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[チラー]モジュール式チラー M-Pakシリーズ

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MP-20

最終更新日:2012年02月22日

ATSジャパン株式会社
ATSジャパン株式会社
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-70℃~+200℃まで幅広い温度管理を実現可能なチラ―!

ATSジャパン株式会社より、マルチチャンネルチラー「ENシリーズ」のご案内です。 ■最大4種類のモジュールの組み合わせが可能(-70℃~+200℃) ■各種循環液に対応可能 ■各種インターフェースに対応 ATSジャパン(株)のチラーは半導体業界を中心に導入実績があります。これまでの数千台の導入実績に基づき、食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。ご利用環境、用途に応じた最適なソリューションをご提案させていただきます。まずはお気軽にお問い合わせください。

    エッチング装置加熱装置温湿度制御
M-Pak.jpg

[チラー]モジュール式チラー M-Pakシリーズ

M-Pak.jpg
M-Pak.jpg
  • 関連リンク - http://www.atschiller.com/mpak.html

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基本情報

【特徴】 ○マルチチャネルチラーシステム(最大4チャネルまで対応可能) ○液体温度(-70℃~+155℃) ○お客様のニーズに合った様々なオプション対応 ○様々なアプリケーションの要求にお応えするフレキシブルなモジュール組合せ ○複数のフレームサイズを用意(オプション) ○高信頼性(MTBF 35,000時間以上) ○ユーザーフレンドリーなタッチパネルディスプレイを採用 ○SEMI S2, F47に適合、CEマーキング自己宣言済み ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。

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用途/実績例

半導体製造装置、産業機器、計測機器、食品加工機器、理化学機器などの温度管理

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この製品に関するニュース(2)

EN-400AR

イプロスランキング/特集ページ掲載中![フロン不要でラックマウントも可能なエコチラー]ENシリーズ

  • 製品ニュース

製品ランキングにも取り上げていただきました。 注目度急上昇中のフロンガスを使わない電子冷却式ノンフロンチラーのご案内です。 地球温暖化係数ゼロ!オゾン破壊係数ゼロ! 半導体装置・医療装置・レーザー装置など用途にご利用いただけます。 ※※※医療業界特集ページにも掲載中!※※※ 【特徴】 ■フロンガスを使用しないノンフロンチラー ■電子の力だけで冷却・加熱の両機能が利用可能 ■ヒーターレスの省エネタイプ ■循環液の選択可! ■様々なワット数の組み合わせ構成が可能 ■リークレスポンプ ■低振動・低騒音 ■ラックマウント可能(EN-400AR) ATSジャパン(株)のチラーは半導体業界を中心に数千台の導入実績があります。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご要望に応じたカスタマイズが可能です。 お客様のご利用環境に合わせた最適チラーのご提案をさせていただきます。 まずはお気軽にお問い合わせください。

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DEX-20A

[温度管理システム(チラー)]ATSブランドのロングセラー DEXシリーズ

  • 製品ニュース

ATSジャパン株式会社より、ATSブランドの主力製品の一つ、「DEXシリーズ」のご案内です。 ●幅広い温度範囲(-30℃~+90℃) ●リークレスのマグネットポンプ ●スタッカブル(2段重ね)対応 ●セントラルモニタリングシステム対応可能(オプション) 半導体業界を中心にこれまでの数千台のチラー導入実績がある弊社のロングセラーモデルです。食品業界、医療業界、または理化学業界など他業種でのご利用につきましても、ご利用環境、用途に応じた最適なソリューションをご提案させていただきます。まずはお気軽にお問い合わせください。

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ATSジャパン株式会社

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産業用機械

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ATSジャパンは米国B/E Aerospace社より100%出資を受け、お客様のご要望に合わせたチラーのご提案をさせていただきます。 B/E Aerospace社は、航空機ギャレー用冷凍装置をはじめ、航空機産業界向けに多くの製品とソリューションを提供している会社です。弊社は、その高い技術力と品質を受け継ぎ、製造拠点、サポートサービス共に国内のみならず、アジア、アメリカ、ヨーロッパをカバーしておりますので、海外拠点への導入もご安心いただけます。 半導体業界における数千台の納入実績に加え、近年では理化学分野など他業界においてもご利用いただいております。小型大型問わず、また水冷空冷を問わず、ご利用の装置や目的に応じたカスタマイズが可能です。お客様に最適のチラ―ソリューションをご提供させていただきますので、まずはお気軽にご相談ください。 ★信頼性が私たちのコミットメントです★

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