【モジュール構造真空装置】多目的真空蒸着装置HEXシリーズ【高拡張性&高メンテナンス性】

ブロックを組み立てるように自由自在に構成を変更可能な多目的真空蒸着装置｜スパッタリング・抵抗加熱蒸着・電子ビーム蒸着・有機蒸着

HEXシステムは、ユニークな『モジュール構造』が採用されています。 六角柱の形状のチャンバーの、各面を構成するパネルを交換することで 自由自在にポートの数や配置を変更することができます。 そのため、研究の方向性の変化に応じて、まるでブロックを 組み立てるような要領で、自分自身で簡単に構成変更や機能拡張を 行うことができます。 HEXシステムは、ベンチトップシステムとUHVシステムの間を補う、 コンパクトで拡張性の高い、新しいコンセプトの真空蒸着装置です。 ◆『モジュール構造』により自由自在にシステム構成を変更可能 ◆スパッタ、抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、有機蒸着に対応 ◆複数ソースによる同時成膜に対応 ◆サンプル回転、加熱、水冷に対応 ◆膜厚計を搭載可能 ◆設置面積60cm x 60cmのコンパクト設計 ◆優れた拡張性およびメンテナンス性 ◆グローブボックス対応（リチウムイオン電池など） 詳しくは＜PDFダウンロード＞よりカタログをご覧ください。 ご不明な点がございましたら、お気軽にお問い合わせください。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のスパッタリングソースです。 ターゲットが導体の場合はDCモードで、絶縁体の場合はRFモードで使用することができます。ガスフードが標準装備されているため、ターゲット表面近傍での圧力を高め、成膜中のチャンバー圧力を低く抑えることが可能です。 冷却水配管およびガス配管の接続には、クイックリリースコネクターが採用されています。そのため、工具を使用することなく、簡単に配管の取り付け／取り外しを行うことができます。Fissionソースは、蝶ナット4個でチャンバーに固定することができることから、取り付け／取り外しの際に工具を必要としません。 反応性スパッタにも対応するので、酸化物や窒化物の成膜も可能です。 HEXでは最大3台、HEX-Lでは最大6台の成膜ソースを取り付けることができるので、多層膜や化合物膜を成膜することが可能です。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用抵抗加熱蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の抵抗加熱蒸着源です。 抵抗加熱蒸着法は、最も一般的な真空蒸着プロセスです。ボート型やルツボ型の加熱容器に材料を置き、加熱容器に電流を流すことで抵抗熱を発生させ、材料を加熱します。加熱容器の温度が充分に上昇すると、容器内の材料が蒸発し始めます。蒸着レートは電流によって制御することが可能です。 抵抗加熱蒸着装置の利点はプロセスガスを使用しないことです。そのため高い真空度中で動作し、堆積した膜にほとんど不純物が含まれません。 TESソースは蝶ナット4個でチャンバーに固定されています。また、冷却水配管はクイックリリースコネクターにより接続されています。そのため、材料の補充やボート／フィラメントの交換を素早く行うことが可能です。 HEXでは最大5台、HEX-Lでは最大6台のTESソースを取り付けることができます。また、スパッタソースFission、電子ビーム蒸着源TAUおよび有機蒸着源ORCAと組み合わせて使用することができます。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用1源および4源電子ビーム蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の電子ビーム蒸着源です。 TAUシリーズは"ミニ"電子ビーム蒸着源です。TAUを使用することでHEXシステムを電子ビーム蒸着装置（EB蒸着装置）として使用できます。材料に高電圧が印加され、そのすぐ横にあるフィラメントから放出される熱電子を材料に加速衝突させることで加熱します。大型の電子ビーム蒸着源に見られるような、電子ビーム偏向マグネットは使用しません。 TAUソースの各ポケットには、蒸気中に含まれるわずかなイオンを検出するための、"フラックスモニタリングプレート"が標準で搭載されています。ここで検出されるイオン電流値は、蒸着レートと比例関係にあり、サブモノレイヤーの膜を精密に成長できるほど高感度です。 4源同時蒸着モデルであるTAU-4には、4つのポケットにそれぞれ独立したフラックスモニタリングプレートが備えられており、同時蒸着時には各ポケットの蒸着レートをモニターすることができます。 TAUソースは材料の材質により、ロッドまたはルツボから蒸着することができます。最適な蒸着方法をご提案いたしますので、お気軽にお問い合わせください。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の有機蒸着源です。 ORCAをインストールすることで、HEXシステムを有機物蒸着装置として使用できます。ORCAソースはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバランスにより、優れた温度安定性と制御性を実現しています。 ルツボは熱伝導率の高い材質で作られていることから、蒸着レートに悪影響をおよぼすホットスポットが発生しません。アルミナ製やグラファイト製ライナーも用意されています。 ルツボの温度はKタイプ熱電対により測定されます。一般的な接触型熱電対よりも精度の高い温度測定が可能です。ORCAには電源ユニットと低温動作に最適化されたPIDコントローラーが付属します。 ORCAソースはスパッタソース、電子ビーム蒸着源および抵抗加熱蒸着源と組み合わせて使用することができます。ルツボ周囲は冷却された保護キャップに覆われており、隣接するソースからの熱干渉を最小限に抑えられています。

• スパッタリング装置

多目的真空蒸着装置HEXシステム用サンプルステージ | 固定、回転、回転加熱、回転水冷

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のサンプルステージです。 正しいサンプルステージを選択することは、正しい成膜方法を選択することと同じくらい重要です。サンプルステージの特性は均一性やモルフォロジー、膜組成に影響を与えます。 HEXでは最大直径4インチのサンプル、HEX-Lでは最大直径6インチのサンプルに対応します。標準の固定サンプルステージの他に、回転、回転加熱、回転水冷サンプルステージが用意されています。

• スパッタリング装置

皆様は身の回りのねじがどのように作られているか知っていますか？ ねじの加工法には、金属を削る切削加工と、金属を押しつぶして作り出す塑性加工、金属同士を熱で溶融・接合する溶接加工などがあります。 それぞれ長所・短所があり、また得意とする加工形状や材料が違います。 弊社では、ねじの製造に必要な「圧造」も「切削」も「溶接」もできる製造ノウハウを備えています。また、それらを合わせた「複合加工」が可能です。 各工程の特性を生かして、最適なコスト、品質のねじ作りを実現します。 締結部品の専門集団として、「圧造」・「切削」・「溶接」も手がける弊社が、それぞれの技術情報をまとめた資料を公開しています。 くわしくは以下のカタログページをダウンロードしてご覧ください。

「ねじ」の加工でよく用いられる冷間圧造加工。 ナットもボルトも製造している弊社も、冷間圧造が主力工程です。 圧造加工には、次のメリットがあります。 ・塑性加工を利用して材料ロスを削減 ・短時間で大量生産可能 ・ファイバーフローを切断せず、強度が安定 一方で、以下の前提条件があります。 ・金型が必要で、イニシャルコストと製作期間が必要 ・小ロットの生産には不向き（最低生産ロット大） つまり、大量生産する場合は、コストを抑え安定した品質で生産できますが、小ロットの場合はこのメリットが活かせないのです。 それでも、「圧造＝安価」というイメージからか、お客様から「（小ロットでも）圧造で見積りして。」というご依頼をいただきます。 そんなときも、 ●既に実績のある類似品の流用で、少量でも対応 ●製造方法(切削加工など)の変更により、最適なコストで製品をご提供 ●協力メーカーのネットワークも活用して最適品を調達　　　…など 弊社では、最適なコストと製造方法でお応えしています。 ねじ製品のことなら、ぜひお気軽にご相談ください。

非接触光線タッチセンサー「HA-T401/HA-T520」は検出範囲がコンパクトなので、狭い通路や人通りが多い道に面した自動ドアへの設置に好適な自動ドアセンサーです。 用途や設置場所によって「無目取付型」「無目内蔵型」からお選びいただけます。 【特徴】 ●光線タッチセンサーなら触れずに手を近付けるだけで自動ドアを開閉できるので、衛生面でも安心です。 ●片引き、引き分けなどの設置環境に合わせて、検出範囲の列設定を左・中央・右の4スポットと12スポット設定の全4通りに設定できます。 ●横切りによる自動ドアの無駄な開閉を軽減し、省エネ効果に貢献する2種類の起動列設定が可能です。 ●タッチスイッチと赤外線センサーを一体化し、1機種で光線タッチ⇔赤外線センサーに切替が可能です。 【こんな場所にオススメ！】 ☑入口が人通りの多い通路に面している ☑ドア付近にカウンターや看板等がある ☑狭い通路に面した建物 ☑美観を重視する建物 ☑衛生面を配慮する病院や施設 ☑多くのドアを構える大型施設 ◎詳しくは資料ダウンロード又はお問い合わせください。

工具集約、CT短縮を図りたい 【課題背景】 Φ10 モミツケ→Φ20 の下⽳加⼯→Φ50 まで⽳の繰り広げを 3 種類の⼯具を⽤いて3 ⼯程にて加⼯している。（加⼯時間＝10分） 切りくず処理にも⼿間を感じている。 【加工内容】 Φ50×T80 mm の⽌まり⽳加⼯ 【被削材】 SS400 ********************** 切くずを細かく分断、切削抵抗を抑え最大傾斜角20°を実現する独自形状 Φ13以上の穴あけをわずか4本で対応する 「超高速ヘリカル加工用インサート式ドリル NCヘリックスドリル」 https://toolde.co.jp/product/nine9/nchelixdrill この機会にぜひお試しください！

豊富な機種があるParker製カートリッジバルブのバリエーションがよくわかる便利な一冊です。 掲載内容は「チェックバルブ」、「シャトルバルブ」、「圧力制御弁」、「ロジック弁」、「フローコントロールバルブ」、「圧力制御弁」、「ソレノイドバルブ」、「方向制御弁」、「比例弁」などを掲載したハンドブックです。