ブロックを組み立てるように自由自在に構成を変更可能な多目的真空蒸着装置｜スパッタリング・抵抗加熱蒸着・電子ビーム蒸着・有機蒸着
HEXシステムは、ユニークな『モジュール構造』が採用されています。 六角柱の形状のチャンバーの、各面を構成するパネルを交換することで 自由自在にポートの数や配置を変更することができます。 そのため、研究の方向性の変化に応じて、まるでブロックを 組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を 行うことができます。 HEXシステムは、ベンチトップシステムとUHVシステムの間を補う、 コンパクトで拡張性の高い、新しいコンセプトの真空蒸着装置です。 ◆『モジュール構造』により自由自在にシステム構成を変更可能 ◆スパッタ、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、有機蒸着に対応 ◆複数ソースによる同時成膜に対応 ◆サンプル回転、加熱、水冷に対応 ◆膜厚計を搭載可能 ◆設置面積60cm x 60cmのコンパクト設計 ◆優れた拡張性およびメンテナンス性 ◆グローブボックス対応（リチウムイオン電池など） 詳しくは＜PDFダウンロード＞よりカタログをご覧ください。 ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。
この製品へのお問い合わせ
基本情報
HEXシステムにはスパッタリングソース、抵抗加熱蒸着源、電子ビーム蒸着源、 有機物蒸着源の4種類の成膜ソースが用意されており、 最大3台を同時に取り付け可能です。 シンプルなコーティングから複雑な多層膜まで広範なアプリケーションに 対応します。 60cm x 60cmにおさまる非常にコンパクトな真空チャンバーなので、 電源ラックや実験台の上に設置可能です。 また、グローブボックスと組み合わせることで、リチウムイオン電池などの 嫌気性材料の蒸着を必要とするアプリケーションにも対応します。
価格情報
構成により変わります。お気軽にお問い合わせください。
納期
※構成により変わります。お気軽にお問い合わせください。
用途／実績例
スパッタリング、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、有機物蒸着により真空成膜。既存のグローブボックスに搭載することにより嫌気性材料（リチウムなど）の蒸着にも対応可能。
詳細情報
-
＜HEXシステムの構造＞ 六角柱状のアルミフレームの側面6面および上下面にパネルを取り付けることで真空チャンバーを構成しています。 上下面にはサンプルテーブルとターボ分子ポンプが取り付けられます。 側面パネルには、ブランクパネル、ビューポートパネル、ソースパネル、ガス導入パネルなどの複数の種類があります。これらのパネルを組み合わせることで、様々な構成の真空チャンバーとなります。
-
＜成膜ソース＞ スパッタリングソース、抵抗加熱蒸着源、電子ビーム蒸着源、有機蒸着源の４種類の成膜ソースが用意されています。 ソースパネルに4本のボルトで固定されているので、簡単に取り付け、取り外しを行えます。ガス接続、冷却水接続もクイックコネクターが採用されているので工具を必要としません。
-
＜同時蒸着＞ HEXでは最大3台、HEX-Lでは最大6台の成膜ソースを取り付けて同時蒸着を行うことができます。取り付けポートの数や位置を自由自在に変更できます。
-
＜サンプルテーブル＞ 標準の固定サンプルテーブルから、回転、回転加熱、回転水冷のサンプルテーブルにアップグレードできます。 HEXでは最大4インチ、HEX-Lでは最大6インチのサンプルに対応します。
-
＜コンパクトデザイン＞ HEXシステムのチャンバーは60cm角程度のスペースに設置することができます。一般的な実験台の上に設置できるので、導入を検討する際に、設置場所に迷う必要はありません。
-
＜制御ソフトウェア＞ ソフトウェアインターフェース上のヴァーチャルラックから各種パラメーターを遠隔制御できます。チャート表示やデータロギングも可能です。直感的な操作が可能な、ユニークでパワフルな制御ソフトウェアです。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| HEX | 最大基板サイズ4インチ、最大成膜ソース数3台、到達真空度5E-4Pa |
| HEX-L | 最大基板サイズ6インチ、最大成膜ソース数6台、到達真空度5E-4Pa |
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
この製品に関するニュース（24）
企業情報
テガサイエンス株式会社は野鳥の憩う手賀沼近くの柏市北柏に本社を置く理化学機器の専門商社です。 21世紀の始まりと共に設立され、欧米の優れた理化学機器、精密機器を国内の研究機関に提供してまいりました。今後も、国産品ではカバー出来ない分野を中心に、日本の科学技術の発展に貢献できるよう、努力してまいります。 テガサイエンス株式会社の商標の鳥は、手賀沼に多く生息するオオバンをカラフルにアレンジしたものです。