【嫌気性材料蒸着に最適!!!】グローブボックス対応真空蒸着装置HEX-GB【リチウムイオン電池など】

ブロックを組み立てるように自由自在に構成を変更可能な多目的真空蒸着装置｜スパッタリング・抵抗加熱蒸着・電子ビーム蒸着・有機蒸着

HEXシステムは、ユニークな『モジュール構造』が採用されています。 六角柱の形状のチャンバーの、各面を構成するパネルを交換することで 自由自在にポートの数や配置を変更することができます。 そのため、研究の方向性の変化に応じて、まるでブロックを 組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を 行うことができます。 HEXシステムは、ベンチトップシステムとUHVシステムの間を補う、 コンパクトで拡張性の高い、新しいコンセプトの真空蒸着装置です。 ◆『モジュール構造』により自由自在にシステム構成を変更可能 ◆スパッタ、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、有機蒸着に対応 ◆複数ソースによる同時成膜に対応 ◆サンプル回転、加熱、水冷に対応 ◆膜厚計を搭載可能 ◆設置面積60cm x 60cmのコンパクト設計 ◆優れた拡張性およびメンテナンス性 ◆グローブボックス対応（リチウムイオン電池など） 詳しくは＜PDFダウンロード＞よりカタログをご覧ください。 ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のスパッタリングソースです。 ターゲットが導体の場合はDCモードで、絶縁体の場合はRFモードで使用することができます。ガスフードが標準装備されているため、ターゲット表面近傍での圧力を高め、成膜中のチャンバー圧力を低く抑えることが可能です。 冷却水配管およびガス配管の接続には、クイックリリースコネクターが採用されています。そのため、工具を使用することなく、簡単に配管の取り付け／取り外しを行うことができます。Fissionソースは、蝶ナット4個でチャンバーに固定することができることから、取り付け／取り外しの際に工具を必要としません。 反応性スパッタにも対応するので、酸化物や窒化物の成膜も可能です。 HEXでは最大3台、HEX-Lでは最大6台の成膜ソースを取り付けることができるので、多層膜や化合物膜を成膜することが可能です。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用抵抗加熱蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の抵抗加熱蒸着源です。 抵抗加熱蒸着法は、最も一般的な真空蒸着プロセスです。ボート型やルツボ型の加熱容器に材料を置き、加熱容器に電流を流すことで抵抗熱を発生させ、材料を加熱します。加熱容器の温度が充分に上昇すると、容器内の材料が蒸発し始めます。蒸着レートは電流によって制御することが可能です。 抵抗加熱蒸着装置の利点はプロセスガスを使用しないことです。そのため高い真空度中で動作し、堆積した膜にほとんど不純物が含まれません。 TESソースは蝶ナット4個でチャンバーに固定されています。また、冷却水配管はクイックリリースコネクターにより接続されています。そのため、材料の補充やボート／フィラメントの交換を素早く行うことが可能です。 HEXでは最大5台、HEX-Lでは最大6台のTESソースを取り付けることができます。また、スパッタソースFission、電子ビーム蒸着源TAUおよび有機蒸着源ORCAと組み合わせて使用することができます。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用1源および4源電子ビーム蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の電子ビーム蒸着源です。 TAUシリーズは"ミニ"電子ビーム蒸着源です。TAUを使用することでHEXシステムを電子ビーム蒸着装置（EB蒸着装置）として使用できます。材料に高電圧が印加され、そのすぐ横にあるフィラメントから放出される熱電子を材料に加速衝突させることで加熱します。大型の電子ビーム蒸着源に見られるような、電子ビーム偏向マグネットは使用しません。 TAUソースの各ポケットには、蒸気中に含まれるわずかなイオンを検出するための、"フラックスモニタリングプレート"が標準で搭載されています。ここで検出されるイオン電流値は、蒸着レートと比例関係にあり、サブモノレイヤーの膜を精密に成長できるほど高感度です。 4源同時蒸着モデルであるTAU-4には、4つのポケットにそれぞれ独立したフラックスモニタリングプレートが備えられており、同時蒸着時には各ポケットの蒸着レートをモニターすることができます。 TAUソースは材料の材質により、ロッドまたはルツボから蒸着することができます。最適な蒸着方法をご提案いたしますので、お気軽にお問い合わせください。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の有機蒸着源です。 ORCAをインストールすることで、HEXシステムを有機物蒸着装置として使用できます。ORCAソースはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバランスにより、優れた温度安定性と制御性を実現しています。 ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラファイト製ライナーも用意されています。 ルツボの温度はKタイプ熱電対により測定されます。一般的な接触型熱電対よりも精度の高い温度測定が可能です。ORCAには電源ユニットと低温動作に最適化されたPIDコントローラーが付属します。 ORCAソースはスパッタソース、電子ビーム蒸着源および抵抗加熱蒸着源と組み合わせて使用することができます。ルツボ周囲は冷却された保護キャップに覆われており、隣接するソースからの熱干渉を最小限に抑えられています。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用サンプルステージ | 固定、回転、回転加熱、回転水冷

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のサンプルステージです。 正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。 HEXでは最大直径4インチのサンプル、HEX-Lでは最大直径6インチのサンプルに対応します。標準の固定サンプルステージの他に、回転、回転加熱、回転水冷サンプルステージが用意されています。

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導入コストを抑えたい、なるべく早く導入したい…そんなご要望にお応えいたします！ 光華は太陽からのエネルギーで全てを賄うため配線工事などの基礎工事が不要です。 しかも、必要なのは取り付ける「場所」だけ！ 既設のポールや壁などに取り付けるだけなので、専用のポールを新設するなどの配置工事を必要としません。 そのため工期も短く、駐車場や公園など広範囲を明るくするために複数台設置する場合でも短時間で設置が完了いたします！ そして太陽電池モジュールも照明灯も一緒になった一体型ですが、１台17kgと軽量且つコンパクトです。フォークリフトやトラックなしでも簡単に移動することができるので、照らしたい場所を変更しても大丈夫！今すぐにでも対応ができます！ また、LED照明寿命が90,000時間と照明寿命も長寿のため、照明の交換やメンテナンスの軽減も見込めますし、何より安心安全に、長くご利用頂けます。 ソーラー照明灯の他にもUPS照明などの照明灯も取り扱っております。 それぞれ景観やお好みに合わせて２色のカラー展開です。 ぜひイプロス内やホームページのカタログダウンロード、製品ページをご覧ください。

最先端GPU「NVIDIA H200 NVL」とは NVIDIA H200 NVLは、次世代AIおよびHPC向けに設計されたNVIDIA Hopperアーキテクチャに基づくGPUです。 世界で初めてHBM3eメモリを搭載し、前世代のH100 NVLと比較して、より高速かつ大容量のメモリ帯域を実現しています。 GIGABYTE製サーバーにて対応 当社では、NVIDIA H200 NVLを搭載したGIGABYTE製GPUサーバーの取り扱いを開始しました。 GIGABYTEのGシリーズサーバーは、AIパフォーマンスを最大限に引き出すための高密度かつ高拡張性な設計が特長です。 ・G294 シリーズなど、2Uサイズで最大4基のH200 NVLを搭載可能な高密度構成 ・高い電力供給・冷却能力により、安定した長時間運用に対応 ・拡張性に優れたPCIe構成により、InfiniBandや高速NVMeとの統合も可能 CPUプラットフォームはお客様のワークロードに応じて選択いただけます： ・最新Intel Xeon 6シリーズ（6700P/6500P） ・AMD EPYC 9004シリーズ

太陽電池モジュール PVS Seriesの製品カタログを公開いたしております！ システム用途例や使用機器別のシステム図などのシリーズの共通情報、全9ラインナップの個別情報のほか、関連製品：太陽電池コントローラ「EPCM8MPPT-PCB」の製品情報も掲載し大変充実した1冊となっております。 選定に必要な情報がまとめて掲載しておりますため、ぜひお気軽にダウンロードしご確認ください。 本製品のほかに１つのシステムを組む上で必要なインバータなどのカタログも裏表のチラシタイプから冊子タイプにパワーアップして掲載しております。 製品のポイント、用途、システム図などの製品シリーズの共通情報に加え、電気的特性やディレーティングカーブ、外形図など製品の容量によって異なる個別の情報も一冊にまとめて公開いたしておりますので併せてご確認ください。 ▲注意▲ NPB Series： 以前のカタログは容量の大小で2冊に分けて掲載しておりましたが、併せてご確認いただけるように１冊にまとめて公開しております。 そのため製品ページは同じカタログが紐づけられておりますのでお間違えのないようにお願いいたします。