全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ
半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。
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基本情報
半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。 【片面マスクアライナー】 本装置は、半導体デバイス、各種センサーをはじめ、多様なデバイス分野での露光好悪体に用いられます。研究開発から、小・中ロット製造用に最適です。 光源は250kw〜5kw。露光サイズは200パイmmまで取り揃えております。 【オートアライナー装置】 本装置はカセットtoカセット搬送システムを搭載した、全自動全面一括露光装置です。 多様なデバイスの量産用アライナーとして、ローダー、アンローダー搬送システムを構築し、 生産量をアップします。 ※詳細は、カタログをダウンロードの上、資料請求下さい。
価格情報
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納期
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企業情報
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