【測定事例】角形シリコンインゴットの寸法・角度を一括測定|SRIシリーズ
1回のスキャンで、角形シリコンインゴットの複数寸法を取得。
SinceVisionの一体型3Dレーザープロファイラ「SRIシリーズ」を用いた測定事例をご紹介します。
■4台のセンサで周囲をスキャン
センサを90°間隔で配置し、外部信号で同期トリガ。移動する対象物の輪郭を取得し、4方向の点群を合成します。
■断面形状から複数項目を算出
ROIで必要な領域を抽出し、円弧部の投影長さ、辺間距離、直径、直線部の角度を測定。寸法管理の効率化を支援します。
■32回の静的測定で繰り返し性を評価
本事例での最大値は、円弧部の投影長さ0.003mm、辺間距離0.0051mm、直径0.0048mm、角度0.0088°でした。
■一体型で設備への組み込みに対応
追加のコントローラを必要としない構造で、限られた設置スペースにも対応します。
※記載値は実験室での評価結果です。実際の測定結果は測定環境により異なります。
詳細は関連リンクをご覧ください。
【お問い合わせ先】
担当:陶瑋(とうい)
E-mail:taowei@sincevision.com

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