウシオ社の 光加熱用光源の実用例(加熱/成膜)のご紹介です 【特徴】 ○使用光源:ハロゲンランプヒータ ○半導体・FPD・太陽電池などの製造プロセスにおける  金属膜、絶縁膜の形成に用いられる  CVDやスパッタリング装置の熱源として最適 ○さらに成膜前の、水分除去や予備加熱にハロゲンランプヒータを  用いることで、スループット向上と高品質な膜形成を実現 ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。

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シリコンウェハやガラスレンズの加熱に好適!サークルヒータユニット

3次元反射光シミュレーションを経て設計!優れた加熱均一性と昇温性能

『サークルヒータユニット』は、主にシリコンウェハの急速加熱や ガラスレンズの成形前加熱などに好適な製品です。 3次元反射光シミュレーションを経て設計された反射鏡とランプを 適切に配置。優れた加熱均一性と昇温性能を持っています。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【UL-HU-CH36KW/STD 仕様(抜粋)】 ■定格電圧:200V ■消費電力:36kW ■ユニット外径:470mm ■ユニット奥行:235.5mm ■重量:30kg ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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光加熱 総合カタログ

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光応用加熱装置『フラッシュランプアニール装置』

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ニュース

鉛筆を手作業で削る例を通じて、作業者による品質のばらつきや作業効率の課題を分かりやすく表したイラストです。

049【当社の技術力】 ~日東工作所の原点 治具について2 手作業の限界~2026/05/24

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(株)日東工作所(大阪)は、「治具の知見 × 精密機械加工」でモノづくりを支える総合ものづくり企業です。 【治具が必要とされる理由|手作業の限界と品質のばらつき】 前回は、「治具とは何か」という基本的な定義についてご紹介しました。 今回は、治具が必要とされる背景にある 「手作業の限界」 について、身近な例を使ってご説明します。 ☆「鉛筆を削る仕事」を請け負った場合 当社では、講演会などで、身近な例を用いながら「治具」の考え方を分かりやすく説明しています。 例えば、鉛筆を削る仕事 をある会社から請負ったとします。ナイフで一本ずつ手作業で行う場合、作業者によって削る角度や芯の長さ、仕上がり形状にばらつきが生じます。作業時間にも差が出るため、品質の均一化や生産効率の面で課題が発生します。 「人の技量に左右される作業」を安定させるために必要となるのが、治具です。治具を用いることで、誰が作業しても同じ位置・同じ角度で加工でき、品質のばらつきを抑えた安定したものづくりが可能になります。 当社は、この治具づくりの考え方を活かし、精密機械加工や試作品製作、専用機の設計製作にも取り組んでいます。 次回に続く

2026年05月24日

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産業用エッジAIプラットフォーム「PLECO E5/E4」を発表 ‒ノーコード/ローコード開発と高速PoCで現場導入を加速‒

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PiLink株式会社(本社:横浜市、代表取締役:能方 研爾)は、産業用途に最適化したエッジAIプラットフォーム「PLECO(プレコ)」シリーズとして、Raspberry Pi 5(Compute Module 5)ベースの高性能モデル「PLECO E5」と、Raspberry Pi 4(Compute Module 4)ベースの低価格モデル「PLECO E4」の2機種の販売を2026年6月1日より開始します。

2026年05月23日

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リフォームで露出した給水・給湯配管を保護する化粧カバー

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給水・給湯用配管化粧カバー リフォームダクト 幅広い管種に対応し、豊富なパーツで理想の配管を実現するリフォームダクトは選定も簡単! ■製品詳細 □シングルタイプ「JD-N」 裸管にも保温材付きにも対応! □ツインタイプ「TJD」 給水給湯管を同時に配管可能! ☆ツールで選定も簡単!☆ 払い出し表の作成まで簡単! リフォームダクト選定ツール 1.配管の情報を入力してサイズ・パーツを選定&一覧化! 2.必要なパーツの数量を入力したら、そのまま拾い出し表を作成! 払い出し表は印刷とPDFダウンロードができる!

2026年05月22日

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SPACECOOL、シンガポール「The Liveability Challenge 2026」にてInvestment Prizeを受賞 100か国以上・1,500件超の応募の中からトップ3社に選出

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SPACECOOL株式会社は、Temasek Foundationが主催し、Eco-Businessが運営するグローバル・サステナビリティ・イニシアティブ「The Liveability Challenge 2026」において、100か国以上・1,500件超の応募の中からトップ3社に選出され、Investment Prizeを受賞しました。 The Liveability Challenge(TLC)は、都市型熱帯地域における喫緊の持続可能性課題の解決に向けた革新的ソリューションを評価するグローバルイニシアティブです。 当社は、気候変動および暑熱への対応をテーマとするCool Earth分野において、日本企業として唯一ファイナリストに選出され、2026年5月20日にシンガポールで開催されたグランドファイナルでは、熱帯都市向け冷却ソリューションについて最終ピッチを実施し、Investment Prizeを受賞しました。 この度の受賞を励みに、SPACECOOLは東南アジア地域における持続可能な冷却ソリューションの社会実装のきっかけとし、グローバル規模の暑熱課題の改善をさらに加速してまいります。

2026年05月22日

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IP試験(防じん試験・防水試験)、オーダーメイド試験、風洞試験のご紹介

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今回はIP試験(防じん試験・防水試験)のご紹介です。 是非この機会に各資料をご請求ください。 【1】IP試験(防じん試験・防水試験) 当社ではIP試験だけでなく、防じん試験・防水試験に関するその他の公的規格(以下参照) や、海外規格にも対応しています。IP試験はもちろんのこと、防じん試験・防水試験に 関するお困りごとがありましたらご遠慮なくご相談ください。 【 対応規格例 】 〇JIS C 60068-2-68「環境試験方法 -電気・電子- 砂じん(塵)試験」 〇JIS D 0207    「自動車部品の防じん及び耐じん試験通則」 〇JIS E 4036    「鉄道車両構成部品-ダスト試験通則」 〇NDS C 0110E  「電子機器の運用条件に対する試験方法 防水試験」 〇JEM 1195    「屋外用コントロールセンタ 防雨試験の検証」 詳細はこちらをご覧ください。 https://www.ipros.jp/product/detail/2001504600

2026年05月22日

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