高精度ディスペンサー(塗布機)の駆動機構の選び方とは?半導体・精密ディスペンシング設備に欠かせない駆動系選定の6つのポイント
高精度ディスペンサーの駆動機構選定における6つの重要ポイント:
リードと加減速のマッチング:高速ジェットには大リード(10〜20mm)を選定し振動を抑制、微小連続塗布には小リード(1〜5mm)で分解能と等速性を高める。
ねじ精度と予圧等級:C3級+軽/中予圧で半導体の高精度化に対応する一方、C5級+ダブルナットやクローズド・ループ制御でコストと歩留まりのバランスを最適化する。
Z軸の微小振動抑制:バルブ重量による片持ち負荷の残留振動(糸引き)を防ぐため、高剛性デュアルガイドや予圧型マイクロリニアガイドブッシュを採用する。
ガイドと支持の対称性:固定側・支持側の組立同心度を高め、ねじの回転振れによる塗布ラインの周期的な波模様(太さの不規則化)を解消する。
潤滑とクリーンルーム対策:フッ素グリス(PFPE)などの低発塵潤滑剤を用い、光学部品の曇りや化学溶剤による腐食・焼き付きを防ぐ。
熱変位抑制設計:24時間連続運転時の摩擦熱による熱膨張と位置決め誤差を抑制し、長寿命と高精度を両立させる。

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