多目的真空蒸着装置HEXシステム用抵抗加熱蒸着源
多目的真空蒸着装置HEX/HEX-L用の抵抗加熱蒸着源です。 抵抗加熱蒸着法は、最も一般的な真空蒸着プロセスです。ボート型やルツボ型の加熱容器に材料を置き、加熱容器に電流を流すことで抵抗熱を発生させ、材料を加熱します。加熱容器の温度が充分に上昇すると、容器内の材料が蒸発し始めます。蒸着レートは電流によって制御することが可能です。 抵抗加熱蒸着装置の利点はプロセスガスを使用しないことです。そのため高い真空度中で動作し、堆積した膜にほとんど不純物が含まれません。 TESソースは蝶ナット4個でチャンバーに固定されています。また、冷却水配管はクイックリリースコネクターにより接続されています。そのため、材料の補充やボート/フィラメントの交換を素早く行うことが可能です。 HEXでは最大5台、HEX-Lでは最大6台のTESソースを取り付けることができます。また、スパッタソースFission、電子ビーム蒸着源TAUおよび有機蒸着源ORCAと組み合わせて使用することができます。
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基本情報
【主な仕様】 ボート容量:1cc~5cc 温度範囲:50℃~2200°C(材料に依存) 電源:DC600W(オプション:1.5kW)
価格情報
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納期
用途/実績例
メタライゼーション、ARコーティング
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企業情報
テガサイエンス株式会社は野鳥の憩う手賀沼近くの柏市北柏に本社を置く理化学機器の専門商社です。 21世紀の始まりと共に設立され、欧米の優れた理化学機器、精密機器を国内の研究機関に提供してまいりました。今後も、国産品ではカバー出来ない分野を中心に、日本の科学技術の発展に貢献できるよう、努力してまいります。 テガサイエンス株式会社の商標の鳥は、手賀沼に多く生息するオオバンをカラフルにアレンジしたものです。